Abstract:
본 발명의 다양한 실시 예는 전자장치에서 터치스크린 패널(Touch Screen Panel: TSP) 센서를 이용하여 사용자의 그립상태를 인지하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 전자장치에서 사용자의 그립상태를 인식하는 방법은, 자기 정전용량 방식 또는 상호 정전용량 방식의 터치스크린을 통해 사용자의 그립에 의해 발생하는 호버링 입력을 검출하는 과정; 및 검출된 상기 호버링 입력에 따라, 사용자의 그립상태를 판단하는 과정을 포함할 수 있다.
Abstract:
A digital TV and a channel change method thereof are provided to compare the received DCC(Directed Channel Change) information with the set DCC related setting information, thereby changing the channel according to the channel information. When a DCC setting function is inputted through a user selection member(S10), a control member controls a UI(User Interface) producing member so that a UI menu is produced. The produced UI menu is mixed with the program of the tuned channel at an image signal mixing member and is displayed on a display member(S11). When DCC user information is inputted through the UI menu(S12), the control member stores the inputted user information in a memory(S13). When the DCCT information is included into the received PSIP(Program and System Information Protocol) information, the control member parses the DCCT information(S15) and compares the parsed DCCT information with the corresponding DCCT information(S16). When both information is coincided with each other(S17), the channel is changed according to the DCCT information(S18).
Abstract:
본 발명은 이온주입설비용 빔 커런트 센싱툴에 관한 것으로, 본 발명에서는 브러시를 텐션바의 일단에 회전가능하도록 장착한 후, 이 브러시의 형상을 디스크링과 동일한 회전체 형상, 예컨대, 구 형상으로 개선시킨다. 이 경우, 브러시는 디스크링이 디스크 스피너의 회전에 맞추어 빠르게 회전될 때, 이 디스크링의 회전과 연계하여 빠른 회전을 달성할 수 있으며, 그 결과, 브러시는 디스크링과 지속적으로 접촉되더라도, 쉽게 마모되지 않는다. 이러한 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 이온주입설비에 대한 전체적인 "이온빔 차아지", "이온빔 리키지"의 관리를 좀더 원활하게 이룰 수 있다.
Abstract:
급속배기밸브가 구비된 진공 시스템에 관하여 개시된다. 개시된 진공 시스템은: 챔버 내부를 소정의 진공 상태로 만들기 위한 진공 펌프와, 상기 챔버와 상기 진공 펌프를 연결하는 진공 라인과, 상기 진공 라인상에 설치되어 상기 진공 라인을 통한 유체의 흐름을 단속하는 에어 밸브와, 상기 에어 밸브를 작동시키기 위한 에어를 공급하는 에어 공급원과, 상기 에어 공급원으로부터 상기 에어 밸브로 공급되는 에어의 흐름을 단속하는 솔레노이드 밸브와, 에어의 공급 및 배기를 위하여 상기 솔레노이드 밸브와 상기 에어 밸브를 연결하는 에어 튜브와, 상기 에어 튜브상에 설치되어 상기 에어 밸브로부터 배기되는 에어를 신속하게 배기시키는 급속배기밸브를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 고안에 의하면 에어 밸브가 신속하게 클로즈됨으로써, 에어 밸브의 지연 동작으로 인해 발생하는 진공 펌프의 손상과 진공 시스템의 이상 발생을 방지할 수 있게 된다.
Abstract:
본 발명은 웨이퍼 카세트를 고정하는 고정바(fixed bar)를 적어도 2개 이상 배치(batch) 카세트에 설치하여 웨이퍼 카세트의 유동을 방지한 웨이퍼 카세트 수납 장치에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 웨이퍼 카세트 배치의 양쪽 벽면의 상·하부에 웨이퍼 카세트 고정바를 적어도 2개 이상 설치하여 웨이퍼 카세트의 유동 및 셋팅 위치 이탈을 방지하는 웨이퍼 카세트 수납장치를 제공함에 있다. 이와 같은 웨이퍼 카세트 수납장치에 의하여 웨이퍼 카세트의 들림 모멘트를 방지하고, 웨이퍼 카세트 고정바중 어느 하나에 파손 및 결합이 발생하더라도 웨이퍼 카세트가 웨이퍼 카세트 배치에서 유동되어 웨이퍼의 파손 및 긁힘이 발생하는 것을 방지하는 효과가 있다.
Abstract:
본 고안은 반도체 장치의 가스 공급 시스템에 관한 것으로, 본 고안에 의한 가스 공급 시스템은 2개의 가스 용기로부터 각각 제1 라인 및 제2 라인을 통해 반도체 장치의 입구로 가스를 공급하고, 상기 제1 라인과 제2 라인 사이에 유체가 통할 수 있는 병렬 라인이 연결되고, 상기 병렬 라인은 유체의 흐름을 개방 또는 폐쇄시킬 수 있는 개폐 수단을 포함한다. 본 고안에 의하면 1개의 가스 용기에 충전된 가스를 다 사용한 후에도 가스 공급 시스템의 운전을 중단시킬 필요 없이 나머지 다른 가스 용기내의 가스를 계속 사용할 수 있으므로, 사용되는 가스의 교체 주기가 증가되고, 따라서 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
Abstract:
본 발명은 긴 이동 홈이 형성된 이온 주입 장치용 디스크에 관한 것으로, 디스크에서 웨이퍼 패드를 분리하지 않은 상태에서 웨이퍼 패드에 결합된 풀 로드만을 교체하기 위하여, 디스크 판 상에 형성된 이동 홈을 웨이퍼 패드에서 풀 로드를 분리할 수 있을 정도로 길게 형성하여 디스크 판에서 웨이퍼 패드의 분리없이 긴 이동 홈을 통하여 풀 로드의 분리 및 설치가 가능한 이온 주입 장치용 디스크를 제공한다.