公开(公告)号：KR1020060037699A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：KR1020040086732

申请日：2004-10-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이재형 ,  조능호 ,  송봉섭

IPC: G02F1/136

CPC classification number: G02F1/136227 ,  G02F1/133553 ,  G02F1/13458 ,  G02F1/136286 ,  G02F2001/136231

Abstract: 어레이 기판의 제조 방법이 개시된다. 기판 상에 스위칭 소자를 형성한다. 스위칭 소자를 보호하는 보호막을 형성한다. 스위칭 소자의 제1 전극에 해당하는 보호막의 상부를 노출시키는 유기막 패턴을 형성한다. 유기막 패턴을 마스크로 하여 보호막을 패터닝하여, 제1 전극의 일부를 노출시키는 콘택홀을 갖는 보호막 패턴을 형성한다. 상술한 어레이 기판의 제조 방법은 유기막 패턴을 마스크로 이용함으로써 마스크 수를 줄여 제조 단가를 절감할 수 있고 제조 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR101724092B1

公开(公告)日：2017-04-07

申请号：KR1020100133855

申请日：2010-12-23

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  서강대학교산학협력단

Inventor： 한상욱 ,  범진욱 ,  최원희 ,  송봉섭 ,  조나연

IPC: H04N5/378 ,  H03M1/12

CPC classification number: H03K4/06 ,  H03M1/08 ,  H03M1/56

Abstract: 이미지센서등에서사용될수 있는 A/D 컨버터와, A/D 컨버터등에서사용되는램프신호발생기가개시된다. 본발명의일 양상에따른램프신호발생기는, 램프신호(Ramp signal)를생성하고, 상기램프신호에들어간잡음(noise)과실질적으로동일한특성의잡음이부가된기준전압신호(reference voltage signal)를생성하는적분기(integrator)를포함할수 있다. 이에의해전원이나회로레이아웃으로인해발생될수 있는잡음의영향을줄일수 있으므로신호대잡음비(SNR)가향상되어보다깨끗한화질의이미지를얻을수 있다.

Abstract translation: 公开了可用于图像传感器等中的A / D转换器以及用于A / D转换器等中的灯信号发生器。 根据本发明的一个方面的斜坡信号发生器产生斜坡信号，并且产生具有与斜坡信号的质量相同质量的噪声的基准电压信号 并可能包含一个生成信号的积分器。 这减少了由电源或电路布局造成的噪声影响，从而提高了信噪比（SNR），从而获得更清晰的图像。

公开(公告)号：KR1020080031089A

公开(公告)日：2008-04-08

申请号：KR1020060097464

申请日：2006-10-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송봉섭 ,  정배현 ,  이재형

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L29/78621 ,  H01L29/42384 ,  H01L29/4908

Abstract: A method for manufacturing a thin film transistor is provided to control conveniently the width of a gate electrode which is being used as a mask for preventing the ion implantation into the active layer, by performing a dry-etching to the gate electrode. A first insulating layer is formed on a substrate(S10). An active layer is formed on the first insulating layer(S20). A second insulating layer is formed at a part of the active layer(S30). A conductive thin film is formed on the second insulating layer, and a gate electrode having a first thickness is formed by etching the conductive thin film(S50). A mask pattern is formed on the gate electrode(S60). A first ion is implanted into the substrate on which the mask pattern is formed(S70). The gate electrode having a narrower second thickness than the first thickness is formed by performing a dry-etching to the gate electrode(S80). The mask pattern is removed(S90). A first impurity region and a second impurity region are formed in the active layer by implanting a second ion into the substrate by using the gate electrode as a mask(S100).

Abstract translation: 提供一种用于制造薄膜晶体管的方法，通过对栅电极进行干法蚀刻，方便地控制用作掩模的栅电极的宽度，以防止离子注入有源层。 在基板上形成第一绝缘层（S10）。 在第一绝缘层上形成有源层（S20）。 在有源层的一部分形成第二绝缘层（S30）。 在第二绝缘层上形成导电薄膜，通过蚀刻导电薄膜形成具有第一厚度的栅电极（S50）。 在栅电极上形成掩模图案（S60）。 将第一离子注入到其上形成有掩模图案的基板中（S70）。 通过对栅电极进行干蚀刻来形成具有比第一厚度窄的第二厚度的栅电极（S80）。 去除掩模图案（S90）。 通过使用栅电极作为掩模将第二离子注入到衬底中，在有源层中形成第一杂质区和第二杂质区（S100）。

公开(公告)号：KR1020060058404A

公开(公告)日：2006-05-30

申请号：KR1020040097436

申请日：2004-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송봉섭

IPC: H05B33/00 ,  H05B33/10

Abstract: 본 발명은 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법에 관한 것이다.
기판 위에 게이트선을 형성하는 단계, 상기 게이트선 위에 게이트 절연막과 반도체층을 형성하는 단계, 도전막을 적층하는 단계, 상기 도전막 위에 감광막을 형성하는 단계, 상기 감광막을 마스크로 하여 상기 도전막과 상기 반도체층을 식각하여 소스 전극, 드레인 전극 및 저항성 접촉 부재를 형성하는 단계, 상기 감광막을 제거하는 단계, 보호막을 적층하는 단계, 상기 보호막을 식각하여 접촉 구멍을 형성하는 단계, 그리고 산소와 염화수소(HCl) 또는 산소와 질소 혼합 기체를 사용하여 애싱 처리하는 단계를 포함한다.
이러한 방식으로, 데이터선과 화소 전극 또는 외부 장치와의 접촉 저항을 낮추어 영상 신호를 제대로 전달할 수 있다.
액정표시장치, 표시판, 애싱, 플라스마, 크롬, 접촉저항

公开(公告)号：KR1020120072073A

公开(公告)日：2012-07-03

申请号：KR1020100133855

申请日：2010-12-23

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  서강대학교산학협력단

Inventor： 한상욱 ,  범진욱 ,  최원희 ,  송봉섭 ,  조나연

IPC: H04N5/378 ,  H03M1/12

CPC classification number: H03K4/06 ,  H03M1/08 ,  H03M1/56

Abstract: PURPOSE: A ramp signal generator, an A/D(Analog/Digital) converter with the same, and an image sensor are provided to reduce influences of noises due to power or a circuit layout. CONSTITUTION: An integrator(210) generates a ramp signal. The integrator generates a reference voltage signal with a noise. The noise has the same feature as a noise added to the ramp signal. The integrator includes first and second devices. The second device processes a signal from a DC voltage source. The second device generates the reference voltage signal.

Abstract translation: 目的：提供斜坡信号发生器，A / D（模拟/数字）转换器和图像传感器，以减少由于电源或电路布局引起的噪声的影响。 构成：积分器（210）产生斜坡信号。 积分器产生具有噪声的参考电压信号。 噪声具有与加到斜坡信号中的噪声相同的特征。 积分器包括第一和第二设备。 第二设备处理来自直流电压源的信号。 第二装置产生参考电压信号。