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公开(公告)号：KR101393430B1
公开(公告)日：2014-05-12
申请号：KR1020120058422
申请日：2012-05-31
Applicant: 동명대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 압전 박막 시편의 인장 강도 및 피로 물성을 인시츄 방식으로 측정하기 위해 SEM에 시편의 손상 없이 안전하게 장착할 수 있도록 하는 구조를 갖는 압전 박막 시편 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르는 인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편은, 한 쌍의 아일랜드 형태의 패턴을 중심부에 갖는 하부 마스크에 의해 식각되어 중심부에 아일랜드를 갖도록 구성되는 기판; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 하부 PT 마스크에 의해 상기 기판상에 형성되는 하부 PT층; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 PZT 및 상부 PT 마스크에 의해 상기 PT층 상에 순차적으로 형성되는 PZT층 및 상부 PT층; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 형태의 열선 마스크에 의해 상기 상부 PT 층상에 구성되는 열선을 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020130134710A
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：KR1020120058422
申请日：2012-05-31
Applicant: 동명대학교산학협력단
Abstract: The present invention relates to a piezoelectric thin specimen having a structure for safely inserting the specimen to SEM without damage to measure the tensile strength and fatigue property with an in-situ method, and a method for manufacturing the specimen. According to the invention, the piezoelectric thin specimen for measuring the tensile strength and fatigue property comprises a substrate, a lower PT layer, an upper PZT layer & PT layer, and a thermal wire. The substrate includes a pair of patterns formed into an island shape as being etched by a lower mask at the center. The lower PT layer is formed on the substrate by a lower PT mask having a hole corresponding to the location of the island. The upper PZT & PT layers are formed on the PT layer in order by the PT penetrated mask and PZT corresponding to the location of the island of the substrate. The thermal wire is formed on the upper PT layer by a thermal wire mask formed into a corresponding shape to the island of the substrate.
Abstract translation: 本发明涉及一种压电薄试件，其具有用于将试样安全地插入SEM而不损坏的结构，以通过原位方法测量拉伸强度和疲劳性能，以及制造试样的方法。 根据本发明，用于测量拉伸强度和疲劳特性的压电薄试样包括基底，下PT层，上PZT层和PT层以及热丝。 衬底包括形成为岛状的一对图案，其被中心处的下掩模蚀刻。 下PT层通过具有对应于岛的位置的孔的下PT掩模形成在衬底上。 上层PZT和PT层通过PT穿透掩模和对应于衬底岛位置的PZT依次形成在PT层上。 热丝通过与衬底的岛形成为相应形状的热丝掩模形成在上PT层上。
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