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公开(公告)号：KR101883294B1
公开(公告)日：2018-07-30
申请号：KR1020120031872
申请日：2012-03-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/3083 , H01L21/0331 , H01L21/0337 , H01L21/31144 , H01L27/10817 , H01L27/10891 , H01L27/11556 , H01L27/24 , H01L28/91
Abstract: 미세패턴형성방법이제공된다. 미세패턴형성방법은하부막상에, 제 1 방향으로연장된제 1 하드마스크패턴들을형성하는것, 상기제 1 하드마스크패턴들사이를채우는제 2 하드마스크패턴들을형성하는것, 상기제 1 및제 2 하드마스크패턴들상에서, 상기제 1 방향에수직인제 2 방향으로연장되는제 1 마스크패턴들을형성하는것, 상기제 1 마스크패턴들을식각마스크로이용하여상기제 1 하드마스크패턴들을식각하여제 1 오프닝들을형성하는것, 상기제 1 오프닝들을채우면서상기 2 방향으로연장되는제 2 마스크패턴들을형성하는것, 및상기제 2 마스크패턴들을식각마스크로이용하여상기제 2 하드마스크패턴들을식각하여상기제 1 오프닝들에대해사선(diagonal) 방향에배치되는제 2 오프닝들을형성하는것을포함한다.
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公开(公告)号：KR1020170080926A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：KR1020150190831
申请日：2015-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L27/115
CPC classification number: H01L27/1052 , H01L23/5283 , H01L27/11565 , H01L27/1157 , H01L27/11575 , H01L27/11582 , H01L29/7827
Abstract: 본발명의실시예에따른반도체메모리소자는기판상에적층된워드라인들및 수평적으로서로이격된제 1 및제 2 스트링선택라인들을포함하는적층구조체들, 상기적층구조체들을관통하는수직기둥들, 제 1 방향으로연장하며, 상기제 1 방향에교차하는제 2 방향을따라반복적으로배열되는제 1 및제 2 비트라인들을포함하되, 상기수직기둥들각각은, 평면적관점에서, 상기제 2 방향으로인접하는적어도두 개의상기제 1 비트라인들과상기적어도두 개의제 1 비트라인들사이에배치되는적어도하나의상기제 1 비트라인과중첩되고, 상기제 2 방향으로따라배열된상기수직기둥들각각의중심으로부터상기제 1 비트라인들중 어느하나사이의최소거리는상기수직기둥의상기중심으로부터상기제 1 비트라인들중 다른하나사이의최소거리와다를수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例半导体存储器件包括一个层压结构，包括字线和平行于彼此分离沉积在衬底上的第一mitje第二串选择线，通过延伸的垂直柱，所述层叠结构， 在第一方向上延伸，并包括：第一mitje第二位线被重复地沿着第二方向交叉的第一方向排列，每个垂直列的，在视二维点，彼此相邻的在第二方向上 并且布置在所述至少两条第一位线和沿所述第二方向布置的所述至少两条第一位线之间的至少一条第一位线， 第一位线中的任一个与中心之间的最小距离可以不同于垂直列的中心与第一位线中的另一个之间的最小距离。
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公开(公告)号：KR1020160043263A
公开(公告)日：2016-04-21
申请号：KR1020140137367
申请日：2014-10-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8247 , H01L21/027 , H01L21/56
Abstract: 수직형메모리장치의제조방법에있어서, 기판상에층간절연막들및 희생막들을교대로반복적으로적층하여몰드구조물을형성한다. 제1 식각공정을통해몰드구조물의측부를부분적으로식각하여예비계단형몰드구조물을형성한다. 제2 식각공정을통해예비계단형몰드구조물에포함된계단들을부분적으로식각하여계단형몰드구조물을형성한다. 계단형몰드구조물을관통하는채널들을형성한다. 계단형몰드구조물에포함된희생막들을게이트라인들로치환한다.
Abstract translation: 在可靠性提高的立式存储装置的制造方法中，通过在基板上交替层叠电介质和牺牲层层叠而形成模具结构体。 通过第一蚀刻工艺部分地蚀刻模具结构的侧部来形成初步的阶梯型模具结构。 通过第二蚀刻工艺通过蚀刻包括在初步阶梯型模具结构中的部分步骤形成阶梯型模具结构。 形成贯穿阶梯式模具结构的通道。 包括在阶梯型模具结构中的牺牲层被栅极线代替。
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公开(公告)号：KR1020000020744A
公开(公告)日：2000-04-15
申请号：KR1019980039487
申请日：1998-09-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
Abstract: PURPOSE: A focusing method and system of exposing device is provided to prevent the patterning failure due to defocus, particularly to prevent the defocus generated in forming the pattern of micro width. CONSTITUTION: A focusing method of exposing device having an exposing slit(20) and plural focus sensors(32a,32b,34a,34b) arranged on both sides of the slit comprises a step of selecting any focus sensor of plural focus sensors, and a step of controlling focus using the selected focus sensors. The focusing method further comprises a step of averaging the focuses by the selected sensors to control the focus of the exposing device, and a step of selecting the focus sensors used in order to be correspondent to the chip size on a wafer.
Abstract translation: 目的：提供曝光装置的聚焦方法和系统，以防止由于散焦引起的图案化故障，特别是防止在形成微宽度图案时产生的散焦。 构成：布置在狭缝的两侧的具有曝光狭缝（20）和多个聚焦传感器（32a，32b，34a，34b）的曝光装置的聚焦方法包括选择多个聚焦传感器的任何聚焦传感器的步骤，以及 使用所选焦点传感器控制焦点的步骤。 聚焦方法还包括通过所选择的传感器对焦点进行平均以控制曝光设备的焦点的步骤，以及选择所使用的聚焦传感器以便与晶片上的芯片尺寸对应的步骤。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100183673B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019920027535
申请日：1992-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김철홍
IPC: G11B15/46
Abstract: 본 발명은 영상기록 및 재생장치에 있어서, 마이콤을 이용한 소프트웨어 서보방법에 관한 것으로, 종래의 드럼모터나 캡스턴모터의 서보시스템용 회로를 대체하면서도 기능적으로 보다 향상된 소프트웨어 서보제어방법을 제공함에 그 목적이 있다. 이를 위해 드럼위상오차계수를 산출하는 드럼위상오차측정과정과, 드럼속도오차측정과정과, 드럼속도오차측정계수와 드럼속도오차를 합한 값을 드럼속도필터처리를 하여 두 오차가 보상된 드럼모터의 PWM신호를 출력하는 드럼모터구동신호 출력과정을 통하여 드럼모터를 제어하고, 캡스턴 위상오차계수를 산출하는 캡스턴위상오차측정과정과, 캡스턴속도오차측정과정과, 위상오차계수와 속도오차를 합한 값을 캡스턴속도필터처리를 하여 두 오차가 보상된 캡스턴모터의 PWM신호를 출력하는 캡스턴모터구동신호 출력과정을 포함한다. 본 발명은 개발기간의 단축, 제어성능의 향상, 간편한 동작 테스트 가능, 시스템 변경에도 탄력적인 대응이 가능하며, 신뢰성이 향상되고 소형경량화, 생전력화가 가능한 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR100165414B1
公开(公告)日：1999-03-20
申请号：KR1019950021375
申请日：1995-07-20
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김철홍
IPC: G11B5/09
Abstract: 가변속 오디오신호 재생장치 및 그 방법을 공개한다. 그 장치는 제1클럭신호에 동기되어 아날로그 오디오 신호를 디지탈 변환하는 아날로그-디지탈 변환수단; 사용자의 재생 배속 N의 선택에 따라 상기 아날로그-디지탈 변환수단으로부터 디지탈 변환된 오디오 신호의 단자음 및 단모음 부분을 1/N로 복제하여 확장하거나 삭제하는 신호 처리수단; 제2클럭신호에 동기되어 상기 신호 처리수단으로부터의 디지탈 오디오 신호를 아날로그 신호로 변환하는 디지탈-아날로그 변환수단; 및 상기 제1클럭신호 및 상기 제2클럭신호를 발생하는 클럭 발생수단을 구비한 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 샘플링 주파수를 그대로 두고, 단자음 및 단모음 신호 부분을 복제하여 확장하거나, 그 일부분을 삭제함으로써 음질이 떨어짐이 없이 사용자가 원하는 재생 배속으로 청취가 가능하다는 잇점이 있다.
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公开(公告)号：KR1019990002961A
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019970026725
申请日：1997-06-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04N5/60
Abstract: 개시된 정지화면상태에서의 음성신호 변속재생방법은 일정용량을 갖는 메모리를 이용하여 일정구간의 음성신호를 지속적으로 저장하고, 저장된 음성신호를 청취자의 선택에 따라 원하는 속도로 변속하여 출력하도록 한 것이다.
본 발명은 본래의 재생속도를 갖는 음성신호를 연속적으로 재생하던 중 정지화면상태에서 음성신호를 변속출력하기 위한 키신호가 입력된 경우 선택된 화면을 정지하고, 메모리로부터 이미 저장된 음성신호를 로드한 후 외부로부터 입력된 음성신호의 가변속도를 인지한 마이크로컴퓨터의 제어신호에 응답하여 로드된 음성신호를 유성음 처리하여 변속시키고, 변속된 음성신호를 펄스폭변조하여 아날로그신호로 변환함으로써 청취자가 원하는 속도로 재생되는 음성신호를 반복하여 들을 수 있도록 한 것으로서, 정지화면상태에서 일정 구간의 음성신호를 정상속도 처리이외에 1/2배속, 2배속, 1.5배속등으로 가변속 처리할 수 있다는 장점을 갖는다.-
公开(公告)号：KR1019970049057A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950057217
申请日：1995-12-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G03F7/20
Abstract: 조명 광원의 중심 부분을 차단하지 않으면서 사입사 성분이 입사하여 초점 심도를 향상시키며 빛의 세기가 감소하지 않는 변형 조명 장치에 관하여 개시한다. 본 발명은 파리 눈 렌즈와, 빛을 모으는 콘덴서 렌즈와, 상기 파리 눈 렌즈와 상기 콘덴서 렌즈 사이에서 적어도 상기 파리 눈 렌즈의 중심 부분을 통과하는 빛을 통과시키는 어퍼처와, 상기 콘덴서 렌즈와 상기 어퍼처 사이에서 빛을 회절시키는 그레이팅을 포함한다. 본 발명의 변형 조명 장치에 의하여 노광시 빛의 세기가 저하되는 방지하면서 초점 심도를 향상시키는 효과를 가질 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019970049055A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950056987
申请日：1995-12-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김철홍
IPC: G03F7/20
Abstract: 변형 조리개 및 이를 이용한 투영노광장치에 관해 개시한다. 본 발명은 제1반지름의 광투과영역을 지니는 제1조리개와, 상기 제1반지름보다 작고, 제1반지름과 동일중심의 서로다른 반지름을 가지는 N개의 원이 중첩되어 형성된 N개의 고리영역이 교대로 형성한 N-1(N이 홀수일때) 또는 N-2(N이 짝수일때)개의 위상변이 영역을 구비하는 제2조리개를 구비하는 것을 특징으로 하느 사입사 조명용 조리개를 제공한다. 본 발명은 또한 상기 변형조명용 조리개를 이용한 투영노광장치를 제공한다.
본 발명에 의하면 위상변이영역을 통과한 광이 콘덴서 렌즈의 가장자리부위로 회절함으로서 제1조리개의 광투과영역을 통과하여 조명된 사입사 조명성분의 광강도를 중대시킨다.
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