커패시터 제조 방법 및 이를 사용한 디램 장치의 제조 방법
    2.
    发明授权
    커패시터 제조 방법 및 이를 사용한 디램 장치의 제조 방법 有权
    电容器的制造方法以及使用该电容器的动态随机存取存储器件的制造方法

    公开(公告)号:KR100869236B1

    公开(公告)日:2008-11-18

    申请号:KR1020060089056

    申请日:2006-09-14

    CPC classification number: H01L28/91 H01L27/10817 H01L27/10852

    Abstract: 커패시터 제조 방법 및 이를 사용한 디램 장치의 제조 방법에서, 도전막의 상부를 도포하고 있는 절연막에 오존 가스를 제공함으로서 절연막 상부의 물성을 변화시킨다. 그 후, 절연막 상부를 화학적으로 제거함으로서 도전막의 상부가 노출된다. 도전막의 노출된 상부를 제거하여 하부 전극을 형성한다. 이어서, 잔류하는 절연막을 제거한다. 본 발명에 따르면, 하부 전극을 형성하기 위한 노드 분리 공정에서 화학 기계적 연마 공정을 요구하지 않기 때문에 공정시간이 단축되고 비용이 감소된다.

    반도체 장치 제조를 위한 레이저 시스템
    3.
    发明公开
    반도체 장치 제조를 위한 레이저 시스템 无效
    高重复激光多腔

    公开(公告)号:KR1020070030429A

    公开(公告)日:2007-03-16

    申请号:KR1020050085076

    申请日:2005-09-13

    CPC classification number: G03F7/70025 G03F7/70191

    Abstract: 반도체 장치 제조를 위한 레이저 시스템에 있어서, 시드 광 발진부는 시드 광(seed light)을 발생시킨다. 상기 시드 광의 경로 상에 배치된 광학 부재들은 상기 시드 광을 순차적으로 분할된다. 다수의 레이저 빔 발진부들은 상기 분할된 광들을 각각 증폭시켜 펄스형 레이저 빔들을 형성한다. 상기 광학 부재들은 상기 분할된 광들이 각각 서로 다른 시간차를 두고 상기 레이저 빔 발진부들로 제공되도록 광학 지연 물질(optical retarder material)로 이루어진다. 따라서, 시드 광 발진부로부터 생성된 시드 광은 광학 지연 물질에 의해 시간차를 가지고 레이저 빔 발진부들로 분할 제공되어 높은 반복도(high repetition rate)를 갖는 펄스형 레이저 빔이 발생될 수 있다.

    기판 노광 공정에 사용되는 레티클
    4.
    发明公开
    기판 노광 공정에 사용되는 레티클 无效
    用于衬底的接触过程中的一个用途

    公开(公告)号:KR1020070051965A

    公开(公告)日:2007-05-21

    申请号:KR1020050109405

    申请日:2005-11-16

    Abstract: 기판 노광 공정에 사용되는 레티클에 있어서, 이미지 패턴이 형성된 유리 기판과, 상기 이미지 패턴의 오염을 방지하기 위한 보호 기판과 상기 유리 기판과 보호 기판 사이에 구비되며, 상기 기판들 사이에서 진공 상태로 유지되며, 그 내부에는 불활성 가스가 충진되어 있는 공간을 형성하기 위한 개스킷과 상기 보호 기판 이 오염되는 것을 방지하기 위한 펠리클막을 포함한다. 상기 밀폐 공간은 진공 상태로 유지되며, 그 내부에는 불활성 가스가 충진되어 있다. 따라서, 상기 유리 기판과 보호 기판 사이의 오염 물질의 제거 및 성장성 이물질 발생을 억제하며, 상기 기판들 사이이 탈부착의 용이성을 확보할 수 있다.

    이동통신 단말기의 저잡음 증폭장치
    5.
    发明授权
    이동통신 단말기의 저잡음 증폭장치 有权
    이동통신단말기의저잡음증폭장치

    公开(公告)号:KR100374350B1

    公开(公告)日:2003-03-04

    申请号:KR1020000085127

    申请日:2000-12-29

    CPC classification number: H03F2200/372

    Abstract: PURPOSE: An apparatus of amplifying a low noise in a mobile communication terminal is provided to minimize a current consumption, while maintaining a linearity. CONSTITUTION: In an apparatus of amplifying a low noise in a mobile communication terminal, an AGC amp control part(320) of a low noise amplifier receives a signal to noise ratio of the signal received from a modem, receives an information for a reception field strength from a part(310) for detecting a reception field strength, and outputs a control signal in case that the signal to noise ratio is not improved though the reception field strength is increased. A bias part increases a bias current according to the control signal output from the control part of a low noise amplifier. An AGC amplifier(360) for amplifying a low noise amplifies the reception signal to the signal level corresponding to the bias current generated from the bias part.

    Abstract translation: 目的:提供一种在移动通信终端中放大低噪声的设备,以在保持线性的同时使电流消耗最小化。 构成:在移动通信终端中放大低噪声的装置中,低噪声放大器的AGC放大器控制部分(320)接收从调制解调器接收的信号的信噪比,接收用于接收场的信息 来自用于检测接收场强的部分(310)的强度,并且在尽管接收场强增加但信噪比没有提高的情况下输出控制信号。 偏置部分根据从低噪声放大器的控制部分输出的控制信号来增加偏置电流。 用于放大低噪声的AGC放大器(360)将接收信号放大到与从偏置部分生成的偏置电流对应的信号电平。

    무선 단말기에서 송수신단 증폭기의 제어 장치 및 방법
    6.
    发明公开
    무선 단말기에서 송수신단 증폭기의 제어 장치 및 방법 失效
    在无线终端中控制收发终端放大器的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020010009946A

    公开(公告)日:2001-02-05

    申请号:KR1019990028564

    申请日:1999-07-14

    Inventor: 박세영

    CPC classification number: H03F1/0211 H03F3/16 H03F3/21 H03F2200/294 H04B1/40

    Abstract: PURPOSE: A method for controlling a transceiving terminal amplifier in a wireless terminal is provided to use a field effect transistor according to a received signal intensity to control amplifiers, so as to reduce a consume current to simultaneously control many amplifiers, and to improve linearity of the amplifiers to raise a reception efficiency. CONSTITUTION: A controller measures an intensity of a received wireless signal through a received level measurer(400). If a measured value is below a determined value, the controller turns on a field effect transistor so that a high current flows in amplifiers(410). Linearity of the amplifiers flowing the high current is improved. If the measured value is not below a determined value, the controller turns off the field effect transistor so that a low current flows in the amplifiers(430). Though linearity of the amplifiers flowing the low current becomes bad, a consume current is reduced by flowing the low current. Many amplifiers are controlled by using the field effect transistor.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于控制无线终端中的收发终端放大器的方法,以根据接收信号强度来使用场效应晶体管来控制放大器,以便减少消耗电流以同时控制许多放大器,并提高线性度 放大器提高了接收效率。 构成:控制器通过接收的电平测量器(400)测量接收到的无线信号的强度。 如果测量值低于确定值,则控制器接通场效应晶体管,使得高电流在放大器(410)中流动。 流过高电流的放大器的线性提高。 如果测量值不低于确定值,则控制器关闭场效应晶体管,使得在放大器(430)中流过低电流。 虽然流过低电流的放大器的线性变差,但通过流过低电流来消耗电流。 许多放大器通过使用场效应晶体管来控制。

    휴대용 무선 단말기의 송수신신호 간섭 차단장치
    7.
    发明公开
    휴대용 무선 단말기의 송수신신호 간섭 차단장치 无效
    用于中断传输和接收移动终端的信号干扰的装置

    公开(公告)号:KR1020010003080A

    公开(公告)日:2001-01-15

    申请号:KR1019990023233

    申请日:1999-06-21

    CPC classification number: H04B1/403 H04B1/0475 H04B1/10

    Abstract: PURPOSE: An apparatus for interrupting transmitting and receiving signal interference of a mobile terminal is provided to interrupt the desertion of transmitting and receiving signal to a transmitting terminal or a receiving terminal. CONSTITUTION: A transmitting terminal(191) consisting the first mixer(120), the first band pass filter(130), a power amplifier(140) up converts an input signal and then amplifies the signal. A receiving terminal(190) including a low noise amplifier(160), the second band pass filter(170), the second mixer(180), and low noise-amplifies and down converts a radio signal inputted through an antenna. A duplexer(150) connects the antenna with the transmitting terminal(191) or the receiving terminal(190). A local oscillator(110) supplies the mixers(120,180) with frequency. The first interrupting part(100) is formed between the local oscillator(110) and the transmitting terminal(191) for connecting the frequency generated in the local oscillator(110) to the transmitting terminal(191) and interrupting to transmit the signal deserted in the transmitting terminal(191) to the receiving terminal(190). The second interrupting part(101) is formed between the local oscillator(110) and the receiving terminal(190) for connecting the frequency generated in the local oscillator(110) to the receiving terminal(190) and interrupting to transmit the signal deserted in the transmitting terminal(191) to the receiving terminal(190).

    Abstract translation: 目的:提供一种用于中断发送和接收移动终端的信号干扰的装置,用于中断对发送终端或接收终端的发送和接收信号的拒绝。 构成:由第一混频器(120),第一带通滤波器(130),功率放大器(140)向上转换输入信号,然后放大信号的发送端子(191)。 一种包括低噪声放大器(160),第二带通滤波器(170),第二混频器(180)的接收终端(190),并且对通过天线输入的无线电信号进行低噪声放大和降低转换。 双工器(150)将天线与发送终端(191)或接收终端(190)连接。 本地振荡器(110)向混频器(120,180)提供频率。 第一中断部分(100)形成在本地振荡器(110)和发送终端(191)之间,用于将在本地振荡器(110)中产生的频率连接到发送终端(191),并且中断发送被丢弃的信号 发送终端(191)发送到接收终端(190)。 第二中断部(101)形成在本地振荡器(110)和接收终端(190)之间,用于将本地振荡器(110)中产生的频率连接到接收终端(190),并且中断发送被丢弃的信号 发送终端(191)发送到接收终端(190)。

    반도체 소자 및 그 형성방법
    8.
    发明公开
    반도체 소자 및 그 형성방법 有权
    半导体器件及其形成方法

    公开(公告)号:KR1020110055180A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:KR1020090112098

    申请日:2009-11-19

    Abstract: PURPOSE: A semiconductor device and a forming method thereof are provided to implement high integration by including core contacts with the same width and pitch as cell contacts. CONSTITUTION: Active regions(ACT) are formed in a cell region and a core region. An interlayer insulation layer covers the active regions. The cell contacts pass through the interlayer insulation layer and are electrically connected to the active region of the cell region in a first direction. Core contacts(CoC) pass through the interlayer insulation layer and are arranged on the active region of the core region in the first direction. The core contacts includes an upper connection core contact and a dummy contact(DmC). The upper connection core contact is electrically connected to the active regions. The dummy contact is insulated from the active region in one side of the upper connection contact.

    Abstract translation: 目的:提供半导体器件及其形成方法以通过包括具有与电池触点相同的宽度和间距的芯触点来实现高集成度。 构成:活性区域(ACT)形成在细胞区域和核心区域中。 层间绝缘层覆盖活性区域。 电池触点通过层间绝缘层,并且在第一方向上电连接到电池区的有源区。 芯触点(CoC)通过层间绝缘层,并且沿着第一方向布置在芯区域的有源区域上。 芯触点包括上连接芯触点和虚拟触点(DmC)。 上连接芯触点电连接到有源区。 虚拟触点与上连接触点一侧的有源区绝缘。

    커패시터 제조 방법 및 이를 사용한 디램 장치의 제조 방법
    9.
    发明公开
    커패시터 제조 방법 및 이를 사용한 디램 장치의 제조 방법 有权
    制造电容器的方法及使用其制造动态随机存取存储器件的方法

    公开(公告)号:KR1020080024663A

    公开(公告)日:2008-03-19

    申请号:KR1020060089056

    申请日:2006-09-14

    CPC classification number: H01L28/91 H01L27/10817 H01L27/10852

    Abstract: A method for manufacturing a capacitor and a method for manufacturing a dynamic random access memory device using the same are provided to reduce damage of a conductive layer by chemically removing an upper portion of a dielectric applied to the conductive layer to expose the top of the conductive layer. A mold layer(118) on which an opening unit is prepared is formed on a substrate(100). The opening unit exposes a contact plug(114). Conductive layers(122) having uniform thicknesses are formed on an inner surface of the opening unit and on an upper surface of the mold layer. A spin-on layer is formed on the conductive layer to fill the opening unit. A ozone gas is provided on an upper portion of the spin-on layer to form a dielectric. The dielectric has an upper dielectric layer and a lower dielectric layer. The upper dielectric layer is selectively removed to expose the top of the conductive layer. The exposed top of the conductive layer is removed to form a cylinder-type lower electrode. The mold layer and the lower dielectric layer are removed. Insulating layers(126) are formed on the substrate, an external wall of the lower electrode, and on inner lower surface thereof. An upper electrode is formed on the insulating layer.

    Abstract translation: 提供一种用于制造电容器的方法和用于制造使用其的动态随机存取存储器件的方法,以通过化学去除施加到导电层的电介质的上部来暴露导电层的顶部来减少导电层的损伤 层。 在基板(100)上形成有制备开口单元的模层(118)。 打开单元暴露接触插头(114)。 在开口单元的内表面和模层的上表面上形成均匀厚度的导电层(122)。 在导电层上形成旋涂层以填充开口单元。 在旋涂层的上部设置臭氧气体,形成电介质。 电介质具有上电介质层和下电介质层。 选择性地去除上电介质层以暴露导电层的顶部。 去除导电层的暴露顶部以形成圆筒型下电极。 去除模具层和下介电层。 绝缘层(126)形成在基板上,下电极的外壁及其内下表面上。 在绝缘层上形成上电极。

    무선 단말기에서 송수신단 증폭기의 제어 장치 및 방법
    10.
    发明授权
    무선 단말기에서 송수신단 증폭기의 제어 장치 및 방법 失效
    无线电话机中TX / RX放大器的控制装置及其方法

    公开(公告)号:KR100309375B1

    公开(公告)日:2001-11-01

    申请号:KR1019990028564

    申请日:1999-07-14

    Inventor: 박세영

    Abstract: 가. 청구범위에기재된발명이속한기술분야본 발명은무선통신단말기에서의송수신부에대한소모전류조절에관한것이다. 나. 발명이해결하고자하는기술적과제무선통신단말기의송수신단증폭기의선형성을개선하는동시에소비전력을줄이도록한다. 다. 발명의해결방법의요지본 발명의요지는송수신단에서수신입력신호를증폭하기위한증폭기와, 상기송수신단의출력신호로부터수신무선신호의레벨을측정하기위한수신레벨측정부와, 소정의제어신호에의해온오프되는전계효과트랜지스터와상기전계효과트랜지스터및 접지단에병렬연결된제 1 저항과일단이상기저항의일단에연결되고타단이상기증폭기의전류입력단에연결된제 2 저항을포함하며상기증폭기에입력되는전류를가변하여제공함으로써선형성을변화시키기위한전류변환부를구비한무선단말기에서송수신단증폭기의제어방법에있어서, 상기수신레벨측정부를통해수신신호의세기를측정하는과정과, 상기측정한신호의세기값이일정레벨이하이면상기제 2 저항성분을제거함으로써상기증폭기에고 전류를공급하는과정과, 상기측정한신호의세기값이일정레벨이하가아니면상기제 2 저항성분에의해상기증폭기에저 전류를공급하는과정으로이루어짐을특징으로한다. 라. 발명의중요한용도무선단말기에이용된다.

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