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公开(公告)号：KR100630758B1
公开(公告)日：2006-10-02
申请号：KR1020050072330
申请日：2005-08-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: A humidity measuring apparatus and a humidity measuring method using the same are provided to control the air flow into a clean room according to a humidity degree of the outside air using a predetermined counter. A humidity measuring apparatus includes a suction port(104) for absorbing the outside air, a heating unit(106) for removing moisture from the absorbed air, a cooling unit(112) for cooling the heated air to an aiming point, a counter and an exhaust port. The counter(122) is used for measuring a humidity degree of the cooled air. The exhaust port(126) is used for exhausting the measured air to the outside. The humidity measuring apparatus further includes a moisture exhausting port at one side of the heating unit.
Abstract translation: 提供了一种湿度测量装置和使用该装置的湿度测量方法，以利用预定计数器根据外部空气的湿度来控制进入洁净室的空气流量。 本发明提供一种湿度测量装置，其包括：用于吸收外部空气的吸入口（104）;用于从吸收的空气中去除水分的加热单元（106）;用于将加热的空气冷却到瞄准点的冷却单元（112） 一个排气口。 计数器（122）用于测量冷空气的湿度。 排气口（126）用于将测量空气排出到外部。 湿度测量装置还包括位于加热单元一侧的水分排出口。
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公开(公告)号：KR1020060061475A
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：KR1020040100230
申请日：2004-12-02
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 필터를 이용하여 공기의 오염을 여과하기 위한 공기 여과 장치가 개시되어 있다. 상기 여과 장치는 하우징 내부에 상기 공기를 여과하기 위한 다수의 필터를 구비한다. 또한, 상기 하우징 내부에는 상기 공기를 유/출입시키기 위한 송풍기가 배치되며 상기 필터에 의해 여과된 공기는 연결 배관 및 밸브를 통해 소정의 장치로 상기 공기를 공급되어 진다. 따라서, 공기 여과 장치를 구비하지 않은 장치에 용이하게 청정 공기를 공급할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100514716B1
公开(公告)日：2005-09-13
申请号：KR1020030057426
申请日：2003-08-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F24F7/06
CPC classification number: B01D46/521 , B01D46/002 , B01D46/10 , B01D53/0407 , B01D2256/26 , B01D2259/4508 , B01D2277/20 , B01D2279/51
Abstract: 오염 사고로 인해 발생한 국부 영역의 공기 오염을 제어하기에 적합한 공기 청정 장치 및 방법이 개시되어 있다. 공기를 내부로 흡입하는 흡입부 및 내부 공기를 외부로 배출하는 배기부를 포함하고, 내부가 외부 공간과 차단되는 하우징, 상기 하우징 내의 공기 흡입부에 인접하여 위치하고, 상기 공기 흡입부를 통해 흡입된 공기에서 제1 오염물군을 제거하기 위한 제1 필터들이 병렬 배치된 제1 필터부, 및 상기 하우징 내에 구비하고, 상기 하우징 내로 외부 공기를 흡입시키기 위한 송풍기를 구비하는 공기 청정 장치를 제공한다. 상기 제1 필터들이 병렬 배치되어 있어 상기 제1 오염물군을 빠르게 제거하므로 국부 영역의 오염을 제어할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020040074768A
公开(公告)日：2004-08-26
申请号：KR1020030010164
申请日：2003-02-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67393 , H01L21/67017 , H01L21/67769
Abstract: PURPOSE: A method for safely storing an object, and apparatus having a storage box and a stocker for storing an object are provided to remove effectively contaminants from the object by inducing smoothly gas flow within a storage box. CONSTITUTION: A storage box(103) is provided to receive an object. The storage box is sealed up by performing a sealing process. The gas is injected into the storage box through the first valve connected to the storage box by supplying the gas to the storage box. The gas is exhausted from the storage box to the outside through the first valve connected to the storage box by increasing the internal gas pressure of the storage box.
Abstract translation: 目的：提供一种用于安全存储物体的方法，以及具有用于存储物体的存储箱和储料器的设备，以通过在存储箱内引起平稳的气流来有效地去除污染物。 构成：提供存储盒（103）以接收对象。 通过执行密封处理将储物箱密封。 通过将气体供给到储藏箱，通过连接到储藏箱的第一阀将气体注入储存箱。 通过增加存储箱的内部气体压力，通过连接到储存箱的第一阀将气体从储存箱排出到外部。
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公开(公告)号：KR1020040046528A
公开(公告)日：2004-06-05
申请号：KR1020020074474
申请日：2002-11-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: PURPOSE: A particle control method and an apparatus for carrying out the same are provided to be capable of controlling the particles generated at a clean room. CONSTITUTION: The diffusion of particles is prevented by installing a particle control flexible cover(102) at a particle generation region. The particles stayed at the inner portion of the flexible cover are exhausted to a predetermined portion through an exhaust line(104). The particles exhausted through the exhaust line are filtered. Preferably, the particles supplied through the exhaust line are sequentially filtered through a plurality of filters. At this time, some filters are capable of filtering according to a variety of contamination grains and the others are capable of filtering according to a variety of contamination elements. Preferably, the particles exhausted through the exhaust line are precipitated in deionized water.
Abstract translation: 目的：提供一种粒子控制方法及其执行装置，以能够控制在洁净室处产生的颗粒。 构成：通过在颗粒产生区域安装颗粒控制柔性盖（102）来防止颗粒的扩散。 停留在柔性罩的内部的颗粒通过排气管（104）排出到预定部分。 通过排气管线排出的颗粒被过滤。 优选地，通过排气管供给的颗粒通过多个过滤器顺序过滤。 此时，一些过滤器能够根据各种污染颗粒过滤，而其他过滤器能够根据各种污染元素进行过滤。 优选地，通过排气管线排出的颗粒在去离子水中沉淀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020070074137A
公开(公告)日：2007-07-12
申请号：KR1020060001906
申请日：2006-01-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: A pad for controlling a grating open ratio of a clean room is provided to optimize effectively the differential pressure and air flow in producing equipment by changing freely the grating open ratio under operation of the producing equipment using a plurality of protrusions of a plate. A grating open ratio controlling panel(100) includes a plate(102) and a plurality of protrusions(104) on the plate. The plurality of protrusions of the plate are inserted into openings of a grating in order to control an open ratio of the grating. The number of the protrusions is the same as or smaller than that of the openings of the grating.
Abstract translation: 提供了一种用于控制洁净室的光栅打开比率的焊盘，用于通过使用多个板的突起在生产设备的操作下自由地改变光栅打开比，从而有效地优化生产设备中的压差和空气流量。 光栅打开比控制面板（100）包括板（102）和板上的多个突起（104）。 板的多个突起被插入到光栅的开口中，以便控制光栅的开放比。 突起的数量与光栅的开口的数量相同或者更小。
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公开(公告)号：KR1020050049002A
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：KR1020030082765
申请日：2003-11-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: 미생물 살균 기능을 갖는 반도체 세정설비는 세트가 삽입되는 클린배스 몸체와 몸체로 초순수를 공급하는 초순수 공급 탱크와 몸체와 초순수 공급 탱크를 연결하는 초순수라인과 초순수라인의 배관 및 밸브에 설치되는 미생물 살균장치 및 몸체 하부에 설치되는 드레인라인을 포함한다. 여기서, 상기 미생물 살균장치는 초순수라인의 배관 외부에 밀착되게 설치되는 핫패드와 초순수라인의 밸브 외부에 밀착되게 설치되는 핫백을 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR100567621B1
公开(公告)日：2006-04-04
申请号：KR1020040000229
申请日：2004-01-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
CPC classification number: G01N1/22 , G01M3/223 , Y10T137/0419 , Y10T137/4259 , Y10T137/5762 , Y10T137/7062
Abstract: 공정 가스 또는 케미컬을 전달하기 위한 배관들에 설치된 연결부들로부터 누설된 오염물의 확산을 방지하기 위한 오염 제어 장치가 개시되어 있다. 상기 오염 제어 장치는 상기 오염물의 확산을 방지하기 위해 각각의 연결부를 감싸도록 배치되는 커버와, 상기 커버와 상기 배관들 사이의 공간으로 외부 공기를 공급하기 위한 유입 포트와, 상기 공간으로 공급된 공기와 상기 오염물의 혼합 가스를 배출하기 위한 유출 포트를 포함한다. 상기 혼합 가스는 상기 유출 포트와 배기 덕트를 연결하는 연결 배관을 통해 배출되므로, 상기 오염물에 의한 작업 환경의 오염이 방지될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050071856A
公开(公告)日：2005-07-08
申请号：KR1020040000229
申请日：2004-01-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
CPC classification number: G01N1/22 , G01M3/223 , Y10T137/0419 , Y10T137/4259 , Y10T137/5762 , Y10T137/7062
Abstract: 공정 가스 또는 케미컬을 전달하기 위한 배관들에 설치된 연결부들로부터 누설된 오염물의 확산을 방지하기 위한 오염 제어 장치가 개시되어 있다. 상기 오염 제어 장치는 상기 오염물의 확산을 방지하기 위해 각각의 연결부를 감싸도록 배치되는 커버와, 상기 커버와 상기 배관들 사이의 공간으로 외부 공기를 공급하기 위한 유입 포트와, 상기 공간으로 공급된 공기와 상기 오염물의 혼합 가스를 배출하기 위한 유출 포트를 포함한다. 상기 혼합 가스는 상기 유출 포트와 배기 덕트를 연결하는 연결 배관을 통해 배출되므로, 상기 오염물에 의한 작업 환경의 오염이 방지될 수 있다.
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公开(公告)号：KR100490594B1
公开(公告)日：2005-05-19
申请号：KR1020030010164
申请日：2003-02-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67393 , H01L21/67017 , H01L21/67769
Abstract: 외부 오염원으로부터 피 보관체를 안전하게 보관할 수 있는 보관 방법과 보관함 및 스토커를 포함하는 보관 장치가 개시되어 있다. 적어도 하나의 보관함의 외부로부터 가스를 공급하고, 보관함과 연통되는 제1 밸브를 개방한 후, 제1 밸브를 통하여 보관함 내부로 가스를 분사한다. 보관함 내부의 가스 압력을 상승시켜 보관함과 연통되는 제2 밸브를 개방하여 보관함 내부의 가스를 외부로 배출한다. 상기 스토커의 일측은 개방되며, 타측에는 가스 공급관이 설치된다. 스토커에 수용되는 보관함의 일측에는 가스 차단밸브가 장착된 가스 공급부가 설치되고, 타측에는 가스 차단밸브가 장착된 가스 배출부가 설치된다. 보관함 내부에 원활한 가스흐름을 유도함으로써 피 보관체 주위의 오염원을 효과적으로 제거할 수 있으며, 보관함 외부의 오염원이 내부로 유입되는 것도 방지하여 피 보관체를 안전하게 보관할 수 있다.
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