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公开(公告)号：KR100283851B1
公开(公告)日：2001-04-02
申请号：KR1019950020304
申请日：1995-07-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
Abstract: 피검사체의 전기특성을 검사하기 위한 검사부와, 피검사체를 수납하는 수납부와, 수납부와 검사부와의 사이에서 피검사체를 반송하는 반송부를 구비한 검사 장치에, 피검사체를 모니터하는 모니터장치가 설치된다. 이 모니터장치는, 검사부에서의 피검사체의 얼라인먼트에 이용되는 촬상장치와, 반송부에서의 피검사체의 위치를 검출하기 위한 센서(32)와, 상기 처리장치 내를 화상표시함과 동시에, 상기 검사부에서의 얼라인먼트 상황 및 상기 반송부에서의 피검사체의 위치정보를 그 화상 내에 표시하는 표시판넬을 구비한다.
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公开(公告)号：KR1019960005926A
公开(公告)日：1996-02-23
申请号：KR1019950020304
申请日：1995-07-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
Abstract: 피검사체의 전기특성을 검사하기 위한 검사부와, 피검사체를 수납하는 수납부와, 수납부와 검사부와의 사이에서 피검사체를 반송하는 반송부를 구비한 검사장치에, 피검사체를 모니터하는 모니터장치가 설치된다. 이 모니터장치는, 검사부에서의 피검사체의 얼라이먼트에 이용하는 촬상장치와, 반송부에서의 피검사체의 위치를 검출하기 위한 센서(32)와, 상기 처리장치 내를 화상표시함과 동시에, 상기 검사부에서의 얼라이먼트 상황 및 상기 반송부에서의 피검사체의 위치정보를 그 화상 내에 표시하는 표시판넬을 구비한다.
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公开(公告)号：KR100261325B1
公开(公告)日：2000-08-01
申请号：KR1019960706529
申请日：1996-03-18
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/06705
Abstract: 본 발명은 액정표시체(LCD)용 유리기판이나 반도체웨이퍼와 같은 기판의 전기적 특성을 검사하는 기판검사방법 및 장치에 관한 것으로서,
기판이 재치되는 재치대의 위치정보 및 접촉자의 위치정보를 초기설정데이터로서 미리 기억해 두는 공정과, 재치대에 대하여 일정 거리의 위치에 설치된 제 1 위치맞춤부재를 재치대와 함께 이동시키고, 이 제 1 위치맞춤부재를 접촉자에 대하여 일정거리의 위치에 고정된 제 2 위치맞춤부재에 대하여 얼라인하는 교정공정과, 이 교정위치로부터 접촉자/패드의 상호접촉위치까지의 거리를 미리 기억된 초기설정데이터를 기초로 하여 산출하고, 그 산출결과를 기초로 하여 재치대를 이동시키고 패드를 접촉자에 대하여 위치결정하는 공정과, 재치대상의 기판의 패드를 접촉자에 접촉시키고 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내어 이를 검사하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1019970703534A
公开(公告)日：1997-07-03
申请号：KR1019960706529
申请日：1996-03-18
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G01R1/073
Abstract: 본 발명은 액정표시체(LCD)용 유리기판이나 반도체웨이퍼와 같은 기판의 전기적 특성을 검사하는 기판검사방법 및 장치에 관한 것으로서, 기판이 재치되는 재치대의 위치정보 및 접촉자의 위치정보를 초기설정데이터로서 미리 기억해 두는 공정과, 재치대에 대하여 일정 거리의 위치에 설치된 제1위치맞춤부재를 재치대와 함께 이동시키고, 이 제1위치맞춤부재를 접촉자에 대하여 일정거리의 위치에 고정된 제2위치맞춤부재에 대하여 얼라인하는 교정공정과, 이 교정위치로부터 접촉자/패드의 상호접촉위치까지의 거리를 미리 기억된 초기설정데이터를 기초로 하여 산출하고, 그 산출결과를 기초로 하여 재치대를 이동시키고 패드를 접촉자에 대하여 위치결정하는 공정과, 재치대상의 기판의 패드를 접촉자에 접촉시키고 기판의 패턴회로에 테스트신 를 보내어 이를 검사하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.
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