公开(公告)号：KR101374276B1

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：KR1020120127158

申请日：2012-11-12

Applicant: 동명대학교산학협력단

Inventor： 박준협 ,  김윤재 ,  심기동 ,  이명우

IPC: G01N3/08 ,  H01J37/26

CPC classification number: G01N3/08 ,  G01N2203/0017 ,  G01N2203/0073 ,  G01N2203/0244 ,  G01N2203/0682 ,  H01J37/26

Abstract: The present invention relates to a device for the tensile and fatigue tests of specimens having a structure for measuring tensile and fatigue strengths while efficiently performing a microscopic image observation because it is installed inside a SEM to perform the tensile and fatigue tests of specimens in situ. According to the present invention, the in-situ device for the tensile and fatigue tests of specimens installed inside a SEM comprises: a flat supporting plate (1); an actuator (2) installed in one side of the supporting plate; a stage (3) facing the actuator; a plate (4) connected to the top of the actuator (2) and moving back and forth; a fixing member having a C-shaped cross section which is connected to one side of the stage (3) to face the plate (4); and an operation member (6) having one side close to the fixing member (5) and the other side attached to the plate (4). The operation member (6) is operated by the actuator (2).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于拉伸和疲劳试验的装置，其具有用于测量拉伸和疲劳强度的结构，同时有效地执行显微图像观察，因为它安装在SEM内部以便对原位进行试样的拉伸和疲劳试验。 根据本发明，安装在SEM内的试样的拉伸和疲劳试验的原位装置包括：平板支撑板（1）; 安装在支撑板的一侧的致动器（2）; 面向致动器的台（3） 连接到致动器（2）的顶部并且前后移动的板（4）; 具有C形横截面的固定构件，其与所述平台（3）的与所述板（4）相对的一侧连接; 以及操作构件（6），其一侧靠近所述固定构件（5），另一侧安装在所述板（4）上。 操作构件（6）由致动器（2）操作。

公开(公告)号：KR101393430B1

公开(公告)日：2014-05-12

申请号：KR1020120058422

申请日：2012-05-31

Applicant: 동명대학교산학협력단

Inventor： 박준협 ,  김윤재 ,  김희연 ,  이순복 ,  남현석 ,  심기동

IPC: G01N1/28 ,  G01N3/08

Abstract: 본 발명은 압전 박막 시편의 인장 강도 및 피로 물성을 인시츄 방식으로 측정하기 위해 SEM에 시편의 손상 없이 안전하게 장착할 수 있도록 하는 구조를 갖는 압전 박막 시편 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르는 인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편은, 한 쌍의 아일랜드 형태의 패턴을 중심부에 갖는 하부 마스크에 의해 식각되어 중심부에 아일랜드를 갖도록 구성되는 기판; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 하부 PT 마스크에 의해 상기 기판상에 형성되는 하부 PT층; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 PZT 및 상부 PT 마스크에 의해 상기 PT층 상에 순차적으로 형성되는 PZT층 및 상부 PT층; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 형태의 열선 마스크에 의해 상기 상부 PT 층상에 구성되는 열선을 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020130134710A

公开(公告)日：2013-12-10

申请号：KR1020120058422

申请日：2012-05-31

Applicant: 동명대학교산학협력단

Inventor： 박준협 ,  김윤재 ,  김희연 ,  이순복 ,  남현석 ,  심기동

IPC: G01N1/28 ,  G01N3/08

Abstract: The present invention relates to a piezoelectric thin specimen having a structure for safely inserting the specimen to SEM without damage to measure the tensile strength and fatigue property with an in-situ method, and a method for manufacturing the specimen. According to the invention, the piezoelectric thin specimen for measuring the tensile strength and fatigue property comprises a substrate, a lower PT layer, an upper PZT layer & PT layer, and a thermal wire. The substrate includes a pair of patterns formed into an island shape as being etched by a lower mask at the center. The lower PT layer is formed on the substrate by a lower PT mask having a hole corresponding to the location of the island. The upper PZT & PT layers are formed on the PT layer in order by the PT penetrated mask and PZT corresponding to the location of the island of the substrate. The thermal wire is formed on the upper PT layer by a thermal wire mask formed into a corresponding shape to the island of the substrate.

Abstract translation: 本发明涉及一种压电薄试件，其具有用于将试样安全地插入SEM而不损坏的结构，以通过原位方法测量拉伸强度和疲劳性能，以及制造试样的方法。 根据本发明，用于测量拉伸强度和疲劳特性的压电薄试样包括基底，下PT层，上PZT层和PT层以及热丝。 衬底包括形成为岛状的一对图案，其被中心处的下掩模蚀刻。 下PT层通过具有对应于岛的位置的孔的下PT掩模形成在衬底上。 上层PZT和PT层通过PT穿透掩模和对应于衬底岛位置的PZT依次形成在PT层上。 热丝通过与衬底的岛形成为相应形状的热丝掩模形成在上PT层上。