公开(公告)号：KR1019950034476A

公开(公告)日：1995-12-28

申请号：KR1019950009914

申请日：1995-04-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 미우라요시카즈 ,  아라이히데오 ,  아키모토마사미 ,  오가와시즈오 ,  나가노도시히코

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은, 로우드ㆍ언로우드부, 처리부, 및 인터페이스로 구성된 피처리체의 처리장치로서, 로우드ㆍ언로우드부로부터 인터페이스부까지 양방향으로 이동가능하며, 처리부에서의 각 처리파트에 피처리체를 이송함과 동시에, 로우드ㆍ언로우드부로부터 인터페이스부까지 피처리체를 양방향으로 반송할 수 있는 반송기구와, 반송기구에 의해 인터페이스부에 피처리체를 옮겨 실을 때에 피처리체를 일시 대기시키기 위한 적어도 두개의 대기부를 구비하는 피처리체의 처리장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR100300614B1

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：KR1019950009914

申请日：1995-04-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 미우라요시카즈 ,  아라이히데오 ,  아키모토마사미 ,  오가와시즈오 ,  나가노도시히코

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은, 로우드ㆍ언로우드부, 처리부, 및 인터페이스부로 구성된 피처리체의 처리장치로서, 로우드ㆍ언로우드부로부터 인터페이스부까지 양방향으로 이동가능하며, 처리부에서의 각 처리파트에 피처리체를 이송함과 동시에, 로우드ㆍ언로우드부로부터 인터페이스부까지 피처리체를 양방향으로 반송할 수 있는 반송기구와, 반송기구에 의해 인터페이스부에 피처리체를 옮겨 실을 때에 피처리체를 일시 대기시키기 위한 적어도 두개의 대기부를 구비하는 피처리체의 처리장치를 제공한다.