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公开(公告)号：KR102233875B1
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020130166928A
申请日：2013-12-30
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: H01L21/027 , G03F7/004 , G03F7/029 , G03F7/11 , G03F7/26
CPC classification number: G03F7/0382 , G03F7/091 , H01L21/0276
Abstract: 본 발명의 네거티브톤 현상(NTD)에 의한 패턴 형성 방법은, 기판과 포토레지스트 조성물층 사이에 광산 발생제를 포함하는 반사방지 코팅 조성물층을 형성하여 수행함으로써, 노광시에 포토레지스트 조성물층의 디블로킹을 보다 활성화시켜 현상된 패턴이 쓰러지는 현상을 방지하고 패턴의 최소 선폭 특성을 향상시킬 수 있다
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公开(公告)号：KR102255221B1
公开(公告)日：2021-05-24
申请号：KR1020130165008
申请日：2013-12-27
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: C09D201/00 , G02B1/11 , C09D5/00 , C09D7/40 , G03F7/26
Abstract: 본발명의반사방지코팅조성물은, 조성물내의고분자수지에가교제를부착시키고조성물내의저분자가교제의함량을최소화하여열경화개시온도를조절함으로써, 기판의패턴의모서리에의해열경화과정에서반사방지코팅층이찢기는풀백(pull-back) 현상을방지하고패턴의틈새충전(gap-filling) 성능을보다향상시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR102159557B1
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：KR1020180064164
申请日：2018-06-04
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/09 , G03F7/11 , G02B1/11 , C09D5/00 , C09D201/08 , C09D201/02 , G03F7/20 , G03F7/26
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公开(公告)号：KR101909884B1
公开(公告)日：2018-10-22
申请号：KR1020160151375
申请日：2016-11-14
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/20 , G03F7/004 , C08L61/14 , C09D161/14
CPC classification number: G03F7/091 , C08F220/18 , C08F220/30 , C08F220/32 , C08F2220/302 , C08F2220/325 , C08G63/685 , C08G63/78 , C09D5/006 , C09D133/08 , C09D133/14 , C09D167/00 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2006 , G03F7/327
Abstract: 바람직한양태에서, 1) 하나이상의글리시딜기; 및 2) 각각히드록시, 티올및/또는아민잔기를포함하는둘 이상의치환기를포함하는하나이상의방향족기를포함하는유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지코팅조성물이제공된다. 또한, 카테콜-함유중합체및 이의제조방법이제공된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102233875B1
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020130166928
申请日：2013-12-30
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/038 , G03F7/09 , H01L21/027
Abstract: 본발명의네거티브톤현상(NTD)에의한패턴형성방법은, 기판과포토레지스트조성물층사이에광산발생제를포함하는반사방지코팅조성물층을형성하여수행함으로써, 노광시에포토레지스트조성물층의디블로킹을보다활성화시켜현상된패턴이쓰러지는현상을방지하고패턴의최소선폭특성을향상시킬수 있다
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公开(公告)号：KR1020170114257A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：KR1020170039470
申请日：2017-03-28
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/038 , G03F7/032 , G03F7/033 , C09D163/00
CPC classification number: C08L67/00 , C08F220/14 , C08L33/08 , C08L63/00 , G03F7/091 , G03F7/16 , C08F220/20 , C08F216/165
Abstract: 유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지(antireflective) 코팅조성물이제공되고, 상기조성물은 2종이상의수지의배합물을포함하고, 여기서하나의수지는폴리머골격에펜던트되거나융합된에폭시기를갖는다. 바람직한코팅조성물은하기를포함한다: 1) 1종이상의에폭시반응성기를포함하는제1 수지; 및 2) 상기제1 수지와구별되고에폭시기를포함하는가교결합제수지.
Abstract translation: 提供了用于有机涂料组合物，特别是外涂光刻胶的抗反射涂料组合物，其中所述组合物包含两种或更多种树脂的组合，其中一种树脂悬挂在聚合物主链上， Lt。 优选的涂料组合物包括：1）包含一个或多个环氧反应性基团的第一树脂; 以及2）与第一树脂不同且包含环氧基团的交联剂树脂。
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公开(公告)号：KR1020150077949A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：KR1020130166928
申请日：2013-12-30
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: H01L21/027 , G03F7/029 , G03F7/004 , G03F7/11 , G03F7/26
CPC classification number: G03F7/0382 , G03F7/091 , H01L21/0276
Abstract: 본발명의네거티브톤현상(NTD)에의한패턴형성방법은, 기판과포토레지스트조성물층사이에광산발생제를포함하는반사방지코팅조성물층을형성하여수행함으로써, 노광시에포토레지스트조성물층의디블로킹을보다활성화시켜현상된패턴이쓰러지는현상을방지하고패턴의최소선폭특성을향상시킬수 있다
Abstract translation: 通过负色调显影（NTD）形成图案的方法在基板和光致抗蚀剂组合物层之间形成包括光酸产生剂的抗反射涂层组合物层，并且更多地在曝光中激活光刻胶组合物层的去块，从而防止 发展模式的下降现象，并提高了图案的最小线宽特性。
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公开(公告)号：KR1020150076604A
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130165008
申请日：2013-12-27
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: C09D201/00 , G02B1/11 , C09D5/00 , C09D7/12 , G03F7/26
CPC classification number: G03F7/091 , C09D5/006 , C09D179/08 , C09D201/00 , C09D5/00 , G02B1/11 , G03F7/26
Abstract: 본발명의반사방지코팅조성물은, 조성물내의고분자수지에가교제를부착시키고조성물내의저분자가교제의함량을최소화하여열경화개시온도를조절함으로써, 기판의패턴의모서리에의해열경화과정에서반사방지코팅층이찢기는풀백(pull-back) 현상을방지하고패턴의틈새충전(gap-filling) 성능을보다향상시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于纳米光刻的有机底部防反射涂料组合物，其通过将交联剂连接到聚合物树脂上并使组合物中低分子量交联剂的含量最小化并因此调节温度以引发热固化，从而防止拉回现象 ，其中在热固化过程中，抗反射涂层由基板上的图案边缘撕裂，并进一步提高间隙填充性能。
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公开(公告)号：KR1020170071412A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：KR1020160151375
申请日：2016-11-14
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/20 , G03F7/004 , C08L61/14 , C09D161/14
CPC classification number: G03F7/091 , C08F220/18 , C08F220/30 , C08F220/32 , C08F2220/302 , C08F2220/325 , C08G63/685 , C08G63/78 , C09D5/006 , C09D133/08 , C09D133/14 , C09D167/00 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2006 , G03F7/327
Abstract: 바람직한양태에서, 1) 하나이상의글리시딜기; 및 2) 각각히드록시, 티올및/또는아민잔기를포함하는둘 이상의치환기를포함하는하나이상의방향족기를포함하는유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지코팅조성물이제공된다. 또한, 카테콜-함유중합체및 이의제조방법이제공된다.
Abstract translation: 在一个优选实施方案中：1）一个或多个缩水甘油基; 和2）各自是羟基，该抗反射涂料组合物提供了一种用于与硫醇和/或包含a。至少一种含芳族含胺部分多于一个取代基，尤其是外涂光刻胶的有机涂料组合物，使用 。 还提供了含儿茶酚的聚合物及其制备方法。
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