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公开(公告)号：KR1020150076604A
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130165008
申请日：2013-12-27
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: C09D201/00 , G02B1/11 , C09D5/00 , C09D7/12 , G03F7/26
CPC classification number: G03F7/091 , C09D5/006 , C09D179/08 , C09D201/00 , C09D5/00 , G02B1/11 , G03F7/26
Abstract: 본발명의반사방지코팅조성물은, 조성물내의고분자수지에가교제를부착시키고조성물내의저분자가교제의함량을최소화하여열경화개시온도를조절함으로써, 기판의패턴의모서리에의해열경화과정에서반사방지코팅층이찢기는풀백(pull-back) 현상을방지하고패턴의틈새충전(gap-filling) 성능을보다향상시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于纳米光刻的有机底部防反射涂料组合物，其通过将交联剂连接到聚合物树脂上并使组合物中低分子量交联剂的含量最小化并因此调节温度以引发热固化，从而防止拉回现象 ，其中在热固化过程中，抗反射涂层由基板上的图案边缘撕裂，并进一步提高间隙填充性能。
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公开(公告)号：KR102255221B1
公开(公告)日：2021-05-24
申请号：KR1020130165008
申请日：2013-12-27
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: C09D201/00 , G02B1/11 , C09D5/00 , C09D7/40 , G03F7/26
Abstract: 본발명의반사방지코팅조성물은, 조성물내의고분자수지에가교제를부착시키고조성물내의저분자가교제의함량을최소화하여열경화개시온도를조절함으로써, 기판의패턴의모서리에의해열경화과정에서반사방지코팅층이찢기는풀백(pull-back) 현상을방지하고패턴의틈새충전(gap-filling) 성능을보다향상시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170132082A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：KR1020170058512
申请日：2017-05-11
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
Abstract: 유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지코팅조성물이제공되고, 이조성물은하기를포함하는열산발생제를포함한다: i) 선택적으로치환된알킬및 선택적으로치환된헤테로알킬로부터선택된 1개이상의고리치환체를갖는피리디늄성분; 및 ii) 설폰산성분.
Abstract translation: 提供了与有机涂料组合物，特别是外涂光刻胶一起使用的抗反射涂料组合物，其包含热酸产生剂，所述热产酸剂包含：i）任选取代的烷基和任选取代的杂烷基 具有至少一个选择的环取代基的吡啶鎓组分; 和ii）磺酸组分。
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