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    결함 분석 장치, 기판 처리 시스템, 결함 분석 방법, 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램 및 컴퓨터 기억 매체
    1.
    发明公开
    결함 분석 장치, 기판 처리 시스템, 결함 분석 방법, 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램 및 컴퓨터 기억 매체 审中-实审
    缺陷分析设备，基板处理系统，缺陷分析方法，存储在计算机中的计算机程序和计算机可读存储介质

    公开(公告)号：KR1020150053244A

    公开(公告)日：2015-05-15

    申请号：KR1020140153622

    申请日：2014-11-06

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 이와나가슈지 ,  니시야마타다시 ,  도미타히로시 ,  하세가와이즈미

    IPC: H01L21/66 ,  H01L21/027

    CPC classification number: G06T7/0004 ,  G06T2207/30148

    Abstract: 웨이퍼의결함을분석함으로써, 잠재적인트러블을미연에방지한다. 기판의결함을분석하는장치로서, 피검사기판을촬상하는촬상장치와, 촬상된기판의화상에기초하여, 기판면내에서의결함의특징량을추출하는결함특징량추출부와, 복수의기판에대한상기결함의특징량을적산하여적산데이터(AH)를발생하는결함특징량적산부와, 적산한결함의특징량이소정의임계치를초과하고있는지여부를판정하는결함판정부와, 상기결함판정부에서의판정결과를출력하는출력부를가진다.

    Abstract translation: 通过分析晶圆缺陷可以预防潜在的问题。 缺陷分析装置包括：感测装置，用于感测血液检查基板的图像; 缺陷特征量提取单元，基于所述基板的感测图像提取所述基板的表面上的缺陷的特征量; 缺陷特征量累积单元，累积多个基板的缺陷的特征量，并生成累积数据（AH）; 缺陷确定单元，用于确定所述缺陷的累积特征量是否超过规定的阈值; 以及输出单元，输出由所述缺陷判定单元做出的判定。

    화상 작성 방법, 기판 검사 방법, 그 화상 작성 방법 또는 그 기판 검사 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체 및 기판 검사 장치
    4.
    发明公开
    화상 작성 방법, 기판 검사 방법, 그 화상 작성 방법 또는 그 기판 검사 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체 및 기판 검사 장치 有权
    图像创建方法，基板检查方法，用于执行图像创建方法和基板检查方法的存储程序的存储介质和基板检查装置

    公开(公告)号：KR1020120106565A

    公开(公告)日：2012-09-26

    申请号：KR1020120023307

    申请日：2012-03-07

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 도미타히로시 ,  히사노카즈야 ,  니시야마타다시

    IPC: G01N21/88 ,  G01B11/30 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00

    CPC classification number: G06T7/0008 ,  G06K9/4609 ,  G06T2207/30141 ,  G01N21/88 ,  G01B11/30 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00

    Abstract: PURPOSE: An image generating method, a substrate inspecting method, and a recording media and a substrate inspecting device for performing the image generating method and the substrate inspecting method are provided to reduce the number of intention failure wrongly detected and to detect actual failure. CONSTITUTION: An image generating method having a filter image generating process is as follows. A pixel value of a pixel positioned on the circumference of a circle having a central position of recorded images as a center is converted into a maximum value among the pixel values of a plurality of pixels selected from the pixels positioned on the circumference so that filter images are generated(S14). Position coordinates of the pixel of the recorded images are converted into polar coordinates so that converted images are generated. Maximum data indicating a relation of the maximum value among the pixel values and the diameter of the circle is generated based on the converted images. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) Decision process; (CC,DD) Decided that defects are existed on a substrate; (EE) Finish; (S11) Synthetic image process; (S12) Converted image process; (S13) Data process; (S14) Filter image process; (S15) Object image process; (S16) Elimination image process; (S17) Whether or not a pixel value of one pixel is larger than a criterion?

    Abstract translation: 目的：提供图像生成方法，基板检查方法以及用于执行图像生成方法和基板检查方法的记录介质和基板检查装置，以减少错误检测到的意图故障的数量并检测实际故障。 构成：具有滤波图像生成处理的图像生成方法如下。 将位于具有记录图像的中心位置的圆的圆周上的像素的像素值转换为从位于圆周上的像素中选择的多个像素的像素值中的最大值，使得滤波图像 （S14）。 将记录图像的像素的位置坐标转换为极坐标，从而生成转换的图像。 基于转换的图像生成表示像素值中的最大值与圆的直径的关系的最大数据。 （附图标记）（AA）开始; （BB）决策过程; （CC，DD）决定在基板上存在缺陷; （EE）完成; （S11）合成图像处理; （S12）转换图像处理; （S13）数据处理; （S14）过滤图像处理; （S15）对象图像处理; （S16）消除图像处理; （S17）一个像素的像素值是否大于标准？

    기판의 결함 검사 방법, 기판의 결함 검사 장치 및 컴퓨터 기억 매체
    6.
    发明公开
    기판의 결함 검사 방법, 기판의 결함 검사 장치 및 컴퓨터 기억 매체 审中-实审
    用于检查基板上的缺陷的方法，用于检查基板和计算机可读记录介质上的缺陷的装置

    公开(公告)号：KR1020140070464A

    公开(公告)日：2014-06-10

    申请号：KR1020130147408

    申请日：2013-11-29

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 이와나가슈지 ,  니시야마타다시

    IPC: G01N21/88 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66

    CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2021/9513 ,  G01N2021/95676

    Abstract: When defects of a substrate are inspected, the setting of an optimal photographing condition is performed without preparing a recipe in advance. A method for inspecting the defects of a substrate based on a substrate image photographed by a photographing device photographs a wafer which is an object to be photographed in constant photographing conditions, extracts the mode of a pixel value of the substrate image photographed, and calculates a correction value of the photographing conditions based on the extracted pixel value and predetermined photographing condition correction data. The method for inspecting the defects of a substrate photographs the substrate of the object to be photographed again in photographing conditions after changing the object by changing the photographing conditions and inspects the defects of the substrate based on a substrate image photographed in the photographing conditions after changing the object.

    Abstract translation: 当检查基板的缺陷时，在没有预先准备食谱的情况下执行最佳拍摄条件的设置。 基于由拍摄装置拍摄的基板图像来检查基板的缺陷的方法在恒定拍摄条件下拍摄作为要拍摄对象的晶片，提取拍摄的基板图像的像素值的模式，并计算 基于所提取的像素值和预定拍摄条件校正数据的拍摄条件的校正值。 用于检查基板的缺陷的方法通过改变拍摄条件在改变对象之后的拍摄条件下再次拍摄待拍摄对象的基板，并且基于在改变后的拍摄条件下拍摄的基板图像来检查基板的缺陷 物体。

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