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公开(公告)号:KR1020170134927A
公开(公告)日:2017-12-07
申请号:KR1020160065881
申请日:2016-05-27
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01L27/222 , G11C11/161 , H01L43/02 , H01L43/08 , H01L43/10
Abstract: 본발명에따른정보저장소자는, 기판상의제1 층간절연막, 상기제1 층간절연막상에서로이격되어제공되는복수의정보저장구조체들, 상기복수의정보저장구조체들사이의상기제1 층간절연막의상면상에제공되는도전층, 상기복수의정보저장구조체들사이의상기제1 층간절연막의상기상면상에제공되고상기도전층을덮는캐핑절연막, 및상기제1 층간절연막상에제공되어상기복수의정보저장구조체들의측벽들, 상기도전층, 및상기캐핑절연막을덮는제2 층간절연막을포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的信息存储装置包括在基板上的第一层间绝缘膜,设置在第一层间绝缘膜上的多个信息存储结构,设置在第一层间绝缘膜上的多个信息存储结构, 设置在第一层间绝缘膜的气相上以及多个信息存储结构之间并覆盖导电层的覆盖绝缘膜,以及设置在第一层间绝缘膜上的第二绝缘膜, 上导电层和覆盖覆盖绝缘膜的第二层间绝缘膜。
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公开(公告)号:KR1020170028495A
公开(公告)日:2017-03-14
申请号:KR1020150124939
申请日:2015-09-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/683 , H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/68764 , H01J37/20 , H01J37/3056 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/31 , H01L21/2633 , H01L21/68792
Abstract: 본발명은척 어셈블리및 이를구비하는반도체제조장치에관한것으로, 수직방향으로제공되는이온빔에노출되는기판을척킹하는척, 상기척에결합되어상기척을지지하는필라, 그리고상기척을상기필라에회전가능하게연결하는연결부를포함한다. 상기연결부의회전은상기필라의중심을상기수직방향을따라관통하는상기필라의축에대하여상기척을경사지게하고, 상기척은상기필라를중심으로세차운동한다.
Abstract translation: 卡盘组件包括夹持基板的卡盘,以及连接到卡盘以支撑卡盘的支柱,支柱的轴线沿着柱的纵向方向穿过柱的中心,其中卡盘具有顶表面 ,其相对于柱的轴线倾斜,卡盘的顶表面可以围绕柱的轴线进行旋转。
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公开(公告)号:KR1020170027925A
公开(公告)日:2017-03-13
申请号:KR1020150124267
申请日:2015-09-02
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 패턴형성방법이제공된다. 상기패턴형성방법은기판상에식각대상막을형성하는것, 상기식각대상막을패터닝하여패턴들을형성하는것, 및선-산화트림공정을복수번 수행하는것을포함한다. 상기선-산화트림공정은산화공정을수행하여상기패턴들의각각의측벽상에절연막을형성하는것, 및스퍼터에치(sputter etch) 공정을수행하여상기절연막의적어도일부를제거하는것을포함한다.
Abstract translation: 一种用于形成图案的方法,所述方法包括在基底上形成蚀刻目标层; 图案化蚀刻目标层以形成图案; 并且进行预氧化修饰过程多次,所述预氧化修剪处理包括进行氧化处理以在每个图案的侧壁上形成绝缘层; 以及执行溅射蚀刻工艺以去除所述绝缘层的至少一部分。
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公开(公告)号:KR1020110088235A
公开(公告)日:2011-08-03
申请号:KR1020100008047
申请日:2010-01-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 김종규
IPC: G06F3/14
CPC classification number: G09G5/22 , G09G2340/0492 , G09G2340/145
Abstract: PURPOSE: A text display method is provided to display character from the upper part of a screen. CONSTITUTION: A memory(220) stores program, a UI(User Interface), or a data inputted from an outer server in order to operate a character output device(200). A UI(210) receives command, character, number, or voice information from a user. The UI informs the inputted text to a text processor(240). An output unit(230) outputs the inputted information through the UI.
Abstract translation: 目的:提供文字显示方式,从屏幕上部显示字符。 构成:存储器(220)存储程序,UI(用户界面)或从外部服务器输入的数据,以便操作字符输出设备(200)。 UI(210)从用户接收命令,字符,数字或语音信息。 UI将输入的文本通知给文本处理器(240)。 输出单元(230)通过UI输出输入的信息。
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