Abstract:
박막 트랜지스터 및 그 제조 방법이 개시된다. 개시된 박막 트랜지스터는 채널층이 게이트 전극과 상대적으로 가까운 제 1영역과 상대적으로 거리가 먼 제 2영역을 포함할 수 있으며, 채널층을 구성하는 물질 중 적어도 하나는 제 1영역보다 제 2영역에서의 농도가 더 클 수 있다. 채널층은 아연(Zn) 및 불소(F)를 포함할 수 있으며, 제 2영역에서의 불소의 농도가 제 1영역에서의 불소의 농도보다 클 수 있다.
Abstract:
트랜지스터와그 제조방법및 트랜지스터를포함하는전자소자에관해개시되어있다. 개시된트랜지스터는산화물반도체로형성된채널층을포함할수 있다. 상기채널층은서로다른전기적특성을갖는적어도두 영역을포함할수 있다. 상기채널층은, 예컨대, HfInZnO 를포함할수 있고, 상기채널층에서백 채널영역(back channel region)의전기전도도는프론트채널영역(front channel region)의전기전도도보다낮을수 있다. 상기백 채널영역과프론트채널영역은서로다른조성비를가질수 있다. 상기백 채널영역의 In 함유량및 Hf 함유량중 적어도하나는상기프론트채널영역과다를수 있다.
Abstract:
Disclosed are a thin film transistor, a manufacturing method thereof, and a display including the same. The disclosed thin film transistor includes a gate electrode, a channel layer which is formed to correspond to the gate electrode and further includes a first element whose N vacancy formation energy is higher than Zn-N bonding in a ZnON based semiconductor material which includes F, a gate insulation layer which is formed between the gate electrode and the channel layer, and a source electrode and a drain electrode which are in contact with the channel layer.
Abstract:
A semiconductor material, a transistor including semiconductor material, and an electronic device including a transistor are provided. The disclosed semiconductor material may include zinc, nitrogen, and fluorine. The semiconductor material may further include oxygen. The semiconductor material may further include a compound, such as, zinc fluorooxynitride, zinc oxynitride containing fluorine, and zinc fluoronitride. The semiconductor material can be used for the channel material of a thin film transistor.