公开(公告)号：KR1020160112360A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：KR1020150037982

申请日：2015-03-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김성주 ,  허진석 ,  서도현 ,  이다해 ,  이재필 ,  황성조

IPC: H05G2/00 ,  G03F7/20 ,  H01S3/00

CPC classification number: H05G2/006 ,  G21K2201/065 ,  H01S3/2232 ,  H05G2/005 ,  H05G2/008 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/0078

Abstract: 극자외선광 생성장치가제공된다. 상기극자외선광 생성장치는, 소스광과반응하여극자외선광을생성하는드랍릿(droplet)을제공하는드랍릿발생부, 상기드랍릿을수집하는드랍릿수집부, 및상기드랍릿수집부로제공되는상기드랍릿의도달위치를감지하는복수개의압력감지센서를포함하는드랍릿감지부를포함한다.

Abstract translation: 提供一种用于产生极紫外光的装置。 用于产生极紫外光的装置包括与源光反应并提供产生极紫外光的液滴的液滴产生部分，收集液滴的液滴收集部分和包括多个压力检测传感器的液滴检测部分， 检测提供给液滴收集部分的液滴的到达位置。 因此，可以提高液滴和CO2激光器的反应效率。