公开(公告)号：KR101094305B1

公开(公告)日：2011-12-19

申请号：KR1020100012918

申请日：2010-02-11

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 김도영 ,  권영길 ,  이승묵 ,  김대훈 ,  김선호 ,  서민철

IPC: H01L51/56

CPC classification number: B41M3/003 ,  B41M3/00 ,  H01L51/0013

Abstract: 본 발명은 투과영역을 포함하는 투명 기판; 상기 투과영역을 제외한 투명기판의 후면(後面)에 위치하는 반사막 패턴; 및 상기 투명기판의 전면(前面) 및 후면(後面) 중 적어도 어느 하나의 면에 위치하는 스캐터링(scattering)부를 포함하고, 상기 스캐터링(scattering)부는 상기 반사막 패턴과 대응되는 위치에 형성되는 마스크 및 이를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조방법을 제공한다.
따라서, 본 발명은 도너기판에 정확한 레이저의 조사가 가능할 뿐만 아니라, 마스크에 의해 레이저 빔이 반사되어 레이저 발생기를 손상시키는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100873071B1

公开(公告)日：2008-12-09

申请号：KR1020050106167

申请日：2005-11-07

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 송명원 ,  강태민 ,  고삼일 ,  권영길 ,  김무현 ,  김선호 ,  노석원 ,  성연주 ,  성진욱 ,  양남철 ,  유병욱 ,  이성택 ,  이재호

IPC: H05B33/10

CPC classification number: B41M5/38214 ,  B41M5/38221 ,  Y10S430/136

Abstract: 본 발명은 추가적인 열처리 공정을 통하여 레이저 전사법에 사용되는 도너 필름의 표면 균일도를 향상시켜 제품의 수명 향상 및 불량률 감소가 가능하도록 된 표면 균일도 향상을 위한 도너 필름 가공방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 표면 균일도 향상을 위한 도너 필름 가공방법은 기재 필름, 광-열 변환층 및 유기막이 포함된 도너 필름이 제공되는 준비단계; 상기 도너 필름을 열처리하는 가열단계; 및 상기 열처리된 도너 필름을 냉각시키는 냉각단계;로 이루어져, 도너 필름의 표면 균일도를 향상시켜 레이저 전사 공정이 이루어지는 영역 상에 레이저의 불균일 분포 해소가 가능함으로서, 전사되는 유기막의 과전사, 미전사 등을 방지하고, 전사되는 유기막과 억셉터 기판과의 접착력 불균일을 방지하여, 제품 수명 향상, 불량률 감소 및 고품질화를 이룰 수 있다.
레이저 전사, 도너 필름, 기재 필름, 표면 균일도, 열처리

公开(公告)号：KR1020110093092A

公开(公告)日：2011-08-18

申请号：KR1020100012918

申请日：2010-02-11

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 김도영 ,  권영길 ,  이승묵 ,  김대훈 ,  김선호 ,  서민철

IPC: H01L51/56

CPC classification number: B41M3/003 ,  B41M3/00 ,  H01L51/0013

Abstract: PURPOSE: A laser heat transfer mask and a method for manufacturing an organic electroluminescence light emitting device using the same are provided to include a reflective film pattern on the rear surface of a transparent substrate, thereby accurately irradiating a laser on a donor substrate. CONSTITUTION: A transparent substrate(300) comprises a light transmission area(300a). A reflective film pattern(310) is arranged on the rear surface of the transparent substrate except for the light transmission area. The reflective film pattern is made of metal materials. A scattering unit(320) is arranged on one of the frontal surface or the rear surface of the transparent substrate. The scattering unit is formed on the location corresponding to the reflective film pattern.

Abstract translation: 目的：提供激光传热掩模和使用其的有机电致发光器件的制造方法，以在透明基板的背面上包括反射膜图案，从而在供体基板上精确地照射激光。 构成：透明基板（300）包括透光区域（300a）。 反射膜图案（310）布置在除了透光区域之外的透明基板的后表面上。 反射膜图案由金属材料制成。 散射单元（320）布置在透明基板的前表面或后表面之一上。 散射单元形成在与反射膜图案对应的位置上。

公开(公告)号：KR1020070049003A

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：KR1020050106167

申请日：2005-11-07

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 송명원 ,  강태민 ,  고삼일 ,  권영길 ,  김무현 ,  김선호 ,  노석원 ,  성연주 ,  성진욱 ,  양남철 ,  유병욱 ,  이성택 ,  이재호

IPC: H05B33/10

CPC classification number: B41M5/38214 ,  B41M5/38221 ,  Y10S430/136

Abstract: 본 발명은 추가적인 열처리 공정을 통하여 레이저 전사법에 사용되는 도너 필름의 표면 균일도를 향상시켜 제품의 수명 향상 및 불량률 감소가 가능하도록 된 표면 균일도 향상을 위한 도너 필름 가공방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 표면 균일도 향상을 위한 도너 필름 가공방법은 기재 필름, 광-열 변환층 및 유기막이 포함된 도너 필름이 제공되는 준비단계; 상기 도너 필름을 열처리하는 가열단계; 및 상기 열처리된 도너 필름을 냉각시키는 냉각단계;로 이루어져, 도너 필름의 표면 균일도를 향상시켜 레이저 전사 공정이 이루어지는 영역 상에 레이저의 불균일 분포 해소가 가능함으로서, 전사되는 유기막의 과전사, 미전사 등을 방지하고, 전사되는 유기막과 억셉터 기판과의 접착력 불균일을 방지하여, 제품 수명 향상, 불량률 감소 및 고품질화를 이룰 수 있다.
레이저 전사, 도너 필름, 기재 필름, 표면 균일도, 열처리

公开(公告)号：KR100929035B1

公开(公告)日：2009-11-26

申请号：KR1020070084933

申请日：2007-08-23

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 노석원 ,  강태민 ,  성진욱 ,  이상봉 ,  이승묵 ,  박진우 ,  김선호 ,  정명종

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/243

Abstract: 본 발명은 가열용기 및 이를 구비한 증착장치에 관한 것으로, 증착물질을 저장하는 본체와 상기 본체 상부에 노즐을 구비하며 위치하는 덮개를 포함하는 내부용기; 상기 내부용기의 외부 하부영역과 다수개의 접촉부를 매개로 결합되며, 열전대의 일측단자와 연결되는 밴드형 구조체; 상기 내부용기 및 상기 밴드형 구조체를 수납하고 상부가 개방된 형태의 외부용기; 및 상기 외부용기의 내측에 위치하며, 상기 증착물질을 가열하기 위한 가열수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 가열용기를 제공한다.
상기 다수개의 접촉부는 상기 밴드형 구조체의 상측 일부분이 구부러진 형태로 상기 내부용기의 하부영역을 접촉하면서 일정간격으로 고정시키는 역할을 한다.
따라서, 가열용기의 온도 재현성 및 온도 정확성을 향상시켜 보다 양호한 박막을 증착 할 수 있다.
열전대, 밴드형 구조체, 가열용기

Abstract translation: 一种坩埚加热装置和包括其的沉积装置。 坩埚加热装置包括：坩埚，其包括用于容纳沉积材料的主体以及设置在主体上的具有喷嘴的盖; 通过接触部分耦合到坩埚的带; 耦合到频带的热电偶; 一个容纳坩埚和乐队的房屋; 以及设置在壳体内的加热器，以加热沉积材料。

公开(公告)号：KR1020090020286A

公开(公告)日：2009-02-26

申请号：KR1020070084933

申请日：2007-08-23

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 노석원 ,  강태민 ,  성진욱 ,  이상봉 ,  이승묵 ,  박진우 ,  김선호 ,  정명종

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/243

Abstract: A heating container and a deposition apparatus having the same is provided to improve accuracy of temperature by measuring the temperature of a deposition material through a connection unit. A heating container includes the followings: an inner container(130); a band type structure(200) connected with a plurality of the connection units(210) and a lower part of the inner container; an outer container(400) receiving the internal container and the band type structure; and a heating unit(410) installed on the inside of the outer container. The inner container includes a main body(110) storing a deposition material(120), a cover(140) which is positioned on an upper part of the main body having a nozzle(141).

Abstract translation: 提供一种加热容器和具有该加热容器的沉积设备，以通过连接单元测量沉积材料的温度来提高温度的精度。 加热容器包括：内容器（130）; 与多个连接单元（210）和内部容器的下部连接的带状结构（200）; 容纳内部容器和带状结构的外部容器（400）; 和安装在外容器内侧的加热单元（410）。 内部容器包括存储沉积材料（120）的主体（110），位于具有喷嘴（141）的主体上部的盖子（140）。