公开(公告)号：KR1020010031030A

公开(公告)日：2001-04-16

申请号：KR1020007003845

申请日：1998-08-21

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 이시하라도시히코 ,  호프만토마스 ,  다스팔라시피. ,  에르소브알렉산더아이.

IPC: H01S3/225

CPC classification number: G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/03 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

Abstract: 강화된에너지량제어및 재생력을갖고약 500 내지 2000Hz의범위에있는속도로펄스를만들수 있는초협대역펄스엑시머레이저. 버스트의펄스개시후, 1 가스순환시간에발생하는종래기술의버스트모드 "슬러그효과"는미소량의산소를추가함으로써제거될수 있다. 바람직한실시예에서, 초협대역폭은플루오르부분압력을 0.10% 미만으로줄이며, 출력커플러의반사율을 25%보다크게증가시킴으로써이루어진다. 바람직한실시예에서, 종래기술의라인협소화모듈에서사용된종래기술의용화된실리카는플루오르화칼슘프리즘으로대체된다.

公开(公告)号：KR100561950B1

公开(公告)日：2006-03-21

申请号：KR1020007003845

申请日：1998-08-21

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 이시하라도시히코 ,  호프만토마스 ,  다스팔라시피. ,  에르소브알렉산더아이.

IPC: H01S3/225

CPC classification number: G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/03 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

Abstract: 강화된 에너지량 제어 및 재생력을 갖고 약 500 내지 2000Hz의 범위에 있는 속도로 펄스를 만들 수 있는 초협대역 펄스 엑시머 레이저. 버스트의 펄스 개시 후, 1 가스 순환시간에 발생하는 종래기술의 버스트 모드 "슬러그 효과"는 미소량의 산소를 추가함으로써 제거될 수 있다. 바람직한 실시예에서, 초협대역폭은 플루오르 부분압력을 0.10% 미만으로 줄이며, 출력 커플러의 반사율을 25%보다 크게 증가시킴으로써 이루어진다. 바람직한 실시예에서, 종래기술의 라인 협소화 모듈에서 사용된 종래기술의 용화된 실리카는 플루오르화 칼슘 프리즘으로 대체된다.
프리즘, 초협대역 레이저, 엑시머 레이저, 플루오르, 산소, 라인 협소화 모 듈, 출력 커플러, 전극, 반사율

公开(公告)号：KR100546483B1

公开(公告)日：2006-01-26

申请号：KR1019997012618

申请日：1998-06-05

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 에르소브알렉산더아이.

IPC: H01S3/08

CPC classification number: G03F7/70483 ,  G02B5/1828 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08081 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/13 ,  H01S3/225

Abstract: 초 협대역 레이저. 초 협대역은 빔 팽창기와 휘어진 회절 격자를 가지는 선 폭줄임 모듈과 공동으로, 출력 결합기를 제공하는 원통형 부분 반사 거울을 사용하여 불안정한 공진공동을 만듦으로써 얻을 수 있다.
협대역 레이저, 회절격자, 선 폭줄임, 출력결합기, 공진공동, 빔 팽창기, 이득매체, 원통 거울, 고체 상태 펄스 파워 모듈(SSPPM)

公开(公告)号：KR1020010031033A

公开(公告)日：2001-04-16

申请号：KR1020007003849

申请日：1998-09-25

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 호프만토마스 ,  이시하라도시히코 ,  다스팔라시피. ,  에르소브알렉산더아이.

IPC: H01S3/225

CPC classification number: G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

Abstract: 본발명은향상된에너지량제어및 재생력을가지며, 약 500 내지 2000Hz의범위에있는속도로펄스를만들수 있는초협대역펄스엑시머레이저를제공한다. 산소및 무거운불활성가스(KrF 레이저를위한크세논또는라돈, 또는 ArF 레이저를위한크립톤, 크세논, 또는라돈)로이루어진미소량의안정화된첨가제가가스혼합물에첨가된다. 수행된테스트는약 30ppm의크세논을 KrF 레이저에첨가함으로써에너지안정도에서본질적인향상을보여준다. 테스트는약 6-10ppm의 Xe 또는 40ppm의 Kr을첨가함으로써 ArF 레이저의향상된성능을보여준다. 바람직한실시예에서, 초협대역폭은플루오르부분압력을 0.10%로줄이고, 출력커플러의반사율을 25%보다크게증가시킴으로써 KrF 레이저상에서이루어진다. 바람직한실시예에서, 종래기술의라인협소화모듈에서사용된종래기술의용화된실리카빔 확산프리즘은플루오르화칼슘프리즘으로대체된다.

公开(公告)号：KR1020010041553A

公开(公告)日：2001-05-25

申请号：KR1020007009736

申请日：1999-02-16

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 노울레스데이비드에스. ,  아졸라제임즈에이치. ,  베샤우셀레헤르베에이. ,  다스팔라쉬피. ,  에르소브알렉산더아이. ,  주하스즈티보르 ,  네스리차드엠. ,  오자르스키로버트지. ,  파틀로웰리암엔. ,  로스웨일다니엘에이. ,  샌드스트롬리차드엘. ,  유자즈도우스키리차드씨. ,  와트슨톰웨이 ,  포멘코프이고르브이.

IPC: H01S3/225

Abstract: 약 0.6pm이하의 대역폭을 가지고 1000Hz에서 10mJ 레이저 펄스를 생성할 수 있는 신뢰성있고 모듈화되고 생성력이 우수한 협대역 KrF 엑시머 레이저. 본 발명은 특히 집적회로의 리소그래피 제조에서의 장기간의 24 시간 연속동작에 적합하다. 종래 레이저보다 향상된 것은 단일 업스트림 예비전리기 튜브 및 음향 배플을 포함하는 것이다. 바람직한 실시예는 감소된 플루오르 농도, 블로워 베이링 상에 공기역학적 반작용력을 감소시키도록 형상화된 애노드 지지바, 빠른 펄스 상승 시간을 제공하는 변형된 펄스 전력 시스템, 실질적으로 증가된 반사율을 갖는 출력 커플러, CaF 프리즘 빔 익스팬더를 구비한 라인 협소화 모듈, 더욱 정확한 파장계, 새롭고 향상된 펄스 에너지 제어 알고리즘으로 프로그래밍된 레이저 컴퓨터 컨트롤러를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020010014430A

公开(公告)日：2001-02-26

申请号：KR1019997012618

申请日：1998-06-05

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 에르소브알렉산더아이.

IPC: H01S3/08

CPC classification number: G03F7/70483 ,  G02B5/1828 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08081 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/13 ,  H01S3/225

Abstract: 초협대역레이저. 초협대역은빔 팽창기와휘어진회절격자를가지는선 폭줄임모듈과공동으로, 출력결합기를제공하는원통형부분반사거울을사용하여불안정한공진공동을만듦으로써얻을수 있다.

Abstract translation: 斩波带激光。 可以通过使用圆柱形部分反射镜产生不稳定的谐振腔来获得超窄带，该圆柱形部分反射镜与光束扩展器和具有弯曲衍射光栅的线宽减小模块一起提供输出耦合器。

公开(公告)号：KR100561957B1

公开(公告)日：2006-03-21

申请号：KR1020007003849

申请日：1998-09-25

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 호프만토마스 ,  이시하라도시히코 ,  다스팔라시피. ,  에르소브알렉산더아이.

IPC: H01S3/225

CPC classification number: G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

Abstract: 본 발명은 향상된 에너지량 제어 및 재생력을 가지며, 약 500 내지 2000Hz의 범위에 있는 속도로 펄스를 만들 수 있는 초협대역 펄스 엑시머 레이저를 제공한다. 산소 및 무거운 노블 가스(KrF 레이저를 위한 크세논 또는 라돈, 또는 ArF 레이저를 위한 크립톤, 크세논, 또는 라돈)로 이루어진 미소량의 안정화된 첨가제가 가스 혼합물에 첨가된다. 수행된 테스트는 약 30ppm의 크세논을 KrF 레이저에 첨가함으로써 에너지 안정도에서 본질적인 향상을 보여준다. 테스트는 약 6-10ppm의 Xe 또는 40ppm의 Kr을 첨가함으로써 ArF 레이저의 향상된 성능을 보여준다. 바람직한 실시예에서, 초협대역폭은 플루오르 부분압력을 0.10%로 줄이고, 출력커플러의 반사율을 25%보다 크게 증가시킴으로써 KrF 레이저상에서 이루어진다. 바람직한 실시예에서, 종래기술의 라인 협소화 모듈에서 사용된 종래기술의 용융된 실리카 빔 확산 프리즘은 플루오르화 칼슘 프리즘으로 대체된다.
프리즘, 레이저, 크세논, 노블 가스, 플루오르, 초협대역, 파장, 에너지, 라인 협소화 모듈, 전원장치, 반사율

公开(公告)号：KR100394397B1

公开(公告)日：2003-08-09

申请号：KR1020007009736

申请日：1999-02-16

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 노울레스데이비드에스. ,  아졸라제임즈에이치. ,  베샤우셀레헤르베에이. ,  다스팔라쉬피. ,  에르소브알렉산더아이. ,  주하스즈티보르 ,  네스리차드엠. ,  오자르스키로버트지. ,  파틀로웰리암엔. ,  로스웨일다니엘에이. ,  샌드스트롬리차드엘. ,  유자즈도우스키리차드씨. ,  와트슨톰웨이 ,  포멘코프이고르브이.

IPC: H01S3/225

CPC classification number: G01J9/0246 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70358 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/225

Abstract: A reliable, modular, production quality narrow-band KrF excimer laser capable of producing 10 mJ laser pulses at 1000 Hz with a bandwidth of about 0.6 pm or less. The present invention is especially suited to long-term round-the-clock operation in the lithographic production of integrated circuits. Improvements over prior art lasers include a single upstream preionizer tube and acoustic baffles. A preferred embodiment includes reduced fluorine concentration, an anode support bar shaped to reduce aerodynamic reaction forces on blower bearings, a modified pulse power system providing faster pulse rise time, an output coupler with substantially increased reflectivity, a line narrowing module with CaF prism beam expanders, a more accurate wavemeter, a laser computer controller programmed with new and improved pulse energy control algorithm.

Abstract translation: 一种可靠的模块化生产质量的窄带KrF准分子激光器，能够以1000Hz的频率产生10mJ的激光脉冲，带宽约为0.6pm或更小。 本发明特别适用于集成电路光刻生产中的长期全天候操作。 现有技术激光器的改进包括单个上游预电离子管和隔音板。 一个优选的实施例包括降低的氟浓度，成形为减少鼓风机轴承上的空气动力学反作用力的阳极支撑杆，提供更快的脉冲上升时间的改进的脉冲功率系统，具有显着提高的反射率的输出耦合器，具有CaF棱镜光束扩展器 ，更精确的波长计，一种用新的和改进的脉冲能量控制算法编程的激光计算机控制器。