公开(公告)号：KR1019950034563A

公开(公告)日：1995-12-28

申请号：KR1019950002816

申请日：1995-02-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  테루.엔지니아링구가부시끼가이샤

Inventor： 히로키쯔도무 ,  아베쇼이치 ,  아키야마기요타카 ,  사토요시쯔토무

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판위치 및 검출장치는, 복수매의 LCD 기판이 수납된 카세트와, 이 카세트의 측면에 대면하여 설치되고, 카세트내의 LCD 기판의 끝단면에 눌러붙여지는 접촉안내부재와, 이 접촉안내부재를 카세트에 대하여 접근시켜서, 카세트내의 LCD 기판의 끝단면에 접촉안내부재를 눌러붙여서 이들 기판을 일괄적으로 정렬시키는 얼라이먼트 수단과, 카세트의 슬롯에 각각 대응하는 위치에 위치하도록 슬롯수의 정수배의 수가 상기 얼라이먼트기구에 부착되며, 카세트의 슬롯에 LCD 기판이 있는가 없는가를 검출하는 검출기를 가진다.

公开(公告)号：KR100273810B1

公开(公告)日：2000-12-15

申请号：KR1019950002816

申请日：1995-02-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  테루.엔지니아링구가부시끼가이샤

Inventor： 히로키쯔도무 ,  아베쇼이치 ,  아키야마기요타카 ,  사토요시쯔토무

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판위치 및 검출장치는, 복수매의 LCD 기판이 수납된 카세트와, 이 카세트의 측면에 대면하여 설치되고, 카세트내의 LCD 기판의 끝단면에 눌러붙여지는 접촉안내부재와, 이 접촉안내부재를 카세트에 대하여 접근시켜서, 카세트내의 LCD기판의 끝단면에 접촉안내부재를 눌러붙여서 이들 기판을 일괄적으로 정렬시키는 얼라이먼트 수단과, 카세트의 슬롯에 각각 대응하는 위치에 위치하도록 슬롯수의 정수배의 수가 상기 얼라이먼트기구에 부착되며, 카세트의 슬롯에 LCD 기판이 있는가 없는가를 검출하는 검출기를 가진다.