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公开(公告)号：KR101345580B1
公开(公告)日：2013-12-30
申请号：KR1020120055851
申请日：2012-05-25
Applicant: 동명대학교산학협력단
IPC: H01L41/02
Abstract: 본 발명은 압전 박막의 굽힘 성분의 잔류 응력을 효과적으로 측정할 수 있도록 압전 박막의 굽힘 정도를 최대화하는 시소 타입 압전 박막 구조에 관한 것이다.
본 발명에 따르는 잔류 응력 측정용 시소타입 압전 박막 구조는,
제 1 압전 박막부;
제 1 박막부의 일단부에 연결되게 형성되는 제 2 압전 박막부; 및
상기 제 1 압전 박막부와 제 2 압전 박막부에 일단이 연결되고 상기 제 1 압전 박막부 및 제 2 압전 박막부에 대해 종방향으로 막대형태로 형성되는 제 3 압전 박막부를 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130131905A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：KR1020120055851
申请日：2012-05-25
Applicant: 동명대학교산학협력단
IPC: H01L41/02
CPC classification number: G01L1/16 , H01L41/083 , H01L41/0973 , H01L41/1876
Abstract: The present invention relates to a see saw type piezoelectric thin film structure maximizing the bending of a piezoelectric thin film for efficiently measuring the residual stress of a bending element of the piezoelectric thin film. The see saw type piezoelectric thin film structure for measuring the residual stress according to the present invention comprises a first piezoelectric thin film part; a second thin film part connected to one end part of the first thin film part; and a third piezoelectric part having one end connected to the first and second thin film parts and formed in the shape of a stick in a vertical direction to the first and second piezoelectric thin film parts.
Abstract translation: 本发明涉及一种使锯齿型压电薄膜结构最大化压电薄膜的弯曲，以有效地测量压电薄膜的弯曲元件的残余应力。 根据本发明的用于测量残余应力的锯形压电薄膜结构包括第一压电薄膜部分; 连接到第一薄膜部分的一个端部的第二薄膜部分; 以及第三压电部件，其一端连接到第一和第二薄膜部分并且在垂直于第一和第二压电薄膜部件的方向上形成为棒状。
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公开(公告)号：KR101374276B1
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：KR1020120127158
申请日：2012-11-12
Applicant: 동명대학교산학협력단
CPC classification number: G01N3/08 , G01N2203/0017 , G01N2203/0073 , G01N2203/0244 , G01N2203/0682 , H01J37/26
Abstract: The present invention relates to a device for the tensile and fatigue tests of specimens having a structure for measuring tensile and fatigue strengths while efficiently performing a microscopic image observation because it is installed inside a SEM to perform the tensile and fatigue tests of specimens in situ. According to the present invention, the in-situ device for the tensile and fatigue tests of specimens installed inside a SEM comprises: a flat supporting plate (1); an actuator (2) installed in one side of the supporting plate; a stage (3) facing the actuator; a plate (4) connected to the top of the actuator (2) and moving back and forth; a fixing member having a C-shaped cross section which is connected to one side of the stage (3) to face the plate (4); and an operation member (6) having one side close to the fixing member (5) and the other side attached to the plate (4). The operation member (6) is operated by the actuator (2).
Abstract translation: 本发明涉及一种用于拉伸和疲劳试验的装置，其具有用于测量拉伸和疲劳强度的结构，同时有效地执行显微图像观察，因为它安装在SEM内部以便对原位进行试样的拉伸和疲劳试验。 根据本发明，安装在SEM内的试样的拉伸和疲劳试验的原位装置包括：平板支撑板（1）; 安装在支撑板的一侧的致动器（2）; 面向致动器的台（3） 连接到致动器（2）的顶部并且前后移动的板（4）; 具有C形横截面的固定构件，其与所述平台（3）的与所述板（4）相对的一侧连接; 以及操作构件（6），其一侧靠近所述固定构件（5），另一侧安装在所述板（4）上。 操作构件（6）由致动器（2）操作。
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公开(公告)号：KR101459658B1
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：KR1020130055359
申请日：2013-05-15
Applicant: 동명대학교산학협력단
IPC: B60T7/06
Abstract: 본 발명은 차량의 정면 또는 오프셋 충돌시 브레이크 페달이 운전자 쪽으로 밀려 들어오면서 발생하는 운전자의 상해를 방지하기 위한 차량용 브레이크 페달의 밀림방지장치에 관한 것으로, 브라켓과 브레이크 페달 및 고정핀의 결합관계에서 고정핀을 파괴 또는 절단을 통해 이탈시키는 기능을 수행하는 이탈수단을 통해 고정핀을 브라켓 및 브레이크 페달과의 결합관계에서 이탈시키고, 그로 인해 브레이크 페달이 운전자 반대 방향으로 자중에 의해 회동가능하게 함으로써 운전자의 상해를 방지할 수 있는 차량용 브레이크 페달의 밀림방지장치에 관한 것이다.
Abstract translation: 车辆制动踏板移动防止装置技术领域本发明涉及一种车辆制动踏板移动防止装置，以便在发生车辆正面或偏移碰撞时，防止驾驶员由于制动踏板向驾驶员行进而受到伤害。 该装置能够使固定销与支架和制动踏板分离，使用分离装置，其通过断开或切割固定销将固定销与支架和制动踏板分离，从而使制动踏板能够在 通过自重与驾驶员相反的方向，从而防止驾驶员受伤。
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公开(公告)号：KR101393430B1
公开(公告)日：2014-05-12
申请号：KR1020120058422
申请日：2012-05-31
Applicant: 동명대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 압전 박막 시편의 인장 강도 및 피로 물성을 인시츄 방식으로 측정하기 위해 SEM에 시편의 손상 없이 안전하게 장착할 수 있도록 하는 구조를 갖는 압전 박막 시편 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르는 인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편은, 한 쌍의 아일랜드 형태의 패턴을 중심부에 갖는 하부 마스크에 의해 식각되어 중심부에 아일랜드를 갖도록 구성되는 기판; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 하부 PT 마스크에 의해 상기 기판상에 형성되는 하부 PT층; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 PZT 및 상부 PT 마스크에 의해 상기 PT층 상에 순차적으로 형성되는 PZT층 및 상부 PT층; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 형태의 열선 마스크에 의해 상기 상부 PT 층상에 구성되는 열선을 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020130134710A
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：KR1020120058422
申请日：2012-05-31
Applicant: 동명대학교산학협력단
Abstract: The present invention relates to a piezoelectric thin specimen having a structure for safely inserting the specimen to SEM without damage to measure the tensile strength and fatigue property with an in-situ method, and a method for manufacturing the specimen. According to the invention, the piezoelectric thin specimen for measuring the tensile strength and fatigue property comprises a substrate, a lower PT layer, an upper PZT layer & PT layer, and a thermal wire. The substrate includes a pair of patterns formed into an island shape as being etched by a lower mask at the center. The lower PT layer is formed on the substrate by a lower PT mask having a hole corresponding to the location of the island. The upper PZT & PT layers are formed on the PT layer in order by the PT penetrated mask and PZT corresponding to the location of the island of the substrate. The thermal wire is formed on the upper PT layer by a thermal wire mask formed into a corresponding shape to the island of the substrate.
Abstract translation: 本发明涉及一种压电薄试件，其具有用于将试样安全地插入SEM而不损坏的结构，以通过原位方法测量拉伸强度和疲劳性能，以及制造试样的方法。 根据本发明，用于测量拉伸强度和疲劳特性的压电薄试样包括基底，下PT层，上PZT层和PT层以及热丝。 衬底包括形成为岛状的一对图案，其被中心处的下掩模蚀刻。 下PT层通过具有对应于岛的位置的孔的下PT掩模形成在衬底上。 上层PZT和PT层通过PT穿透掩模和对应于衬底岛位置的PZT依次形成在PT层上。 热丝通过与衬底的岛形成为相应形状的热丝掩模形成在上PT层上。
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