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公开(公告)号:KR1020080096929A
公开(公告)日:2008-11-04
申请号:KR1020070041849
申请日:2007-04-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304 , B24B55/00
Abstract: A chemical mechanical polishing apparatus and a method for conditioning a polishing pad can increase conditioning efficiency by decreasing the diamond abrasion and improving the rough of the grinding pad. The chemical mechanical polishing apparatus(100) and a grinding pad(120) conditioning method includes the step of rotating the grinding pad with the axis of rotation(130) of the table(110) and contacting the substrate to the grinding pad while rotating the polishing head(140) which absorbs and fixes the wafer(W), and polishing the wafer; the step of supplying the slurry on the grinding pad in the slurry arm; the step of performing the conditioning to 1 cycle unit while the polishing pad conditioner(170) sweeps to from side to side, and repetitively performing to stop for a moment set up in advance for hour conditioning; the step of determining whether it performed the conditioning as the cycle number set up in advance or not, and in case of the conditioning set up in advance is not performed, performing the conditioning as scheduled, and terminating the conditioning it performed the conditioning as the cycle number set up in advance.
Abstract translation: 化学机械抛光装置和抛光垫的调理方法可以通过减少金刚石磨损和改善磨垫的粗糙度来提高调节效率。 化学机械抛光装置(100)和研磨垫(120)调理方法包括以下步骤:使研磨垫与工作台(110)的旋转轴线(130)旋转,并将基板与研磨垫接触,同时旋转 抛光头(140),其吸收并固定晶片(W),并抛光晶片; 将浆料供给到浆料臂中的研磨垫上的步骤; 在抛光垫调节器(170)从一侧到另一侧扫掠并且重复执行停止一段时间以进行小时调节的步骤; 确定是否执行调节作为预先设定的循环次数的步骤,以及在不进行预先设定的情况下进行调节的步骤,按计划执行调节,并且终止其调理作为 循环次数提前设定。
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公开(公告)号:KR1020080063941A
公开(公告)日:2008-07-08
申请号:KR1020070000573
申请日:2007-01-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B24B37/04 , B24B49/02 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/042 , B24B37/005 , B24B49/02
Abstract: A CMP equipment and a method of polishing an interlayer dielectric layer of a wafer using the same are provided to drive a plurality of polishing units in the same driving time by compensating for the driving time according to the thickness of the interlayer dielectric layer. A CMP equipment comprises a wafer carrier(100), a wafer transfer device, a plurality of polishing units(200) and a controller(400). A wafer(W) having an interlayer dielectric layer is loaded on the wafer carrier. The water transfer device sequentially transfers wafers to a predetermined location. The polishing units sequentially polish the interlayer dielectric layer formed on the wafer. The controller controls the driving time for the polishing units. Each polishing unit includes a platen(210) and a motor(211) connected to a lower portion of the platen.
Abstract translation: 提供CMP设备和使用其制造晶片的层间电介质层的方法,以通过根据层间电介质层的厚度补偿驱动时间来驱动多个抛光单元在相同的驱动时间内。 CMP设备包括晶片载体(100),晶片传送装置,多个抛光单元(200)和控制器(400)。 具有层间电介质层的晶片(W)被装载在晶片载体上。 水输送装置顺序地将晶片转移到预定位置。 抛光单元顺序抛光形成在晶片上的层间电介质层。 控制器控制抛光单元的驱动时间。 每个抛光单元包括压板(210)和连接到压板的下部的电动机(211)。
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公开(公告)号:KR100678240B1
公开(公告)日:2007-02-02
申请号:KR1020040039598
申请日:2004-06-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B1/38
Abstract: 본 발명은 제1 하우징과, 상기 제1 하우징으로부터 근접하거나 멀어지는 방향으로 상기 제1 하우징에 회전 가능하게 연결되는 제2 하우징과, 상기 제2 하우징이 상기 제1 하우징으로부터 근접하거나 멀어지는 방향으로 회전 가능하게 연결시키기 위하여 상기 제1 하우징의 상면에 평행하게 연장된 제1 힌지축을 제공함과 동시에 상기 제1 하우징의 상면에 대하여 수직방향으로 연장되어 상기 제1 힌지축의 회전중심이 되는 제2 힌지축을 제공하는 힌지 장치를 구비하는 휴대용 단말기에 있어서, 상기 제1 하우징에 설치되는 힌지 베이스; 상기 제2 힌지축 방향으로 연장되고, 타단이 상기 힌지 베이스 상에 회전 가능하게 결합되는 힌지 샤프트; 및 상기 힌지 샤프트의 타단에 고정되고, 상기 제1 힌지축 방향으로 연장되어 상기 제2 하우징에 회전 가능하게 결합되는 실린더 형상의 힌지 하우징을 구비하고,
상기 제2 하우징을 상기 제1 및 제2 힌지축에 대하여 각각 회전 가능하게 상기 제1 하우징에 결합시키는 휴대용 단말기의 힌지 장치를 개시한다.
단말기, 힌지, 스윙Abstract translation: 第二壳体在朝向或远离第一壳体的方向上可旋转地连接到第一壳体;以及第二壳体,在朝向或远离第一壳体的方向上可旋转地连接到第一壳体, 为了提供平行于第一壳体的上表面延伸的第一铰链轴线和在垂直于第一壳体的上表面的方向上延伸并且用作第一铰链轴线的旋转中心的第二铰链轴线 1。一种具有铰链装置的便携式终端,所述便携式终端包括:铰链基座,安装在所述第一壳体中; 铰链轴,沿第二铰链轴线方向延伸并且另一端可旋转地联接到铰链基部; 以及圆柱形铰链壳体,其固定到铰链轴的另一端并且沿着第一铰链的轴向方向延伸并且可旋转地联接到第二壳体,
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公开(公告)号:KR1020160027743A
公开(公告)日:2016-03-10
申请号:KR1020140116247
申请日:2014-09-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B1/38
CPC classification number: H04M1/72575 , H04M1/04 , H04M1/185 , H04M1/72527
Abstract: 본발명의다양한실시예들중 하나의실시예에따른커버장치는, 일면에제1심카드장착부를구비한전자장치에착탈되며, 상기장치의일면을보호하는제1보호커버및 제1보호커버와호환되며, 전자장치의일면에구비되는컨택단자와접촉되어전기적으로연결되는제2심카드장착부를구비하는제2보호커버를포함할수 있다. 상기와같은장치는실시예에따라더욱다양하게구현될수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的各种实施例之一,使用两个SIM卡的盖装置可以包括:第一保护盖,其具有可从具有第一SIM卡安装部件的电子装置拆卸的一个表面,保护装置的一个表面 ; 以及与第一保护盖相兼容的第二保护盖,具有第二SIM卡安装部分,其接触形成在电子设备的一个表面上的接触端子以电连接。 像这样的装置能够根据一个实施例进行各种实现。
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公开(公告)号:KR1020080058860A
公开(公告)日:2008-06-26
申请号:KR1020060133028
申请日:2006-12-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
CPC classification number: B24B37/26 , B24B37/044 , B24B37/245 , C09G1/00 , C09G1/04 , H01L21/31053 , H01L21/76224
Abstract: A chemical mechanical polishing method and a method of fabricating a semiconductor device using the same are provided to reduce surface energy of an activation solution by adding a surface active agent. A CMP(Chemical Mechanical Polishing) device including a polishing pad and a polishing head is provided(S1). A polishing target loading process is performed to load a polishing target into a polishing head(S2). A polishing activation solution supply process is performed to supply a polishing activation solution including a surface active agent on a polishing pad(S3). A compressing process is performed to compress the polishing target by using a polishing pad(S4). The polishing target and the polishing pad are rotated relatively to each other.
Abstract translation: 提供化学机械抛光方法和制造使用其的半导体器件的方法,以通过添加表面活性剂来降低活化溶液的表面能。 提供了包括抛光垫和抛光头的CMP(化学机械抛光)装置(S1)。 执行抛光对象加载处理以将抛光对象加载到抛光头(S2)中。 进行抛光活化溶液供给处理,以在抛光垫上提供包含表面活性剂的抛光活化溶液(S3)。 执行压缩处理以通过使用抛光垫来压缩抛光对象(S4)。 抛光对象和抛光垫相对旋转。
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公开(公告)号:KR1020070091712A
公开(公告)日:2007-09-12
申请号:KR1020060021156
申请日:2006-03-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: A CMP method is provided to improve the polishing rate of wafers by removing the deionized water supplied to the surface of a polishing pad by a conditioning process and by increasing the temperature of the polishing pad. A dry preventing solution is supplied to the surface of a plurality of polishing pads in a lot that has undergone a CMP process to prevent hardening of slurry. The dry preventing solution on the polishing pads is removed. The polishing pads are conditioned to increase the temperature of the polishing pads whose temperature is decreased by the dry preventing solution(S120). By using the conditioned polishing pads, a CMP process is performed on a plurality of wafers in another lot(S130). The polishing pads can be conditioned, the slurry being supplied to the surface of the polishing pads.
Abstract translation: 提供CMP方法以通过调节处理去除提供给抛光垫表面的去离子水并通过提高抛光垫的温度来提高晶片的抛光速率。 向经过CMP处理的批次中的多个抛光垫的表面供给防干燥溶液以防止浆料硬化。 去除抛光垫上的防干燥溶液。 对抛光垫进行调理,以提高其干燥防止溶液的温度降低的抛光垫的温度(S120)。 通过使用经调节的抛光垫,在另一批次中对多个晶片进行CMP处理(S130)。 可以对抛光垫进行调理,将浆料供应到抛光垫的表面。
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公开(公告)号:KR1020050114388A
公开(公告)日:2005-12-06
申请号:KR1020040039598
申请日:2004-06-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B1/38
CPC classification number: H04M1/0212
Abstract: 본 발명은 제1 하우징과, 상기 제1 하우징으로부터 근접하거나 멀어지는 방향으로 상기 제1 하우징에 회전 가능하게 연결되는 제2 하우징과, 상기 제2 하우징이 상기 제1 하우징으로부터 근접하거나 멀어지는 방향으로 회전 가능하게 연결시키기 위하여 상기 제1 하우징의 상면에 평행하게 연장된 제1 힌지축을 제공함과 동시에 상기 제1 하우징의 상면에 대하여 수직방향으로 연장되어 상기 제1 힌지축의 회전중심이 되는 제2 힌지축을 제공하는 힌지 장치를 구비하는 휴대용 단말기에 있어서, 상기 제1 하우징에 설치되는 힌지 베이스; 상기 제2 힌지축 방향으로 연장되고, 타단이 상기 힌지 베이스 상에 회전 가능하게 결합되는 힌지 샤프트; 및 상기 힌지 샤프트의 타단에 고정되고, 상기 제1 힌지축 방향으로 연장되어 상기 제2 하우징에 회전 가능하게 결합되는 실린더 형상의 힌지 하우징을 구비하고,
상기 제2 하우징을 상기 제1 및 제2 힌지축에 대하여 각각 회전 가능하게 상기 제1 하우징에 결합시키는 휴대용 단말기의 힌지 장치를 개시한다.-
公开(公告)号:KR1020020068838A
公开(公告)日:2002-08-28
申请号:KR1020010009161
申请日:2001-02-23
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 김규남
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for transmitting a character message in a mobile communication terminal are provided to conveniently transmit the character message by inputting a telephone number of an object using a telephone directory composed in a conventional mobile communication terminal when transmitting the character message in the mobile communication terminal. CONSTITUTION: If a user pushes a "letter" button, a control unit temporarily stores an input telephone number in a buffer(210). The control unit displays a message for inputting a transmitting character message on a display unit(211). The control unit judges whether the user answers to the display and inputs the message(212). If the user inputs the message, the control unit judges whether the user inputs a "confirmation(send)" button(213). If the user inputs a "confirmation(send)" button, the control unit dials the telephone number stored in the buffer and transmits an inputted character message to a dialed telephone number side(214).
Abstract translation: 目的:提供一种用于在移动通信终端中发送字符消息的装置和方法,以便当在传统的移动通信终端中传送字符消息时,使用在常规移动通信终端中组成的电话簿输入对象的电话号码来方便地发送字符消息 移动通信终端。 构成:如果用户按下“字母”按钮,则控制单元临时将输入的电话号码存储在缓冲器(210)中。 控制单元在显示单元(211)上显示用于输入发送字符消息的消息。 控制单元判断用户是否回答显示并输入消息(212)。 如果用户输入消息,则控制单元判断用户是否输入“确认(发送)”按钮(213)。 如果用户输入“确认(发送)”按钮,则控制单元拨打存储在缓冲器中的电话号码,并将输入的字符消息发送到拨打的电话号码侧(214)。
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