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公开(公告)号：KR20210029650A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020200040836A
申请日：2020-04-03
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/02086 , H03H9/02047
Abstract: 기판과, 상기 기판의 상부에 배치되는 제1 전극과, 상기 제1 전극의 적어도 일부를 덮도록 배치되는 압전층과, 상기 압전층의 적어도 일부를 덮도록 배치되는 제2 전극 및 상기 압전층의 일부 영역의 하부에 배치되는 삽입층을 포함하며, 상기 제1 전극은 상기 제1 전극, 상기 압전층 및 상기 제2 전극이 모두 겹쳐지게 배치되는 활성 영역에서의 두께가 이외의 영역에서의 두께보다 얇으며, 상기 삽입층의 내부면 경사각이 상기 삽입층의 외부면 경사각과 서로 다른 체적 음향 공진기가 개시된다.
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公开(公告)号：KR20210029644A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020200000401A
申请日：2020-01-02
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: H03H9/0211 , H03H9/0504
Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 체적 음향 공진기는, 기판 상에 제1 전극, 압전층, 제2 전극이 순차적으로 적층된 중앙부와, 상기 중앙부의 둘레를 따라 배치되는 확장부로 구성되는 공진부 및 상기 확장부에서 상기 압전층의 하부에 배치되어 상기 압전층을 융기시키는 삽입층을 포함하며, 상기 삽입층은 상기 중앙부와 마주보는 측면을 따라 제1 경사면이 형성되고, 상기 제1 전극은 상기 삽입층의 제1 경사면 하단에서 연장되는 제2 경사면을 구비할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020180093761A
公开(公告)日：2018-08-22
申请号：KR1020170063577
申请日：2017-05-23
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: 기판상에배치되는하부전극연결부와, 상기하부전극연결부의상부에배치되는공진부및 상기공진부의상부전극과상기기판을전기적으로연결하는상부전극연결부를포함하며, 상기상부전극연결부재는상기공진부의외측에서상기기판으로부터연장되어상기상부전극의상면에연결되며, 상기하부전극연결부재는상기하부전극과상기기판을전기적으로연결하며, 상기하부전극과, 압전체층및 상부전극으로구성되는공진부의가장자리를지지하도록상기공진부의형상에대응되는고리형상을가지는체적음향공진기가개시된다.
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公开(公告)号：KR1020170004123A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：KR1020150094036
申请日：2015-07-01
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B7/0029 , B81B7/0048 , B81B2201/0264 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/033 , B81C1/00404 , B81C2201/0132
Abstract: 본발명의일 실시예는센서소자에관한것으로, 이는다이; 제1트렌치를사이에두고다이에의해포위된프레임을구비하는활성부; 및다이와프레임을연결하며, 제2트렌치가형성되어있는적어도하나의브릿지를포함하여, 활성부에서전극패드까지의전기적연결을확보하면서도제2트렌치를통해외부응력이활성부로전달되는것을최소화할수 있게된다.
Abstract translation: 提供传感器元件及其制造方法。 传感器元件包括管芯，包括由管芯包围的框架的有源部件，设置在管芯和有源部件之间的第一沟槽，以及连接管芯和框架的桥和在桥中形成的第二沟槽，由此 可以确保从有源部分到电极焊盘的电连接，并且可以通过第二沟槽显着地减少对有源部分的外部应力的传递。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170002947A
公开(公告)日：2017-01-09
申请号：KR1020150092908
申请日：2015-06-30
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L9/0054 , G01L9/0047
Abstract: 본발명은압력센서소자에관한것으로, 이는다이; 이다이의일면에형성된오목홈; 이오목홈내에서오목홈의측벽과이격되게형성되어트렌치와캐비티를구획하는격벽; 및다이에형성되어오목홈을덮어씌우는멤브레인을포함하여, 멤브레인상에배치된압력감지부에서전극패드까지의전기적연결을확보하면서도트렌치를통해외부응력이센싱영역으로전달되는것을최소화할수 있다.
Abstract translation: 压力传感器元件包括模具; 形成在模具的一个表面中的凹槽; 形成在所述凹槽中与侧壁间隔开的分隔壁，所述分隔壁将所述凹槽分隔成沟槽和空腔; 以及形成在模具上并覆盖凹槽的膜。
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公开(公告)号：KR1020160126212A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：KR1020150057012
申请日：2015-04-23
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: G01L19/147
Abstract: 본발명의압력센서패키지는기판유닛; 상기기판유닛의일 면에배치되고, 상기기판유닛의일 면으로개방된수납공간을구비하는반도체유닛; 및상기기판유닛과연결되고, 상기수납공간에배치되는압력센서유닛;를포함한다.
Abstract translation: 压力传感器封装包括衬底，压力传感器和半导体电路。 半导体电路设置在基板的一个表面上，并且具有向基板的一个表面开放的接收空间。 压力传感器连接到基板并设置在接收空间中。
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公开(公告)号：KR1020160125770A
公开(公告)日：2016-11-01
申请号：KR1020150056660
申请日：2015-04-22
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: 본발명은질량체가파손되는것을최소화할수 있는센서소자및 그제조방법에관한것이다. 이를위한본 발명의실시예에따른센서소자는, 프레임, 상기프레임의내부에배치되는질량체, 상기프레임과상기질량체를연결하는연결부, 및상기질량체에서상기프레임의내벽을향해돌출되어형성되는하나의스토퍼를포함할수 있다.
Abstract translation: 传感器元件及其制造方法技术领域本发明涉及一种能够使质量体损坏最小化的传感器元件及其制造方法。 根据本发明实施例的传感器元件包括框架，设置在框架内部的质量块，连接框架和质量体的连接部以及从质量体朝向框架的内壁突出的传感器部。 它可以包括一个塞子。
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公开(公告)号：KR102172636B1
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：KR20180121707
申请日：2018-10-12
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: 본발명의일 실시예에따른체적음향공진기는기판; 상기기판에형성되는캐비티; 상기기판에순차적으로적층되는제1 전극, 압전층, 및제2 전극; 상기캐비티의상부에서수직방향으로중첩되는상기제1 전극, 상기압전층, 및상기제2 전극에의해정의되는공진부; 상기공진부외측의배선영역에마련되는상기제1 전극의일면에배치되는부가층; 및상기배선영역에마련되는상기제1 전극과접속하는배선전극; 을포함하고, 상기제1 전극은상기부가층및 상기배선전극각각과접촉계면을형성할수 있다.
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