公开(公告)号：KR1019920020657A

公开(公告)日：1992-11-21

申请号：KR1019920006612

申请日：1992-04-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다테야마키요히사 ,  사카모토야스히로

IPC: H01L21/68

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR100198145B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019920006612

申请日：1992-04-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다테야마키요히사 ,  사카모토야스히로

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67265 ,  H01L21/67796 ,  Y10S414/137

Abstract: 웨이퍼카셋트 내에 수납된 웨이퍼를 옮겨싣는 웨이퍼 유지수단을 이동시켜 웨이퍼의 반송을 행하는 웨이퍼반송장치로서, 발광수단을 형성한 제1의 아암과, 발광수단에서 조사된 광을 검출하는 수광수단을 형성한 제2의 아암과, 이 수광수단의 출력정보에 기초하여 웨이퍼카셋트내의 웨이퍼의 유무 또는 수납상태를 검지하는 판정수단을 가지는 웨이퍼 검출수단을 구비함.
또한, 반송기대에 형상되어 그의 앞끝단부에 발광수단을 가지는 제1의 아암과 그의 앞끝단부에 수광수단을 가지는 제2의 아암을 웨이퍼카셋트 내의 웨이퍼의 외주면의 바깥쪽의 위쪽 또는 아래쪽으로 이동하여 위치시켜, 제1의 아암과 제2의 아암을 웨이퍼의 두께방향으로 이동시키면서, 발광수단으로부터의 광을 조사하고 수광수단으로 검출하여 웨이퍼의 외관상의 두께를 측정한다.
그리고, 측정에 의하여 얻어진 웨이퍼의 외관상의 두께를 웨이퍼의 실제의 두께와 비교하여 수납된 웨이퍼의 경사를 검출하고, 검출된 웨이퍼의 경사에 의하여 웨이퍼의 옮겨싣기를 하거나, 웨이퍼수납의 미세한 수정을 하거나, 또는 아암처리를 행함.

公开(公告)号：KR1020060050987A

公开(公告)日：2006-05-19

申请号：KR1020050081852

申请日：2005-09-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모토다키미오 ,  다테야마키요히사 ,  토미타류세이

IPC: H01J9/20 ,  H01J9/48 ,  B05C5/02

Abstract: 본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 위치 결정장치에 관한 것으로서 기판(G)이 리프트 핀(132)에 이재된 후 각 회전구동부(152)가 회전 구동축(154)을 개입시켜 각 편심 가동 얼라인먼트 핀(150)을 원위치로부터 약 절반회전시킨다. 그렇다면 얼라인먼트 핀(150)이 편심 회전 연동을 하면서 그것과 대향하는 기판(G)의 각변으로 향해 이동하여 칼라(당접부,150b)가 기판 주변부부(기판측면)에 접하고 또한 그곳으로부터 기판(G)을 누른다. 이것에 의해 기판(G)은 리프트 핀(132)상에서 밀린 방향으로 변위 또는 이동하여 기판(G)의 반대측의 긴변이 고정 얼라인먼트 핀에 눌려 부착된다. 그 결과 기판(G)은 편심 가동 얼라인먼트 핀(150)과 고정 얼라인먼트 핀의 사이에 끼워져 위치 결정이 완료하는 공간절약으로 효율적으로 피처리 기판을 위치 결정 하는 기술을 제공한다.

公开(公告)号：KR100997829B1

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：KR1020050081852

申请日：2005-09-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모토다키미오 ,  다테야마키요히사 ,  토미타류세이

IPC: H01J9/20 ,  H01J9/48 ,  B05C5/02

Abstract: 본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 위치 결정장치에 관한 것으로서 기판(G)이 리프트 핀(132)에 이재된 후 각 회전구동부(152)가 회전 구동축(154)을 개입시켜 각 편심 가동 얼라인먼트 핀(150)을 원위치로부터 약 절반회전시킨다. 그렇다면 얼라인먼트 핀(150)이 편심 회전 연동을 하면서 그것과 대향하는 기판(G)의 각변으로 향해 이동하여 칼라(당접부,150b)가 기판 주변부부(기판측면)에 접하고 또한 그곳으로부터 기판(G)을 누른다. 이것에 의해 기판(G)은 리프트 핀(132)상에서 밀린 방향으로 변위 또는 이동하여 기판(G)의 반대측의 긴변이 고정 얼라인먼트 핀에 눌려 부착된다. 그 결과 기판(G)은 편심 가동 얼라인먼트 핀(150)과 고정 얼라인먼트 핀의 사이에 끼워져 위치 결정이 완료하는 공간절약으로 효율적으로 피처리 기판을 위치 결정 하는 기술을 제공한다.