公开(公告)号：KR1019900019175A

公开(公告)日：1990-12-24

申请号：KR1019900007282

申请日：1990-05-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 이와쓰하루오 ,  사카모토야스히로 ,  이와키리준로오

IPC: H01L21/469

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR100138097B1

公开(公告)日：1998-06-15

申请号：KR1019900007282

申请日：1990-05-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 이와쓰하루오 ,  사카모토야스히로 ,  이와키리준로오

IPC: H01L21/469

CPC classification number: B05B1/24 ,  B05B12/12 ,  B05C11/08

Abstract: 내용 없음