公开(公告)号：KR1019950015707A

公开(公告)日：1995-06-17

申请号：KR1019940030418

申请日：1994-11-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 사카모토야스히로 ,  아키모토마사미 ,  다데야마기요히사 ,  기다무라신지

IPC: H01L21/68

Abstract: 피처리체를 반송가능하게 구성된 기판 반송기구의 아암에 피처리체의 가장자리부를 복수개소로 지지하는 복수의 네일을 설치함과 동시에 이들 각 네일의 바깥쪽 윗쪽에 피처리체 가장자리 근처의 아래면에 맞닿고, 이들을 지지하는 적어도 한개 이상의 돌기형상의 흡착부를 설치하고 있다, 따라서, 피처리체는 처리공정마다 주변부 지지수단인가 또는 진공흡착수단인가의 어느쪽인가 선택되어 소망의 반송을 할 수 있다, 더구나, 아암의 동작범위를 제어변경함으로써, 아암을 교환하는 일 없이 대응할 수 있다, 따라서, 각 처리기구에서의 피처리체의 주고받기를 원활하게 하고 효율좋게 일련에 처리를 할 수 있다.

公开(公告)号：KR100260588B1

公开(公告)日：2000-07-01

申请号：KR1019940030418

申请日：1994-11-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 사카모토야스히로 ,  아키모토마사미 ,  다데야마기요히사 ,  기다무라신지

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/6715 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707 ,  Y10S134/902 ,  Y10S414/135

Abstract: 피처리체를 반송 가능하게 구성된 기판 반송기구의 아암에 피처리체의 가장자리부를 복수개소로 지지하는 복수의 네일을 설치함과 동시에 이들 각 네일의 바깥쪽 윗쪽에 피처리체 가장자리 근처의 아래 면에 맞닿고, 이들을 지지하는 적어도 한 개 이상의 돌기형상의 흡착부를 설치하고 있다. 따라서, 피처리체는 처리공정마다 주변부 지지수단인가 또는 진공흡착 수단인가의 어느 쪽인가 선택되어 소망의 반송을 할 수 있다. 더구나, 아암의 동작범위를 제어 변경함으로써, 아암을 교환하는 일없이 대응할 수 있다. 따라서, 각 처리기구에서의 피처리체의 주고받기를 원활하게 하고 효율 좋게 일련에 처리를 할 수 있다.