公开(公告)号：KR1020050012619A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：KR1020030051753

申请日：2003-07-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전태승 ,  고영민 ,  강호성 ,  노현정

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: An apparatus for supporting a substrate is provided to prevent a loss of channel and improve stability of the stage. CONSTITUTION: A base(210) having a channel(212) is extended in the direction of X-axis, the channel is provided with a step portion(214) formed in the horizontal direction. A stage(220) is provided with a lower structure(222) and a upper structure(224), and a substrate(10) is supported by the upper structure. An air bearing(226) injecting air to the step portion for floating the stage from the step portion is jointed to the stage. The stage is driven by a driving unit(230). A pair of covers(240) preventing impurities from incoming into the step portion of the channel are extended horizontally adjacent to the upper structure of the stage in each side of the channel.

Abstract translation: 目的：提供一种用于支撑衬底的装置，以防止通道损失并提高平台的稳定性。 构成：具有通道（212）的基座（210）在X轴的方向上延伸，通道设置有沿水平方向形成的台阶部（214）。 舞台（220）设置有下部结构（222）和上部结构（224），并且衬底（10）由上部结构支撑。 将台阶部分的空气从踏板部分上浮起来的空气轴承（226）接合在台架上。 舞台由驱动单元（230）驱动。 防止杂质进入通道的台阶部分的一对盖（240）在通道的每一侧水平地延伸到台阶的上部结构。

公开(公告)号：KR1020160039531A

公开(公告)日：2016-04-11

申请号：KR1020150085145

申请日：2015-06-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 서재우 ,  김하영 ,  노현정

IPC: G06F17/50

Abstract: 본개시는제1 및제2 셀들을포함하는집적회로의레이아웃설계방법으로서, 제1 바운더리에인접한, 제1 셀내의적어도두 개의패턴들이서로다른컬러들을가지고, 적어도두 개의패턴들의각각과제1 바운더리사이의바운더리스페이스들이서로다르도록, 상기제1 셀을디자인하고, 제1 및제2 셀들이제1 바운더리에서서로인접하도록제1 및제2 셀들을배치한다.

Abstract translation: 本发明涉及包括第一和第二单元的集成电路的布局设计方法。 与第一边界相邻的第一单元中的至少两个图案具有彼此不同的颜色。 第一单元被设计成确保两个图案和第一边界中的每一个之间的边界空间彼此不同，并且第一和第二单元被布置成在第一边界中彼此相邻。 本发明的目的是提供一种具有简化设计的集成电路。