公开(公告)号：KR1020110102687A

公开(公告)日：2011-09-19

申请号：KR1020100021836

申请日：2010-03-11

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 진성현 ,  장영진 ,  오재환 ,  이원규

IPC: H01L21/324 ,  H01L29/786 ,  H01L51/56

CPC classification number: C30B29/06 ,  C30B1/023 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02425 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02667 ,  H01L21/2022

Abstract: 본 발명은 기판에 크랙(crack)이 생기는 현상을 방지할 수 있는 결정화 장치, 결정화 방법, 박막 트랜지스터 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 이를 위하여 본 발명은 기판이 수용되는 챔버; 및 상기 챔버 내에 서로 마주보도록 배치되는 제1 플래시 램프 및 제2 플래시 램프;를 구비하고, 상기 기판의 상기 제1 플래시 램프와 마주보는 제1 면 및 상기 기판의 상기 제2 플래시 램프와 마주보는 제2 면 상에 각각 비정질 실리콘층이 형성되는 것을 특징으로 하는 결정화 장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020120008344A

公开(公告)日：2012-01-30

申请号：KR1020100069153

申请日：2010-07-16

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 이원규 ,  진성현 ,  오재환 ,  장영진 ,  최재범

IPC: H01L21/324 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/268 ,  B23K26/0676 ,  B23K26/066 ,  H01L21/02675 ,  H01L21/0268

Abstract: PURPOSE: A laser irradiation apparatus is provided to effectively improve treatment quantity per hour without changing the total amount of energy of oscillation laser light. CONSTITUTION: Laser lights(LB1,LB2) are irradiated on a semiconductor layer(SC) which is formed on a substrate(SS) according to a scan direction(SL). The semiconductor layer comprises a plurality of pixel regions. A laser generator(910) comprises a first laser generator(911) which oscillates first laser light and a second laser generator(912) which oscillates second laser light. The first laser light and the second laser light are partitioned and are respectively irradiated toward a plurality of laser masks(610,620). A plurality of laser masks comprises a plurality of slit groups(615).

Abstract translation: 目的：提供一种激光照射装置，用于有效地改善每小时的处理量，而不改变振荡激光的能量总量。 构成：根据扫描方向（SL）将激光（LB1，LB2）照射在形成于基板（SS）上的半导体层（SC）上。 半导体层包括多个像素区域。 激光发生器（910）包括振荡第一激光的第一激光发生器（911）和振荡第二激光的第二激光发生器（912）。 第一激光和第二激光被分割并分别照射到多个激光掩模（610,620）。 多个激光掩模包括多个狭缝组（615）。

公开(公告)号：KR101097348B1

公开(公告)日：2011-12-23

申请号：KR1020100021836

申请日：2010-03-11

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 진성현 ,  장영진 ,  오재환 ,  이원규

IPC: H01L21/324 ,  H01L29/786 ,  H01L51/56

CPC classification number: C30B29/06 ,  C30B1/023 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02425 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02667

Abstract: 본발명은기판에크랙(crack)이생기는현상을방지할수 있는결정화장치, 결정화방법, 박막트랜지스터제조방법및 유기발광표시장치의제조방법에관한것으로서, 이를위하여본 발명은기판이수용되는챔버; 및상기챔버내에서로마주보도록배치되는제1 플래시램프및 제2 플래시램프;를구비하고, 상기기판의상기제1 플래시램프와마주보는제1 면및 상기기판의상기제2 플래시램프와마주보는제2 면상에각각비정질실리콘층이형성되는것을특징으로하는결정화장치를제공한다.

公开(公告)号：KR101135537B1

公开(公告)日：2012-04-13

申请号：KR1020100069153

申请日：2010-07-16

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 이원규 ,  진성현 ,  오재환 ,  장영진 ,  최재범

IPC: H01L21/324 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/268

Abstract: A laser irradiation apparatus provides a laser beam along a scan direction to a semiconductor layer including a plurality of pixel areas. The laser irradiation apparatus includes at least one laser mask including a plurality of slit groups respectively facing portions of the plurality of pixel areas and a laser generator generating the laser beam that pass through the plurality of slit groups of the at least one laser mask.

公开(公告)号：KR101035360B1

公开(公告)日：2011-05-20

申请号：KR1020100016336

申请日：2010-02-23

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 장영진 ,  진성현 ,  오재환 ,  이원규

IPC: H01J9/24 ,  G02F1/13 ,  C03B32/02

CPC classification number: H01L21/268 ,  B23K26/083 ,  B23K26/0869 ,  B23K37/0408 ,  B23K2201/40 ,  C30B1/023 ,  C30B29/06 ,  C30B35/00

Abstract: PURPOSE: A laser crystallization device and a method thereof are provided to enable the crystallization of a thin film on a substrate since a laser beam is scanned on the substrate in a specific direction. CONSTITUTION: A laser beam irradiation unit(110) scans laser beam on a substrate in a specific direction. A stage(120) arranges the substrate. A fixing unit(130) is formed on the stage to correspond to one edge of the substrate. A driving unit(150) lifts one side of the stage so the area in which the fixing unit is placed is moved down. The substrate is moved by the gravity and is mounted in the fixing unit.

Abstract translation: 目的：提供激光结晶装置及其方法，以使得能够在基板上沿特定方向扫描激光束，从而使基板上的薄膜结晶化。 构成：激光束照射单元（110）沿特定方向扫描基板上的激光束。 台架（120）布置基板。 固定单元（130）形成在台架上以对应于基板的一个边缘。 驱动单元（150）提升舞台的一侧，使得放置定影单元的区域向下移动。 基板由重力移动并安装在定影单元中。