公开(公告)号：KR1020050050820A

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：KR1020030084466

申请日：2003-11-26

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 남명우 ,  정병현 ,  강희철 ,  김병진

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판에 공급되는 세정액의 공급 형태를 혹은 세정액에 걸리는 압력의 형태를 일정 시간씩 공급과 중단을 반복하는 펄스 타입으로 하며, 세정액이 공급되는 압력은 20kg중/cm
2 정도의 고압으로 설정하는 세정 방법 및 장치가 개시된다.
본 발명에 따르면, 세정 공정 중 기판면에 수막이 형성되어 세정 효율을 떨어뜨리는 문제를 없애 세정 효율을 높이고, 세정액을 절약할 수 있다.

公开(公告)号：KR100995410B1

公开(公告)日：2010-11-18

申请号：KR1020030084466

申请日：2003-11-26

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 남명우 ,  정병현 ,  강희철 ,  김병진

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판에 공급되는 세정액의 공급 형태를 혹은 세정액에 걸리는 압력의 형태를 일정 시간씩 공급과 중단을 반복하는 펄스 타입으로 하며, 세정액이 공급되는 압력은 20kg중/cm
2 정도의 고압으로 설정하는 세정 장치가 개시된다.
본 발명에 따르면, 세정 공정 중 기판면에 수막이 형성되어 세정 효율을 떨어뜨리는 문제를 없애 세정 효율을 높이고, 세정액을 절약할 수 있다.