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公开(公告)号：KR100283851B1
公开(公告)日：2001-04-02
申请号：KR1019950020304
申请日：1995-07-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
Abstract: 피검사체의 전기특성을 검사하기 위한 검사부와, 피검사체를 수납하는 수납부와, 수납부와 검사부와의 사이에서 피검사체를 반송하는 반송부를 구비한 검사 장치에, 피검사체를 모니터하는 모니터장치가 설치된다. 이 모니터장치는, 검사부에서의 피검사체의 얼라인먼트에 이용되는 촬상장치와, 반송부에서의 피검사체의 위치를 검출하기 위한 센서(32)와, 상기 처리장치 내를 화상표시함과 동시에, 상기 검사부에서의 얼라인먼트 상황 및 상기 반송부에서의 피검사체의 위치정보를 그 화상 내에 표시하는 표시판넬을 구비한다.
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公开(公告)号：KR100307998B1
公开(公告)日：2001-12-01
申请号：KR1019950004417
申请日：1995-03-04
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
IPC: H01L21/3065
Abstract: 처리용기내에서 설치된 피처리체에 대하여 플라즈마 막형성처리등의 플라즈마처리를 행하는 플라즈마 처리방법이 개시된다. 이 방법은, 처리용기내로 불활성가스를 도입하는 제 1 의 공정과, 처리용기내로 불활성가스의 플라즈마를 발생시키는 제 2 의 공정과, 계속하여 처리용기내로 피처리체를 처리하는 처리가스를 도입하는 제 3 의 공정과, 처리용기내로 처리가스의 플라즈마를 발생시켜서 피처리체를 처리하는 제 4 의 공정을 구비한다.
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公开(公告)号：KR100238628B1
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019940036494
申请日：1994-12-24
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/086 , B23K31/12 , B23K2201/36
Abstract: 기판에 형성된 복수의 도체패턴에 선택적으로 접속되고, 상기 도체패턴의 한 개의 끝단부에 소정의 직류전압을 인가하는 직류전압원과, 상기 도체패턴에 선택적으로 접속되고, 상기 끝단부에 인가되는 상기 직류전압에 의하여 상기 한 개의 도체패턴에 인접한 다른 한 개의 도체 패턴에 상기 끝단부를 통하여 흐르는 전류를 측정하는 전류측정수단과, 상기 전류 측정수단 및 상기 직류전압 인가수단에 접속되고, 상기 전류측정수단에 의하여 측정한 전류치와 상기 직류전압 인가수단에 의하여 인가한 전압치에 기초하여, 상기 끝단부로부터 인접한 상기 한쪽 및 다른 도체패턴의 단락부위까지의 저항치를 산출하고, 이 산출한 저항치와 비단락시의 도체패턴의 고유의 저항치에 기초하여 상기 단락부위의 위치를 특정하는 단락위치 산출수단과, 상기 기� ��에 형성된 상기 도체패턴의 상기 한 개의 한끝단부에 소정의 교류전압을 인가하는 교류전압 인가수단과, 상기 도체패턴에 접속되고, 상기 교류전압 인가수단에 의하여 상기 도체패턴의 상기 하나에 교류전압이 인가된 때에, 상기 한 개 의 도체패턴에 인접한 상기 다른 한 개의 도체패턴의 한 끝단부의 전압을 측정하는 전압측정수단과, 도체패턴의 전체길이와, 단선이 존재하지 않는 경우에 측정된 전압치와, 단선이 존재하는 경우에 측정된 전압치에 기초하여 단선부분의 위치를 계산하는 단선위치 산출수단에 의하여 구성되는 도체패턴 검사장치.
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公开(公告)号：KR1019960009091A
公开(公告)日：1996-03-22
申请号：KR1019950024237
申请日：1995-08-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
IPC: H01L21/66
Abstract: LCD기판의 점등검사 시스템에 조립된 프로우브장치는, 수납부와 처리부와 수납부와 처리부와의 사이에 끼워 설치된 반송부를 가진다. 처리부의 검사영역에는, 프로우브카드를 가지는 검사기구가 배열 설치된다. 검사영역을 사이에 끼우도록 좌우 얼라이먼트영역이 배치되고, 각각에 LCD기판을 얹은 좌우 얹어놓는 대가 배열설치된다. 콘트롤러에 의해서 좌우 얹어놓는 대의 이동이 제어되고, 검사기구에 의한 좌우 얹어놓는 대위의 LCD기판의 검사가 검사영역에서 교대로 행하여진다.
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公开(公告)号：KR1019960009008A
公开(公告)日：1996-03-22
申请号：KR1019950026563
申请日：1995-08-25
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
IPC: H01L21/205
Abstract: 드라이 크리닝기능을 가지는 막형성장치는, 피처리체를 수용하는 처리실과, 처리실 내에 피처리체에 금속 또는 금속화합물을 막형성하기 위한 처리가스를 도입하는 처리가스 공급계와, 피처리체에 처리가스 중의 성분을 퇴적시켜서 막형성하는 가열장치와, 이 막형성처리에 의해서 처리용기 내에 부착한 금속 또는 금속화합물을 크리닝한다. 삼염화 질소(NCl
3 )를 함유하는 크리닝가스, 또는 삼불화 염소(ClF
3 ) 또는 삼불화 질소(NF
3 )와 같은 불화물을 처리실 내로 도입하기 위한 크리닝가스 공급계와, 알콜을 함유하는 크리닝 후처리가스를 처리실내로 도입하는 후처리 가스 공급계를 구비한다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100297284B1
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：KR1019950026563
申请日：1995-08-25
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
IPC: H01L21/205
Abstract: 드라이 크리닝기능을 가지는 막형성장치는, 피처리체를 수용하는 처리실과, 처리실 내에 피처리체에 금속 또는 금속화합물을 막형성하기 위한 처리가스를 도입하는 처리가스 공급계와, 피처리체에 처리가스 중의 성분을 퇴적시켜서 막형성하는 가열장치와, 이 막형성처리에 의해서 처리용기 내에 부착한 금속 또는 금속화합물을 크리닝한다. 삼염화 질소(NCl
3 )를 함유하는 크리닝가스, 또는 삼불화 염소(ClF
3 ) 또는 삼불화 질소(NF
3 )와 같은 불화물을 처리실 내로 도입하기 위한 크리닝가스 공급계와, 알콜을 함유하는 크리닝 후처리가스를 처리실 내로 도입하는 후처리가스 공급계를 구비한다.-
公开(公告)号：KR1019960005926A
公开(公告)日：1996-02-23
申请号：KR1019950020304
申请日：1995-07-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
Abstract: 피검사체의 전기특성을 검사하기 위한 검사부와, 피검사체를 수납하는 수납부와, 수납부와 검사부와의 사이에서 피검사체를 반송하는 반송부를 구비한 검사장치에, 피검사체를 모니터하는 모니터장치가 설치된다. 이 모니터장치는, 검사부에서의 피검사체의 얼라이먼트에 이용하는 촬상장치와, 반송부에서의 피검사체의 위치를 검출하기 위한 센서(32)와, 상기 처리장치 내를 화상표시함과 동시에, 상기 검사부에서의 얼라이먼트 상황 및 상기 반송부에서의 피검사체의 위치정보를 그 화상 내에 표시하는 표시판넬을 구비한다.
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公开(公告)号：KR1019950034563A
公开(公告)日：1995-12-28
申请号：KR1019950002816
申请日：1995-02-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
IPC: H01L21/304
Abstract: 기판위치 및 검출장치는, 복수매의 LCD 기판이 수납된 카세트와, 이 카세트의 측면에 대면하여 설치되고, 카세트내의 LCD 기판의 끝단면에 눌러붙여지는 접촉안내부재와, 이 접촉안내부재를 카세트에 대하여 접근시켜서, 카세트내의 LCD 기판의 끝단면에 접촉안내부재를 눌러붙여서 이들 기판을 일괄적으로 정렬시키는 얼라이먼트 수단과, 카세트의 슬롯에 각각 대응하는 위치에 위치하도록 슬롯수의 정수배의 수가 상기 얼라이먼트기구에 부착되며, 카세트의 슬롯에 LCD 기판이 있는가 없는가를 검출하는 검출기를 가진다.
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公开(公告)号：KR100273810B1
公开(公告)日：2000-12-15
申请号：KR1019950002816
申请日：1995-02-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
IPC: H01L21/304
Abstract: 기판위치 및 검출장치는, 복수매의 LCD 기판이 수납된 카세트와, 이 카세트의 측면에 대면하여 설치되고, 카세트내의 LCD 기판의 끝단면에 눌러붙여지는 접촉안내부재와, 이 접촉안내부재를 카세트에 대하여 접근시켜서, 카세트내의 LCD기판의 끝단면에 접촉안내부재를 눌러붙여서 이들 기판을 일괄적으로 정렬시키는 얼라이먼트 수단과, 카세트의 슬롯에 각각 대응하는 위치에 위치하도록 슬롯수의 정수배의 수가 상기 얼라이먼트기구에 부착되며, 카세트의 슬롯에 LCD 기판이 있는가 없는가를 검출하는 검출기를 가진다.
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公开(公告)号：KR100272190B1
公开(公告)日：2000-12-01
申请号：KR1019950024237
申请日：1995-08-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G09G3/006 , G02F1/1309
Abstract: LCD기판의 점등검사 시스템에 조립된 프로우브장치는, 수납부와 처리부와 수납부와 처리부와의 사이에 끼워 설치된 반송부를 가진다. 처리부의 검사영역에는, 프로우브카드를 가지는 검사기구가 배열 설치된다. 검사영역을 사이에 끼우도록 좌우 얼라이먼트영역이 배치되고, 각각에 LCD기판을 얹은 좌우 얹어놓는 대가 배열 설치된다. 콘트롤러에 의해서 좌우 얹어놓는 대의 이동이 제어되고, 검사기구에 의한 좌우 얹어놓는 대 위의 LCD기판의 검사가 검사영역에서 교대로 행하여진다.
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