公开(公告)号：KR1020050088729A

公开(公告)日：2005-09-07

申请号：KR1020040014164

申请日：2004-03-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최민호 ,  김진성 ,  황경환 ,  우재영 ,  이근희 ,  안순덕

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C16/4402 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/4584 ,  C23C16/482

Abstract: 원자막 증착 장치가 개시되어있다. 반도체 기판에 대한 원자막 증착 공정을 수행하기 위한 프로세스 챔버 내부는 반도체 기판을 지지하기 위한 척이 배치되고, 척의 상부에는 샤워 헤드가 배치된다. 샤워 헤드와 오존 발생기 사이에는 오존 가스 공급라인이 개재된다. 이 경우, 오존 가스 공급라인에는 필터링 부재가 내장되어, 오존 발생기로부터 생성된 오존 가스에 포함된 파티클을 필터링한다. 따라서 파티클이 프로세스 챔버에 유입되어 발생되는 반도체 장치의 특성 저하 및 공정 에러를 급격히 줄일 수 있다.

公开(公告)号：KR1020060044051A

公开(公告)日：2006-05-16

申请号：KR1020040091841

申请日：2004-11-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박정태 ,  김진성 ,  한황규 ,  이영구 ,  안순덕 ,  김진석 ,  정광채

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70875

Abstract: 반도체 기판을 정밀하게 가공할 수 있는 반도체 기판 가공 설비는, 제1 공정을 수행하기 위한 제1 장치, 제1 공정의 후속적인 제2 공정을 수행하기 위한 제2 장치, 그리고 제1 장치와 제2 장치 사이에 이송되는 반도체 기판을 소정의 온도로 냉각하기 위하여, 냉각 플레이트, 베스펠로 이루어진 갭 스페이서 및 가이드 핀을 갖는 반도체 기판 냉각 장치를 포함한다. 갭 스페이서를 베스펠로 형성함으로써 갭 스페이서가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 따라서 반도체 기판을 안정적으로 냉각할 수 있을 뿐만 아니라, 정밀하게 가공할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020010055906A

公开(公告)日：2001-07-04

申请号：KR1019990057241

申请日：1999-12-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이영철 ,  이근희 ,  배선화 ,  안순덕

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: A method for improving a power transmission efficiency to a wafer stage is provided to allow an accurate movement of a wafer mounted on the wafer stage and thereby to enhance the quality of a wafer inspection process. CONSTITUTION: A wafer inspection system has a stepping motor(410) generating a turning force to move the wafer stage in a vertical direction, a shaft(420) joined to the stepping motor(410), a coupling(430) coupled to the shaft(420), and a set screw(440) fastened to the coupling(430) and further closely contacted with the shaft(420) to couple up the coupling(430) to the shaft(420). In particular, a contact plane of the set screw(440) to the shaft(420) is shaped like a doughnut to permit a linear contact with the shaft(420) at a point spaced apart from a central axis of the set screw(440). Therefore, the set screw(440) is prevented from sliding across the shaft(420), and thus power transmission efficiency to the wafer stage is improved.

Abstract translation: 目的：提供一种用于提高晶片台的功率传输效率的方法，以允许安装在晶片台上的晶片的精确移动，从而提高晶片检查过程的质量。 构成：晶片检查系统具有产生转动力以在垂直方向上移动晶片台的步进电机（410），与步进电动机（410）接合的轴（420）;联接到轴 （420）和固定螺钉（440），固定螺钉（440）紧固到联接器（430）并且进一步与轴（420）紧密接触以将联接器（430）联接到轴（420）。 特别地，固定螺钉440与轴420的接触平面成形为类似于圆环，以允许在与固定螺钉440的中心轴线间隔开的点处与轴线420直接接触 ）。 因此，能够防止固定螺钉440穿过轴420而滑动，从而提高了对晶片台的动力传递效率。