公开(公告)号：KR100643390B1

公开(公告)日：2006-11-10

申请号：KR1020050063467

申请日：2005-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민동오 ,  박광영

IPC: G02F1/13

Abstract: An apparatus for exfoliating a film protecting layer is provided to eliminate the need of expendable adhesive tapes, thereby reducing the production cost, by exfoliating the film protecting layer from a polarization film using an adhesive roller when removing the film protecting layer. An apparatus is configured to remove protection layers(4a,4b) attached on a polarization film(3) for a substrate of an LCD. The apparatus comprises a film supporter(11) for supporting the polarization film. A roller(20) has an adhesive material on an outer surface thereof to be attachable to the protection layers. A roller supporter(30) rotatively supports the roller. A driver(40) drives the roller supporter such that the roller, on which the protection layer is attached, is movable to the polarization film.

Abstract translation: 提供一种用于剥离薄膜保护层的装置，以消除消耗性胶带的需要，从而降低生产成本，通过在去除薄膜保护层时使用粘合辊将薄膜保护层从偏振膜剥离。 一种设备被配置为去除附着在用于LCD的基板的偏振膜（3）上的保护层（4a，4b）。 该设备包括用于支撑偏振膜的膜支撑件（11）。 辊子（20）在其外表面上具有粘附材料以可附接到保护层。 滚筒支架（30）可转动地支承滚筒。 驱动器（40）驱动辊子支撑件，使得其上附着有保护层的辊子可移动到偏振膜。

公开(公告)号：KR100609897B1

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：KR1020040087979

申请日：2004-11-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박광영 ,  이성진 ,  원민영 ,  이준호 ,  김태현 ,  김정욱 ,  배상우

IPC: G02F1/13

Abstract: 본 발명은 액정도포공정과 합착공정을 동시에 수행할 수 있는 기판제조장치에 관한 것으로서, 프레임; 상기 프레임에 설치되고, 제1 기판을 지지하는 하부스테이지와 상기 하부스테이지와 대향되게 제2 기판을 지지하는 상부스테이지를 갖는 스테이지부; 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 합착을 위해 상기 하부스테이지와 상기 상부스테이지를 상호 접근 및 이격시키는 수직구동부; 상기 제1 기판에 액정을 도포하기 위한 헤드부와, 상기 헤드부를 상기 제1 기판의 판면을 따라 수평이동시키는 헤드구동부를 갖는 액정도포장치; 및 상기 수직구동부 및 상기 액정도포장치를 제어하는 제어부를 포함한다. 이에 의해, 비교적 구조가 간단하고, 액정도포후 합착공정이 즉시 행해질 수 있으며, 도포되는 액정량의 정밀조절이 가능해진다는 효과가 있다.
LCD, 액정도포, 기판, 합착, 스테이지

公开(公告)号：KR1020060037767A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：KR1020040086819

申请日：2004-10-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박광영

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70758 ,  G03F7/70741 ,  G03F7/70775 ,  G03F7/70975

Abstract: 본 발명은 로봇암이 비정상 상태로 레티클을 고정하여 이송하는 것을 방지할 수 있는 반도체 노광장치의 레티클 이송용 로봇암에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 노광장치의 레티클 이송용 로봇암은, 서로 소정간격 이격된 2개의 핸드부 표면의 진공패드의 진공력에 의해서 레티클을 흡착 고정하여 이송하는 반도체 노광장치의 레티클 이송용 로봇암에 있어서, 상기 진공패드와 소정간격 이격된 위치에 돌출판이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
따라서, 로봇아암에 의해서 레티클이 노광설비로 이송되는 과저어에 표면에 스크래치가 발생하거나 드랍(Drop)되어 파손되는 등과 같은 레티클 이송불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.
노광, 레티클, 진공패드, 돌출판

公开(公告)号：KR1020030053948A

公开(公告)日：2003-07-02

申请号：KR1020010083992

申请日：2001-12-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박광영

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: A temperature controller of spinner equipment is provided to be capable of simultaneously and uniformly controlling the temperature of chemicals supplied from a plurality of chemical supply nozzles. CONSTITUTION: The aiming temperature of a plurality of chemical pipes is calculated by a water temperature calculating part(262) for uniformly controlling the temperature of chemicals supplied from a plurality of chemical supply nozzles. The water flowing through a plurality of water pipes is heated by using a heating part(266) for increasing the temperature of the water to the aiming temperature calculated by the water temperature calculating part(262). The water flowing through water pipes is cooled by using a cooling part(268) for decreasing the temperature of the water to the aiming temperature calculated by the water temperature calculating part. The temperature of the water flowing water pipes is controlled by a plurality of water temperature controlling part(264a,264b,264c).

Abstract translation: 目的：提供一种旋转设备的温度控制器，能够同时均匀地控制从多个化学品供应喷嘴供应的化学品的温度。 构成：多个化学管道的瞄准温度由水温计算部（262）计算，用于均匀地控制从多个化学品供给喷嘴供给的化学品的温度。 通过使用用于将水的温度升高到由水温计算部（262）计算出的瞄准温度的加热部（266）来加热流过多个水管的水。 流过水管的水通过使用用于将水的温度降低到由水温计算部计算的瞄准温度的冷却部（268）来冷却。 水流水管的温度由多个水温控制部（264a，264b，264c）控制。

公开(公告)号：KR1020070005784A

公开(公告)日：2007-01-10

申请号：KR1020050060787

申请日：2005-07-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박광영

IPC: B25J5/02 ,  B25J13/08 ,  B25J9/10

Abstract: A robot for carrying semiconductor wafer with infrared sensor is provided to expand a sensing region to prevent the robot from colliding with a person, and to prevent the wafer from being damaged. A robot for carrying semiconductor wafer with infrared sensor includes a first sensor that senses an obstacle positioned in a direction where the robot(100) travels along a track, a second sensor that senses the movement of a person in a predetermined sensing region while the robot travels along the track, and a controller that stops the robot for carrying the semiconductor wafer when an obstacle is sensed by the first sensor and/or the movement of a person is sensed by the second sensor.

Abstract translation: 提供用于携带具有红外传感器的半导体晶片的机器人，以扩展感测区域，以防止机器人与人物碰撞，并防止晶片被损坏。 用于携带具有红外传感器的半导体晶片的机器人包括：第一传感器，其感测沿着轨道沿着机器人（100）行进的方向定位的障碍物;感测人在预定感测区域中的移动的第二传感器， 并且当第一传感器检测到障碍物和/或由第二传感器感测到人的移动时，控制器停止机器人携带半导体晶片。

公开(公告)号：KR100597641B1

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：KR1020040054386

申请日：2004-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박찬훈 ,  이종화 ,  김상식 ,  박광영 ,  이광호 ,  전기현

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67259 ,  H01L21/67248

Abstract: 반도체 제조 장비의 지지 플레이트에 부정확하게 로딩된 웨이퍼를 검출하기 위하여, 웨이퍼 불량 로딩 검출부를 가지는 반도체 제조 장비가 개시되어 있다. 웨이퍼 가이드를 구비한 본 발명의 반도체 제조 장비는, 웨이퍼 가이드에 웨이퍼가 얹혀지는 지의 유무를 상기 웨이퍼를 지지하는 지지 플레이트의 온도 변화를 체크하여 판단하는 웨이퍼 불량 로딩 검출부를 구비한다. 그리하여 웨이퍼 로딩 불량에 기인된 웨이퍼 불량이 감소되어 제조 수율 감소가 방지 또는 최소화된다.
베이크 장비, 웨이퍼 가이드, 핫 플레이트, 베이크 온도 센서, 플레이트

公开(公告)号：KR1020060037996A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：KR1020040087113

申请日：2004-10-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이성진 ,  박광영 ,  배상우 ,  이준호

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1341 ,  G02F1/1303 ,  G02F2001/13415

Abstract: 본 발명은 LCD제조공정에서 기판상에 액정을 도포하는 장치에 관한 것으로서, 기판을 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지와 상대운동을 하면서 상기 스테이지부 상의 기판에 액정을 도포하는 헤드부와, 상기 스테이지와 상기 헤드부를 상대운동시키는 구동부를 갖는다. 본 발명의 액정도포장치는, 상기 헤드부에 의해 도포된 액정의 상태를 촬상하는 촬상장치와; 상기 촬상장치에 의해 촬상된 이미지에 기초하여 상기 도포된 액정의 적정여부를 판단하고, 상기 적정여부 판단에 기초하여 상기 상대운동의 속도를 조절하기 위해 상기 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 도포액정의 적정여부를 판단하여 액정도포시 이송되는 속도를 조절할 수 있다.
LCD, 액정적하, 젯(jet), 기판조립, 카메라

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种在快速施加液晶的同时在整个基板上均匀且精确地控制应用的喷墨型液晶施加装置。 解决方案：关于在LCD制造过程中将液晶施加到基板的装置，该装置具有支撑基板的台架110，将液晶施加到台架上的基板的头部130 同时相对于舞台移动，以及使舞台和头部相对于彼此移动的驱动部140。 液晶应用装置的特征在于包括：图像拾取单元133，用于拾取施加有头部的液晶的状态的图像;以及控制部分150，用于基于拾取的图像判断液晶应用的适用性 并且基于适合性的判断来控制驱动部分以便调节相对运动的速度。 由此，根据液晶应用的适用性的判断，调整液晶涂布液晶的转印速度。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：KR1020040040687A

公开(公告)日：2004-05-13

申请号：KR1020020068882

申请日：2002-11-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박광영 ,  김정환

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: A photo lithography system for manufacturing a semiconductor device is provided to be capable of reducing the number of units for improving throughput. CONSTITUTION: A photo lithography system is provided with a coater(200) for carrying out a coating process on a semiconductor substrate, a developer(400) installed at one side of the coater, an exposer(500) opposite to the coater, and a staying part(300) between the coater and the developer. The coater includes the first transfer arm(250) at its center portion, a coating unit(230), and the first bake unit(240). The developer includes the second transfer arm(450), a developing unit(430), and the second bake unit(440). The staying part includes the first cooling plate(320) for cooling the semiconductor substrate supplied from the first bake unit. Preferably, the staying part further includes the second cooling plate(340) for cooling the semiconductor substrate supplied from the second bake unit.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造半导体器件的光刻系统，以能够减少用于提高生产量的单元数量。 构成：光刻系统具有用于在半导体衬底上进行涂覆处理的涂布机（200），安装在涂布机一侧的显影剂（400），与涂布机相对的曝光器（500），以及 在涂布机和显影剂之间留下部分（300）。 涂布机在其中心部分包​​括第一传送臂（250），涂覆单元（230）和第一烘烤单元（240）。 显影剂包括第二转印臂（450），显影单元（430）和第二烘烤单元（440）。 停留部分包括用于冷却从第一烘烤单元供应的半导体衬底的第一冷却板（320）。 优选地，保持部还包括用于冷却从第二烘烤单元供应的半导体衬底的第二冷却板（340）。

公开(公告)号：KR100687929B1

公开(公告)日：2007-02-27

申请号：KR1020050063466

申请日：2005-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박광영 ,  변상명 ,  최한규 ,  민동오 ,  김두열

IPC: G02F1/1335

Abstract: 본 발명은, 액정표시장치용 기판에 편광필름을 부착하는 편광필름부착방법에 관한 것으로서, 상기 기판 및 상기 편광필름을 상호 대향하게 배치하는 단계와; 상기 기판 및 상기 편광필름을 평행을 유지하며 접근시켜 가압하는 단계를 갖는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 편광필름의 부착안정성 및 설비의 공간 활용도가 향상될 수 있는 편광필름부착방법이 제공된다.

公开(公告)号：KR1020060057198A

公开(公告)日：2006-05-26

申请号：KR1020040096283

申请日：2004-11-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박광영 ,  유광준 ,  이준호 ,  이성진 ,  이정숙

IPC: B01J3/04 ,  G02F1/13 ,  G09F9/30

CPC classification number: B01J3/04 ,  G02F1/1303 ,  G09F9/30

Abstract: 본 발명은, 에어클래브장치에 관한 것으로서, 에어공급부와; 상기 에어공급부에 대해 결합되어 상기 에어공급부로부터 공급된 에어를 토출하는 다공질부재와; 상기 다공질부재 및 상기 에어공급부 사이에 배치되도록 상기 에어공급부에 대해 결합되며, 상기 에어공급부로부터 공급된 에어를 상기 다공질부재로 안내하도록 에어관통부가 형성된 가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 설비비용을 줄일 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 에어클래브장치를 제공할 수 있다.

Abstract translation: 空气净化设备技术领域本发明涉及一种空气净化设备，其包括空气供应单元; 多孔构件，所述多孔构件联接到所述供气单元并排出从所述供气单元供应的空气; 联接到空气供应单元被设置在多孔构件和空气供给之间所述，它其特征在于，它包括通部形成的引导部件，引导由所述空气供给到多孔构件供给的空气的空气。 由此，能够提供能够降低设备成本，提高生产率的减压装置。