公开(公告)号：KR1020040047802A

公开(公告)日：2004-06-05

申请号：KR1020047003063

申请日：2002-08-19

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 클레네브라이언씨. ,  다스팔라시피. ,  그로베스티븐엘. ,  에르쇼브알렉산더아이. ,  스미스스코트티. ,  팬시아오지앙제이. ,  샌드스트롬리차드엘.

IPC: H01S3/03

CPC classification number: G03F7/70933 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/0943 ,  H01S3/097 ,  H01S3/09705 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/11 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/134 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2366

Abstract: 본원발명은 생산 라인 머신용 모듈러 고반복률 자외선 가스 방전 레이저(4) 광원을 제공한다. 본원 시스템은 생산 라인 머신의 입구 포트 등의 소망 위치에 레이저 빔을 송출하기 위해 인클로징 및 퍼징된 빔 경로를 포함한다. 바람직한 실시예에 있어서, 생산 라인 머신은 리소그래피 머신(2)이고, 2개의 별개의 방전 챔버가 제공되는데, 그 중 하나는 제2 방전 챔버에서 증폭되는 초협대역 센드 빔을 발생시키는 마스터 발진기의 일부이다. MOPA 시스템은 비교가능한 단일 챔버 레이저 시스템의 거의 2배의 펄스 에너지를 상당히 향상된 빔 품질로 출력할 수 있다. 펄스 스트레처는 출력 펄스 길이를 2배 이상으로 하여 종래기술 레이저 시스템에 비해 펄스 전력(mJ/ns)이 감소된다. 이러한 바람직한 실시예는 실질적으로 광학 컴포넌트의 저하에도 불구하고 리소그래피 시스템의 동작수명 내내 가능하다.

Abstract translation: 本发明提供一种用于生产线机器的模块化高重复频率紫外线气体放电激光光源。 该系统包括一个封闭和净化光束路径，用于将激光束传送到生产线机器入口等所需位置。 在优选实施例中，生产线机器是平版印刷机，并且提供两个单独的放电室，其中一个是主振荡器的一部分，产生在第二放电室中放大的非常窄带的种子束。 该MOPA系统的输出脉冲能量大约是可比较的单腔激光系统的两倍，大大改善了光束质量。 与现有技术的激光系统相比，脉冲展宽器使输出脉冲长度增加了一倍，导致脉冲功率（mJ / ns）的降低。 该优选实施例能够在光刻系统晶片平面上提供照明，该平面在光刻系统的整个工作寿命期间近似恒定，尽管光学元件大量劣化。

公开(公告)号：KR100909018B1

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：KR1020047003063

申请日：2002-08-19

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 클레네브라이언씨. ,  다스팔라시피. ,  그로베스티븐엘. ,  에르쇼브알렉산더아이. ,  스미스스코트티. ,  팬시아오지앙제이. ,  샌드스트롬리차드엘.

IPC: H01S3/03

CPC classification number: G03F7/70933 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/0943 ,  H01S3/097 ,  H01S3/09705 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/11 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/134 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2366

Abstract: 본원발명은 생산 라인 머신용 모듈러 고반복률 자외선 가스 방전 레이저(4) 광원을 제공한다. 본원 시스템은 생산 라인 머신의 입구 포트 등의 소망 위치에 레이저 빔을 송출하기 위해 인클로징 및 퍼징된 빔 경로를 포함한다. 바람직한 실시예에 있어서, 생산 라인 머신은 리소그래피 머신(2)이고, 2개의 별개의 방전 챔버가 제공되는데, 그 중 하나는 제2 방전 챔버에서 증폭되는 초협대역 센드 빔을 발생시키는 마스터 발진기의 일부이다. MOPA 시스템은 비교가능한 단일 챔버 레이저 시스템의 거의 2배의 펄스 에너지를 상당히 향상된 빔 품질로 출력할 수 있다. 펄스 스트레처는 출력 펄스 길이를 2배 이상으로 하여 종래기술 레이저 시스템에 비해 펄스 전력(mJ/ns)이 감소된다. 이러한 바람직한 실시예는 실질적으로 광학 컴포넌트의 저하에도 불구하고 리소그래피 시스템의 동작수명 내내 가능하다.
레이저, 방전, 송출, 협대역, 열교환기, 퍼지, 스트레처, 챔버