公开(公告)号：KR1020090049331A

公开(公告)日：2009-05-18

申请号：KR1020070115553

申请日：2007-11-13

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 김경보 ,  박용우 ,  정창영 ,  도성원 ,  이대우 ,  여종모

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L29/66742 ,  H01L27/3248 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78675 ,  H01L29/78696 ,  H01L29/04

Abstract: 본 발명은 박막트랜지스터 및 그 제조방법과 이를 구비하는 유기전계발광표시장치에 관한 것으로 ±10% 범위의 그레인 크기 편차를 가지는 반도체층을 구비한다.
따라서, 반도체층의 SLS 결정화 시 발생할 수 있는 그레인 크기의 불균일로 인한 화상특성 불량의 문제점을 개선할 수 있다.
그레인,불균일,SLS

公开(公告)号：KR100953657B1

公开(公告)日：2010-04-20

申请号：KR1020070115553

申请日：2007-11-13

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 김경보 ,  박용우 ,  정창영 ,  도성원 ,  이대우 ,  여종모

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L29/66742 ,  H01L27/3248 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78675 ,  H01L29/78696

Abstract: 본 발명은 박막트랜지스터 및 그 제조방법과 이를 구비하는 유기전계발광표시장치에 관한 것으로 ±10% 범위의 그레인 크기 편차를 가지는 다결정 실리콘으로 형성된 반도체층을 구비한다.
따라서, 반도체층의 SLS 결정화 시 발생할 수 있는 그레인 크기의 불균일로 인한 화상특성 불량의 문제점을 개선할 수 있다.
그레인,불균일,SLS