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公开(公告)号：KR100995410B1
公开(公告)日：2010-11-18
申请号：KR1020030084466
申请日：2003-11-26
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 기판에 공급되는 세정액의 공급 형태를 혹은 세정액에 걸리는 압력의 형태를 일정 시간씩 공급과 중단을 반복하는 펄스 타입으로 하며, 세정액이 공급되는 압력은 20kg중/cm
2 정도의 고압으로 설정하는 세정 장치가 개시된다.
본 발명에 따르면, 세정 공정 중 기판면에 수막이 형성되어 세정 효율을 떨어뜨리는 문제를 없애 세정 효율을 높이고, 세정액을 절약할 수 있다.-
2.发明授权박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 有权薄膜沉积设备，制造使用其的有机发光显示设备的方法以及由此制造的有机发光显示设备
公开(公告)号：KR101127578B1
公开(公告)日：2012-03-23
申请号：KR1020090078171
申请日：2009-08-24
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 본 발명은 대형 기판의 양산 공정에 더욱 적합하고, 고정세의 패터닝이 가능하도록 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 위하여, 증착 물질을 방사하는 증착원과, 상기 증착원의 일 측에 배치되며 제1방향을 따라 복수개의 증착원 노즐들이 형성된 증착원 노즐부와, 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고 상기 제1방향을 따라 복수개의 패터닝 슬릿들이 배치되는 패터닝 슬릿 시트와, 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이에 상기 제1방향을 따라 배치되어 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 복수개의 증착 공간들로 구획하는 복수개의 차단판들을 포함하는 차단판 어셈블리를 포함하는 박막 증착 어셈블리를 구비하며, 상기 차단판들 각각은 상기 패터닝 슬릿 시트로부터 이격된 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 제공한다.
Abstract translation: 本发明的成膜装置，制造有机光使用相同的，并且因此根据更适合于大规模生产的大型基板的制造的有机发光显示装置的发光显示装置的方法，以允许固定的三个图案，发光的沉积材料 多个蒸发源的，以及设置在所述蒸发源的一侧上的蒸发源喷嘴单元与在所述第一方向上的多个沉积源喷嘴的形成，并设置沿第一方向面对沉积源喷嘴单元 和图案化缝隙片图案化缝隙被设置，它被安排沿着沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片的沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间之间的第一方向分割成多个沉积空间 1。一种薄膜沉积组件，包括：屏蔽板组件，其包括用于分隔的多个屏蔽板， 每个屏蔽板提供了一种薄膜沉积设备，制造使用相同的，并且因此根据制造的有机发光显示装置，其特征在于，从所述图案化缝隙片隔开的有机发光显示装置的方法。
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3.发明公开박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 有权用于薄层沉积的装置，使用其制造有机发光显示装置的方法以及由该方法制造的有机发光显示装置
公开(公告)号：KR1020110020517A
公开(公告)日：2011-03-03
申请号：KR1020090078171
申请日：2009-08-24
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition apparatus, a method for manufacturing an organic light emitting display device using the apparatus, and an organic light emitting display device manufactured by the method are provided to enable application to a large substrate production line and high-precision patterning. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus comprises an evaporator(110), an evaporator nozzle unit(120), a patterning slit sheet(150), and a blocking plate assembly(130). The evaporator emits materials being deposited. The evaporator nozzle unit includes a plurality of evaporator nozzles arranged in a first direction. The patterning slit sheet, in which patterning slits are arranged in the first direction, is arranged to be faced with the evaporator nozzle unit. The blocking plate assembly including a plurality of blocking plates is arranged between the evaporator nozzle unit and the patterning slit sheet in the first direction so as to divide the space between the evaporator nozzle unit and the patterning slit sheet into multiple deposition spaces.
Abstract translation: 目的：提供一种薄膜沉积装置，使用该装置的有机发光显示装置的制造方法以及通过该方法制造的有机发光显示装置，能够应用于大型基板生产线和高精度图案化。 构成：薄膜沉积装置包括蒸发器（110），蒸发器喷嘴单元（120），图案化缝隙片（150）和阻挡板组件（130）。 蒸发器发出正在沉积的物质。 蒸发器喷嘴单元包括沿第一方向布置的多个蒸发器喷嘴。 图案化狭缝片沿其第一方向排列，其中图案化狭缝布置成面对蒸发器喷嘴单元。 在蒸发器喷嘴单元和图案化缝隙片之间沿第一方向布置有包括多个阻挡板的阻挡板组件，以将蒸发器喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间分隔成多个沉积空间。
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公开(公告)号：KR1020100093219A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：KR1020090012310
申请日：2009-02-16
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70025 , G03F7/70233 , G03F7/70358
Abstract: PURPOSE: A substrate pattern exposing device is provided to reduce equipment costs by minimizing the size of a chamber for laser patterning. CONSTITUTION: A transparent substrate(110) is positioned in a chamber. A laser irradiator(120) is formed on one side of a transparent substrate, irradiates laser in a first direction, and moves in a second direction vertical to the first direction. An optical device(130) reflects the irradiated laser with 90 degrees, inputs the laser to the transparent substrate, and moves in the first direction. The optical device includes a mirror part(132) to reflect the irradiated laser to the transparent substrate with 90 degrees.
Abstract translation: 目的：提供基板图案曝光装置，通过最小化用于激光图案化的室的尺寸来降低设备成本。 构成：将透明基板（110）定位在室中。 激光照射器（120）形成在透明基板的一侧上，沿第一方向照射激光，并沿与第一方向垂直的第二方向移动。 光学装置（130）将照射的激光反射90度，将激光输入到透明基板，并沿第一方向移动。 该光学装置包括将照射的激光以90度反射到透明基板的反射镜部分（132）。
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公开(公告)号：KR1020090090820A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：KR1020080016304
申请日：2008-02-22
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L51/5246 , H01L51/5253 , H01L51/56 , H01L2924/12044
Abstract: A coating device for encapsulation is provided to improve parallelism of a coating robot by arranging a continuous support between the coating robot and the frame. A coating device for encapsulation includes a frame(10), a coating robot(100), and a support(20). A substrate is mounted on a frame. A coating robot includes a moving guide, a Y-axis block, a column(50), and a coating head(60). The column crosses the frame. The frame moves to the front or rear direction of the body. The moving guide is arranged in the upper surface of the Y-axis block to guide the movement of the column. The coating head is arranged in the side of the column to coat the paste on the substrate. The support is continuously arranged between the frame and the Y-axis block to support the column and the Y-axis block.
Abstract translation: 提供用于封装的涂覆装置，以通过在涂覆机器人和框架之间布置连续的支撑来改善涂层机器人的平行度。 用于封装的涂覆装置包括框架（10），涂覆机器人（100）和支撑件（20）。 衬底安装在框架上。 涂覆机器人包括移动引导件，Y轴块，柱（50）和涂覆头（60）。 列穿过框架。 框架移动到身体的前后方向。 移动引导件设置在Y轴块的上表面中以引导柱的移动。 涂布头布置在柱的侧面以涂覆基底上的浆料。 支撑件连续地布置在框架和Y轴块之间以支撑柱和Y轴块。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090072757A
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：KR1020070140959
申请日：2007-12-28
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L51/0013 , Y10S430/146
Abstract: A laser patterning apparatus is provided to improve compression uniformity between a donor film and an acceptor substrate by uniformly pressurizing a pressurizing member by an actuator which maintains an extension state. A stage(10) supports an acceptor substrate(61). A shielding mask(20) forms a pattern, and is positioned on the acceptor substrate. A donor film(62) is attached on one surface of the shielding mask. A laser gun(30) is arranged in a top part of the stage in order to partially irradiate a laser light on the donor film through the pattern of the shielding mask. A pressurizing member(40) partially corresponds to the shielding mask. An actuator(50) is connected to one side of the pressurizing member, and pressurizes the pressurizing member.
Abstract translation: 提供了一种激光图案形成装置，以通过由保持延伸状态的致动器均匀地对加压构件进行加压来提高施主膜和受主基板之间的压缩均匀性。 阶段（10）支撑受主衬底（61）。 屏蔽掩模（20）形成图案，并且位于受主基板上。 供体膜（62）附着在屏蔽掩模的一个表面上。 激光枪（30）布置在舞台的顶部，以便通过屏蔽罩的图案部分地将激光照射在供体膜上。 加压构件（40）部分对应于屏蔽罩。 致动器（50）连接到加压构件的一侧，并且对加压构件加压。
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公开(公告)号：KR101084184B1
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：KR1020100002381
申请日：2010-01-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L51/001
Abstract: 본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서, 증착 물질을 방사하는 증착원; 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 증착원 노즐들이 형성되는 증착원 노즐부; 및 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향에 대해 수직인 제2 방향을 따라 복수 개의 패터닝 슬릿들이 형성되는 패터닝 슬릿 시트를 포함하고, 상기 기판이 상기 박막 증착 장치에 대하여 상기 제1 방향을 따라 이동하면서 증착이 수행되고, 상기 증착원, 상기 증착원 노즐부 및 상기 패터닝 슬릿 시트는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치를 제공한다.Abstract translation: 本发明涉及的成膜装置，并且更特别地，可以容易地应用到大尺寸的板的制造方法，本发明涉及一种制造成品率得以提高成膜装置。
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公开(公告)号：KR1020110082418A
公开(公告)日：2011-07-19
申请号：KR1020100002381
申请日：2010-01-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L51/001 , H01L51/0002 , H01L51/0014 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition device is provided to increase manufacturing yield and deposition efficiency. CONSTITUTION: A deposition source(110) radiates a deposition material(115). A deposition source nozzle unit(120) is formed on one side of the deposition source. A plurality of deposition source nozzles(121) is formed in the deposition source nozzle unit in a first direction. A patterning slit sheet(150) faces the deposition source nozzles. The patterning slit sheet includes patterning slits(151) which is formed in a second direction.
Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置以提高制造成品率和沉积效率。 构成：沉积源（110）辐射沉积材料（115）。 沉积源喷嘴单元（120）形成在沉积源的一侧上。 在沉积源喷嘴单元中沿着第一方向形成多个沉积源喷嘴（121）。 图案化缝隙片（150）面向沉积源喷嘴。 图形化缝隙片包括沿第二方向形成的图案化缝隙（151）。
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公开(公告)号：KR1020110014442A
公开(公告)日：2011-02-11
申请号：KR1020090072111
申请日：2009-08-05
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition apparatus and a method for manufacturing an organic light emitting display using the same are provided to reduce the size of shadow formed in a substrate by securing the straightness of deposited materials using cutoff plates. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus comprises a plurality of thin film deposition assemblies. Each thin film deposition assembly comprises an evaporation source(110), an evaporation source nozzle unit(120), a patterning slit sheet(150), and a cutoff plate assembly(130). A plurality of evaporation source nozzles are formed in a first direction in the evaporation source nozzle unit. The patterning slit sheet has a plurality of patterning slits formed in the first direction. The cutoff plate assembly comprising a plurality of cutoff plates(131) is arranged in the first direction between the evaporation source nozzle unit and the patterning slit sheet. The thin film deposition apparatus is separated from a substrate(400), and one of the thin film deposition apparatus and the substrate is movable relative to the other.
Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置和使用其的有机发光显示器的制造方法，以通过使用切割板确保沉积材料的平直度来减小形成在基底中的阴影的尺寸。 构成：薄膜沉积装置包括多个薄膜沉积组件。 每个薄膜沉积组件包括蒸发源（110），蒸发源喷嘴单元（120），图案化缝隙片（150）和切割板组件（130）。 多个蒸发源喷嘴在蒸发源喷嘴单元中沿第一方向形成。 图案化缝隙片具有沿着第一方向形成的多个图形缝隙。 包括多个切断板（131）的切割板组件沿蒸发源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的第一方向布置。 薄膜沉积设备与基板（400）分离，并且薄膜沉积设备和基板之一可相对于另一个移动。
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公开(公告)号：KR100908726B1
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：KR1020070140959
申请日：2007-12-28
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L51/0013 , Y10S430/146
Abstract: A laser patterning apparatus for handling a donor film and improving compression uniformity between the donor film and an acceptor substrate is provided. The laser patterning apparatus includes: a stage that supports an acceptor substrate; a shielding mask that is placed on the acceptor substrate to form a pattern and is attached to a donor film on one surface thereof; a laser gun that is disposed at an upper part of the stage to radiate laser light to a portion of the donor film through the pattern of the shielding mask; a pressing member that corresponds to a portion of the shielding mask; and an actuator that is connected to one side of the pressing member to press the pressing member.
Abstract translation: 提供了用于处理供体膜并提高供体膜与受体基底之间的压缩均匀性的激光图案形成装置。 激光图案形成装置包括：支撑受体基板的台; 掩模掩模，其放置在受体衬底上以形成图案并且在其一个表面上附着到供体膜; 激光枪，其设置在所述台的上部，以通过所述屏蔽掩模的图案将激光照射到所述供体膜的一部分; 与屏蔽罩的一部分对应的按压部件; 以及致动器，其连接到按压构件的一侧以按压按压构件。
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