公开(公告)号：KR100283851B1

公开(公告)日：2001-04-02

申请号：KR1019950020304

申请日：1995-07-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  테루.엔지니아링구가부시끼가이샤

Inventor： 요코모리히데히토 ,  고이즈미히로토

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/66

Abstract: 피검사체의 전기특성을 검사하기 위한 검사부와, 피검사체를 수납하는 수납부와, 수납부와 검사부와의 사이에서 피검사체를 반송하는 반송부를 구비한 검사 장치에, 피검사체를 모니터하는 모니터장치가 설치된다. 이 모니터장치는, 검사부에서의 피검사체의 얼라인먼트에 이용되는 촬상장치와, 반송부에서의 피검사체의 위치를 검출하기 위한 센서(32)와, 상기 처리장치 내를 화상표시함과 동시에, 상기 검사부에서의 얼라인먼트 상황 및 상기 반송부에서의 피검사체의 위치정보를 그 화상 내에 표시하는 표시판넬을 구비한다.

公开(公告)号：KR1019960005926A

公开(公告)日：1996-02-23

申请号：KR1019950020304

申请日：1995-07-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  테루.엔지니아링구가부시끼가이샤

Inventor： 요코모리히데히토 ,  고이즈미히로토

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/66

Abstract: 피검사체의 전기특성을 검사하기 위한 검사부와, 피검사체를 수납하는 수납부와, 수납부와 검사부와의 사이에서 피검사체를 반송하는 반송부를 구비한 검사장치에, 피검사체를 모니터하는 모니터장치가 설치된다. 이 모니터장치는, 검사부에서의 피검사체의 얼라이먼트에 이용하는 촬상장치와, 반송부에서의 피검사체의 위치를 검출하기 위한 센서(32)와, 상기 처리장치 내를 화상표시함과 동시에, 상기 검사부에서의 얼라이먼트 상황 및 상기 반송부에서의 피검사체의 위치정보를 그 화상 내에 표시하는 표시판넬을 구비한다.