公开(公告)号：KR100297285B1

公开(公告)日：2001-10-24

申请号：KR1019950034070

申请日：1995-10-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 아키모토마사미 ,  사카모토야스히로 ,  하라다고지

IPC: H01L21/324

Abstract: 메인아암에 의하여 가열처리부로 웨이퍼를 반송하는 단계와, 가열단계에서 웨이퍼를 장착하고, 가열스테이지상에 장착된 웨이퍼를 가열하며, 그와 같이 가열된 웨이퍼를 가열스테이지로부터 들어올리는 단계와, 그와 같이 들어올려진 웨이퍼를 가열스테이지의 냉각하기 위하여 위쪽으로 냉각 홀더로 접근시키는 단계와, 상기 가열 스테이지로부터 냉각된 웨이퍼를 반송하는 단계를 포함하여 구성되는 기판의 가열 및 냉각방법.

公开(公告)号：KR100188453B1

公开(公告)日：1999-06-01

申请号：KR1019920004018

申请日：1992-03-11

Applicant: 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 요시오카가즈토시 ,  요코미조겐지 ,  아키모토마사미 ,  요시모토유우지

IPC: H01L21/68

Abstract: 다운플로우중에 배치된 피처리체에 처리를 하는 여러 개의 처리부에, 피처리체를 반송 및 실어서 이송하기 위한 장치는, 처리부간을 이동이 자유롭게 설치된 반송부와, 반송부를 이동시키는 제1구동기구와, 반송부에 이동이 자유롭게 설치되고, 처리부내에서 소정의 온도로 온도조정된 피처리체에 대하여 사용되는 제1아암과, 반송부에 이동이 자유롭게 설치되고, 온도조정된 피처리체 이외의 피처리체에 대하여 사용되는 제2아암과, 제1 및 제2아암을 각각 이동시키기 위한 제2구동기구를 구비하고 있다.

公开(公告)号：KR100177591B1

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019930001597

申请日：1993-02-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 아키모토마사미 ,  요시오카가즈토시 ,  이이다나루아키

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67781 ,  H01L21/6838 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/141

Abstract: 웨이퍼에 레지스트를 도포·현상하는 장치는, 웨이퍼를 수용하는 여러 개의 캐리어 및 받아 건네는 대가 배설된 캐리어 스테이숀과, 여러 개의 처리 유니트를 가지는 처리부와, 상기 캐리어 스테이숀과 처리부 사이에서 배설된 반송 로보트를 구비한다. 상기 로보트는 상기 캐리어와 상기 받아 건네는 대 사이에서 웨이퍼를 반송하는 1개의 판형상 아암과, 상기 처리 유니트와 상기 받아 건네는 대 사이에서 웨이퍼를 반송하는 2개의 말굽형 포크를 구비한다. 상기 로보트는, 아암 및 포크를 상기 캐리어, 처리 유니트, 및 받아 건네는 대와 대향시키도록 반송로를 따라서 이동 가능하게 되어 있다.

公开(公告)号：KR1019950034476A

公开(公告)日：1995-12-28

申请号：KR1019950009914

申请日：1995-04-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 미우라요시카즈 ,  아라이히데오 ,  아키모토마사미 ,  오가와시즈오 ,  나가노도시히코

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은, 로우드ㆍ언로우드부, 처리부, 및 인터페이스로 구성된 피처리체의 처리장치로서, 로우드ㆍ언로우드부로부터 인터페이스부까지 양방향으로 이동가능하며, 처리부에서의 각 처리파트에 피처리체를 이송함과 동시에, 로우드ㆍ언로우드부로부터 인터페이스부까지 피처리체를 양방향으로 반송할 수 있는 반송기구와, 반송기구에 의해 인터페이스부에 피처리체를 옮겨 실을 때에 피처리체를 일시 대기시키기 위한 적어도 두개의 대기부를 구비하는 피처리체의 처리장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR3001304940000S

公开(公告)日：1992-09-21

申请号：KR3019910012123

申请日：1991-08-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Designer： 아키모토마사미

公开(公告)号：KR100158211B1

公开(公告)日：1999-02-18

申请号：KR1019910015595

申请日：1991-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 코니시노부오 ,  다카모리히데유키 ,  아키모토마사미 ,  다테야마기요히사

IPC: H01L21/20

CPC classification number: H01L21/67173 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6719

Abstract: 도포장치는 단일하우징내 배열설치되고, 웨이퍼를 지지하며 또한 회전시키는 2 개의 스핀척을 구비한다.
양 스핀척 사이에는, 상기 노즐내의 굳어진 상기 도포액을 배출하기 위한 대기 트렌치가 배열설치된다.
웨이퍼는 상기 하우징외에 배열설치된 단일의 반송기구에 의하여 상기 스핀척에 대하여 공급/배열된다.
도포액공곱기구는 상기 스핀척에 지지된 웨이퍼상에 도포액을 토출하기 위한 단일 노즐을 포함한다.
상기 노즐은 이동아암에 의하여 상기 스핀척 사이에서 이동시킨다.
상기 양스핀척에 있어서의 처리 사이클은 동일 처리시간이고 또한 서로 반사이클씩 어긋나게 하여 설정된다.
상기 노즐은 상기 스핀척에 지지된 웨이퍼상에 도포액을 토출하는때 이외에는 상기 대기 트렌치상에 배치된다.

公开(公告)号：KR100167572B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019920017074

申请日：1992-09-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 아키모토마사미 ,  후지모토아키히로 ,  이와쓰하루오

IPC: H01L21/31

Abstract: 내용없음.

公开(公告)号：KR1019920007088A

公开(公告)日：1992-04-28

申请号：KR1019910015595

申请日：1991-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 코니시노부오 ,  다카모리히데유키 ,  아키모토마사미 ,  다테야마기요히사

IPC: H01L21/20

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR100264109B1

公开(公告)日：2000-09-01

申请号：KR1019950018716

申请日：1995-06-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 아키모토마사미 ,  기무라요시오 ,  하세베게이죠 ,  나가시마신지 ,  셈바노리오 ,  이이다나루아키 ,  하라다고지 ,  우에다잇세이 ,  고니시노부오

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67184

Abstract: 본 발명은, 복수매의 피처리체를 수용한 적어도 하나의 카세트를 얹어놓는 카세트 스테이션과, 피처리체에 처리를 하는 복수의 처리실 및 처리실에 피처리체를 반입하고, 처리실로 부터 피처리체를 반출하는 피처리체 반송수단을 포함하는 처리스테이션과, 카세트 스테이션과 처리스테이션과의 사이에서 피처리체를 주고 받는 제1의 피처리체 주고 받기 수단과, 피처리체를 대기시키는 피처리체 대기영역 및 처리스테이션과의 사이에서 피처리체의 주고 받기를 하는 제2의 피처리체 주고 받기 수단을 포함하는 인터페이스부를 가지며, 처리스테이션에 있어서의 처리실이 피처리체 반송수단의 둘레에 배치되어 있고, 피처리체 반송수단은 연직방향으로 거의 평행한 회전축을 가지며, 회전축을 따라서 연직방향으로 승강가능하며, 회전축에 대하여 회전 가능한 기판처리시스템을 제공한다.

公开(公告)号：KR100260588B1

公开(公告)日：2000-07-01

申请号：KR1019940030418

申请日：1994-11-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 사카모토야스히로 ,  아키모토마사미 ,  다데야마기요히사 ,  기다무라신지

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/6715 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707 ,  Y10S134/902 ,  Y10S414/135

Abstract: 피처리체를 반송 가능하게 구성된 기판 반송기구의 아암에 피처리체의 가장자리부를 복수개소로 지지하는 복수의 네일을 설치함과 동시에 이들 각 네일의 바깥쪽 윗쪽에 피처리체 가장자리 근처의 아래 면에 맞닿고, 이들을 지지하는 적어도 한 개 이상의 돌기형상의 흡착부를 설치하고 있다. 따라서, 피처리체는 처리공정마다 주변부 지지수단인가 또는 진공흡착 수단인가의 어느 쪽인가 선택되어 소망의 반송을 할 수 있다. 더구나, 아암의 동작범위를 제어 변경함으로써, 아암을 교환하는 일없이 대응할 수 있다. 따라서, 각 처리기구에서의 피처리체의 주고받기를 원활하게 하고 효율 좋게 일련에 처리를 할 수 있다.