公开(公告)号：KR100251876B1

公开(公告)日：2000-04-15

申请号：KR1019940002850

申请日：1994-02-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤

Inventor： 미야기카쓰신

IPC: H01L21/00

CPC classification number: C23C16/45561 ,  C23C16/4412 ,  C30B25/14 ,  F27D7/06

Abstract: 본 발명의 감압처리장치는, 피처리체가 반입및 반출되고, 반입된 피처리체의 처리를 행하는 처리부와, 처리부에 접속되는 배기관로와, 배기관로에 접속되고, 배기관로를 통하여 처리부내의 배기를 행함과 함께, 처리부내의 분위기를 부압상태로 설정가능한 배기장치와, 배기관로에 배치되고, 배기관로를 개폐하는 메인밸브와, 메인밸브보다 처리부측인 배기관로에 접속되는 한 끝단과, 메인밸브보다 배기측인 배기관로에 접속되는 다른 끝단부를 가지며, 단위시간당의 배기유량이 배기관로의 그것보다 작게 설정된 바이패스관로와, 바이패스관로중에 배치되고, 바이패스관로를 개폐하는 서브밸브와, 처리부내의 압력이 부압에서 상압으로 올라가는 사이에, 메인밸브와 서브밸브를 닫고, 처리부내가 상압으로 복귀한 후, 서브밸브만을 개방하여, 처리� ��의 배기측을 부압상태로 유지하는 제어부를 구비한다. 특히, 메인밸브와 처리부의 사이의 배기관로의 도중에, 처리부로부터 배기관로를 통하여 배기된 배기물을 트랩하는 트랩장치가 끼워장착되어 있는 경우에는, 처리부내가 상압으로 된 때, 일단 트랩된 생성물이 증발하여 역류하는 것을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019940020467A

公开(公告)日：1994-09-16

申请号：KR1019940002850

申请日：1994-02-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤

Inventor： 미야기카쓰신

IPC: H01L21/00

公开(公告)号：KR1019950004380A

公开(公告)日：1995-02-17

申请号：KR1019940018629

申请日：1994-07-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기타야마히로후미 ,  시바다토시미쓰 ,  미야주토시아키 ,  미야기카쓰신

IPC: H01L21/18

Abstract: 보온통상에 얹어놓인 피처리체 보우트(웨이퍼 보우트)에 피처리체를 얹어놓고, 이 피처리체 보우트를 처리용기내로 로우드하여 열처리를 행하는 열처리장치에 있어서, 처리용기의 내관과 외관의 간극부로서 그들의 아래쪽의 열용량이 비교적 큰 막형성 영역에 온도검출센서를 설치하여 그 부분에 위치하는 피처리체의 온도를 검출하고 히터부의 온도를 제어한다. 이것에 의하여 열응답성을 향상시키고, 또한, 정확한 피처리체의 온도검출을 행하는 것이 가능하게 한다.

公开(公告)号：KR100336167B1

公开(公告)日：2002-09-12

申请号：KR1019940018629

申请日：1994-07-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기타야마히로후미 ,  시바다토시미쓰 ,  미야주토시아키 ,  미야기카쓰신

IPC: H01L21/18

Abstract: 보온통상에 얹어놓인 피처리체 보우트(웨이퍼 보우트)에 피처리체를 얹어놓고, 이 피처리체 보우트를 처리용기내로 로드하여 열처리를 행하는 열처리장치에 있어서, 처리용기의 내관과 외관의 간극부로서 그들의 아래쪽의 열용량이 비교적 큰 막형성 영역에 온도검출센서를 설치하여 그 부분에 위치하는 피처리체의 온도를 검출하고 히터부의 온도를 제어한다. 이것에 의하여 열응답성을 향상시키고, 또한, 정확한 피처리체의 온도검출을 행하는 것이 가능하게 한다.