公开(公告)号：KR1020050049002A

公开(公告)日：2005-05-25

申请号：KR1020030082765

申请日：2003-11-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박선욱 ,  임창수 ,  임숙희

IPC: H01L21/02

Abstract: 미생물 살균 기능을 갖는 반도체 세정설비는 세트가 삽입되는 클린배스 몸체와 몸체로 초순수를 공급하는 초순수 공급 탱크와 몸체와 초순수 공급 탱크를 연결하는 초순수라인과 초순수라인의 배관 및 밸브에 설치되는 미생물 살균장치 및 몸체 하부에 설치되는 드레인라인을 포함한다. 여기서, 상기 미생물 살균장치는 초순수라인의 배관 외부에 밀착되게 설치되는 핫패드와 초순수라인의 밸브 외부에 밀착되게 설치되는 핫백을 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020020082927A

公开(公告)日：2002-11-01

申请号：KR1020010022039

申请日：2001-04-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임창수 ,  박문수 ,  임숙희 ,  지중해

IPC: A62B18/02

Abstract: PURPOSE: A cleanness mask is provided to effectively absorb the moisture discharged from a worker wearing the mask, thus improving a wearing feeling of the mask and preventing a filter of the mask from getting wet. CONSTITUTION: The cleanness mask comprises an inner fabric(42) provided inside the mask; an absorptive fabric(40) overlaid on the inner fabric for absorbing the moisture discharged from a worker wearing the mask; a filter(44) overlaid on the absorptive fabric for inhaling the outside air and filtering any impurities contained in the air; an outer fabric(46) overlaid on the filter; a band provided at the both sides of the overlaid members; and a plurality of supports(38) that one end is fixed to the absorptive fabric and the other end is fixed to the band.

Abstract translation: 目的：提供清洁面罩，以有效吸收从面具中排出的湿气，从而提高面罩的穿着感，防止面膜过滤器变湿。 构成：清洁面罩包括设置在面罩内部的内部织物（42）; 覆盖在所述内部织物上的吸收织物（40），用于吸收从佩戴所述面罩的工人排出的湿气; 覆盖在吸收性织物上的用于吸入外部空气并过滤空气中所含杂质的过滤器（44）; 覆盖在过滤器上的外部织物（46）; 在重叠的成员的两边提供乐队; 以及多个支撑件（38），其一端固定到吸收性织物上，另一端固定在带子上。

公开(公告)号：KR100657786B1

公开(公告)日：2006-12-14

申请号：KR1020010022039

申请日：2001-04-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임창수 ,  박문수 ,  임숙희 ,  지중해

IPC: A62B18/02

Abstract: 청정실의 오염을 방지하고, 착용감이 좋은 청정용 마스크가 개시되어 있다. 안쪽면에 구비되는 안감과, 상기 안감과 중첩되고 상기 안감에 비해 작으며 수분을 흡수하기 위한 방향성 물질이 포함되는 흡수포, 상기 흡수포에 중첩되고 공기를 인입하고 오염물을 걸러내는 필터, 상기 필터의 외부에 중첩되는 겉감 및 상기 중첩된 부재들의 양측으로 밴드, 상기 흡수포의 상단 및 하단의 중심 부분과 상기 밴드의 중심 부분에 단부가 각각 고정되는 다수개의 지지대가 구비되는 청정용 마스크를 제공한다. 따라서 상기 흡수포에 의해 작업자에게서 배출되는 수분을 효과적으로 흡수하여, 작업자의 피부와 상기 청정용 마스크가 직접 접촉하는 부위에 수분을 감소하여 착용감을 좋게한다. 또한 상기 청정용 마스크의 필터가 젖는 것을 방지할 수 있어서 청정실의 오염도 최소화할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020040004928A

公开(公告)日：2004-01-16

申请号：KR1020020039160

申请日：2002-07-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 황정성 ,  임숙희 ,  임창수

IPC: F24F13/28

CPC classification number: F24F3/161 ,  B01D50/00

Abstract: PURPOSE: A fresh air duct and an air supply device for a clean room are provided to secure the fresh air duct for a clean room air-purifying system suitable for purifying air including fine particles and supply clean air by adopting the fresh air duct and purifying external air. CONSTITUTION: A fresh air duct for a clean room air-purifying system comprises a first pipe(101) having a flexible duct part(101a) moving in the extending direction at one end, to move air; a filter(106) disposed to the end of the flexible duct part, to filter contaminants in the air; and a second pipe(108) having a first end portion connected to the end portion of the flexible duct part, to guide the air. An attaching section(104) for detachably attaching the filter is disposed to the first end portion.

Abstract translation: 目的：提供洁净室的新鲜空气管道和空气供应装置，用于固定新鲜空气管道，用于洁净室空气净化系统，适用于净化包括细颗粒在内的空气，并通过采用新鲜空气管道和净化空气来提供清洁空气 外部空气 构成：用于洁净室空气净化系统的新鲜空气管道包括：第一管道（101），其具有在一端沿延伸方向移动的柔性管道部分（101a），以移动空气; 设置在柔性管道部分的端部的过滤器（106），以过滤空气中的污染物; 和第二管（108），其具有连接到柔性管道部分的端部的第一端部，以引导空气。 用于可拆卸地安装过滤器的安装部（104）设置在第一端部。

公开(公告)号：KR1020020044639A

公开(公告)日：2002-06-19

申请号：KR1020000073628

申请日：2000-12-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 지중해 ,  임숙희

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: A clean room for fabricating a semiconductor device is provided to minimize defects due to occurrence of particles and an air turbulence by installing and changing an equipment without a partition removal. CONSTITUTION: A clean room for fabricating a semiconductor device comprises a service area(12) including bay areas(10) installed with manufacturing apparatuses(18), partitions(11) located between the bay areas(10) for respectively separating the bay areas(10) as an each processing space, a process area(14) having an at least 2,700 mm width for performing operations using the manufacturing apparatuses(18), and doors(20) installed at the edge areas of the bay areas(10) fronting to the process area(14) for coming in and out to bay areas(10) through the process area(14). At this point, an upper and a lower rails are respectively installed on the upper and lower portion of the door(20) for opening and shuttering by a sliding of the rail.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造半导体器件的洁净室，以通过安装和更换设备来最大限度地减少由于颗粒的发生和空气湍流而引起的缺陷。 构成：用于制造半导体器件的洁净室包括服务区域（12），其包括安装有制造设备（18）的隔间区域（10），位于间隔区域（10）之间的隔板（11），用于分隔间隔区域 10）作为每个处理空间，具有用于使用制造装置（18）进行操作的至少2700mm宽度的处理区域（14）和安装在所述间隔区域（10）的边缘区域的门（20） 通过处理区域（14）进入到出口区域（10）的处理区域（14）。 在这一点上，上和下导轨分别安装在门（20）的上部和下部，用于通过轨道的滑动打开和遮蔽。

公开(公告)号：KR1020060073833A

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：KR1020040112266

申请日：2004-12-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박선욱 ,  임창수 ,  임숙희

IPC: G01N1/22

Abstract: 본 발명은 고압 가스 내 이온성 오염 분석 장치 및 분석 방법에 관한 것으로, 고압 가스 내 이온성 오염을 분석하는 오염 분석 장치에 있어서, 상기 고압 가스의 압력을 하락시키는 제1 오리피스; 상기 제1 오리피스를 통과하여 압력이 낮아진 가스의 유동량을 조절하는 필터; 상기 벤트 필터를 통과하여 유동량이 조절된 가스의 압력을 대기압으로 전환시키는 제2 오리피스; 및 상기 제2 오리피스를 통과하여 대기압으로 전환된 가스 내에 존재하는 이온들을 녹이는 용액이 담겨진 용기를 포함하는 오염 분석 장치를 사용하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 고압 가스를 임계 오리피스를 통과시켜 대기압으로 떨어뜨린 후 벤트 필터를 통해 배출시켜 가스량을 조절하고, 대기압으로 전환된 가스를 임핀저 펌프 가동으로 초순수를 통과시킴으로써 수용성 이온들을 초순수에 녹여 이를 분석하게 되는 것이다. 이에 따라, 기존의 가스 압력과 유량 등 체적 차이에 따른 이온 성분량 차이가 생기지 않아 정확한 샘플링이 이루어지게 되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020060067163A

公开(公告)日：2006-06-19

申请号：KR1020040105530

申请日：2004-12-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임숙희 ,  임창수 ,  김영민

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02 ,  F16K1/205 ,  F16K27/003

Abstract: 공정 가스 또는 케미컬을 전달하기 위한 배관들에 설치되는 밸브 본체로부터 발생된 누설물의 확산을 방지하기 위한 밸브 시스템이 개시된다. 공정 유체의 압력, 유량 또는 방향을 조절하는 상기 밸브 본체에는 상기 누설물의 확산을 방지하기 위해 상기 밸브 본체를 감싸는 하우징이 구비된다. 상기 하우징과 상기 밸브 본체는 연결 배관에 의해 연결된다. 상기 하우징에는 상기 하우징 내부로 외부 공기를 공급하기 위한 유입 포트와, 상기 공간으로 공급된 공기와 상기 누설물의 혼합 유체를 배출하기 위한 유출 포트가 장착된다. 상기 혼합 유체는 상기 유출 포트를 통하여 배기 덕트로 배출되므로, 상기 누설물에 의해 작업 환경이 오염되는 것이 미연에 방지될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020040039000A

公开(公告)日：2004-05-10

申请号：KR1020020066615

申请日：2002-10-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임숙희 ,  김현옥 ,  고길선 ,  박선욱

IPC: G01N1/28

Abstract: PURPOSE: A bacteria sampling apparatus and a method for measuring an amount bacteria existing in ultra pure water are provided to reliably analyze a contamination source existing in ultra pure water. CONSTITUTION: A bacteria sampling apparatus(200) includes a kit(100) for temporarily storing ultra pure water, a pressure applying unit(120) for providing pressure to exhaust ultra pure water stored in the kit(100), a control unit(140) for controlling an operation of the pressure applying unit(120), and a receiving section(160) for receiving ultra pure water discharged from the kit(100). The kit(100) is connected to an ultra pure water storing section(50) through a fluid line(60) so as to receive ultra pure water from the ultra pure water storing section(50). A flow rate valve(70) is provided in the fluid line(60) in order to allow ultra pure water to flow into the kit(100).

Abstract translation: 目的：提供细菌取样装置和测量超纯水中存在的细菌的方法，以可靠地分析超纯水中存在的污染源。 构成：细菌取样装置（200）包括用于临时储存超纯水的试剂盒（100），用于提供压力以排出存储在试剂盒（100）中的超纯水的压力施加单元（120），控制单元（140） ），用于控制加压单元（120）的操作;以及接收部（160），用于接收从所述套件（100）排出的超纯水。 试剂盒（100）通过流体管线（60）连接到超纯水储存部分（50），以从超纯水储存部分（50）接收超纯水。 在流体管线（60）中设置有流量阀（70），以便允许超纯水流入试剂盒（100）。

公开(公告)号：KR1020080060539A

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：KR1020060134757

申请日：2006-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임창수 ,  류주아 ,  문경록 ,  안요한 ,  이양구 ,  임숙희

IPC: H01L21/02

Abstract: An air filtering device and an air cleaning system of a semiconductor manufacturing line with the same are provided to maximize production yield by preventing the polluted air from being transferred between a duct and a frame of the filter. A predetermined pressure air is supplied into a main body of a duct(132). A filter media(146) having multiple holes filters contaminants included in the air by passing the air from the duct main body therethrough. A filter frame(144) surrounds edges of the filter media, and is coupled with the main body of the duct. A sealing member(142) seals a gap between the filter frame and the main body of the duct, so that air can not be transferred through the gap.

Abstract translation: 提供具有该空气过滤装置和半导体制造生产线的空气净化系统以通过防止污染的空气在管道和过滤器的框架之间传递来最大化生产产量。 预定的压力空气被供应到管道（132）的主体中。 具有多个孔的过滤介质（146）通过使来自导管主体的空气通过而对包含在空气中的污染物进行过滤。 过滤器框架（144）围绕过滤介质的边缘并且与管道的主体联接。 密封构件（142）密封过滤器框架和管道主体之间的间隙，使得空气不能通过间隙传递。

公开(公告)号：KR100630758B1

公开(公告)日：2006-10-02

申请号：KR1020050072330

申请日：2005-08-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임창수 ,  김현준 ,  임숙희 ,  박선욱 ,  박만순 ,  강홍규

IPC: H01L21/02

Abstract: A humidity measuring apparatus and a humidity measuring method using the same are provided to control the air flow into a clean room according to a humidity degree of the outside air using a predetermined counter. A humidity measuring apparatus includes a suction port(104) for absorbing the outside air, a heating unit(106) for removing moisture from the absorbed air, a cooling unit(112) for cooling the heated air to an aiming point, a counter and an exhaust port. The counter(122) is used for measuring a humidity degree of the cooled air. The exhaust port(126) is used for exhausting the measured air to the outside. The humidity measuring apparatus further includes a moisture exhausting port at one side of the heating unit.

Abstract translation: 提供了一种湿度测量装置和使用该装置的湿度测量方法，以利用预定计数器根据外部空气的湿度来控制进入洁净室的空气流量。 本发明提供一种湿度测量装置，其包括：用于吸收外部空气的吸入口（104）;用于从吸收的空气中去除水分的加热单元（106）;用于将加热的空气冷却到瞄准点的冷却单元（112） 一个排气口。 计数器（122）用于测量冷空气的湿度。 排气口（126）用于将测量空气排出到外部。 湿度测量装置还包括位于加热单元一侧的水分排出口。