公开(公告)号：KR102211898B1

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：KR1020140167105

申请日：2014-11-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김성주 ,  김진평 ,  서도현 ,  이재필 ,  이현훈 ,  황성조

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 액체누출감지장치및 방법이제공된다. 상기액체누출감지장치는, 컬렉터미러모듈(collector mirror module), 상기컬렉터미러모듈의일면으로쿨링워터(cooling water)를제공하는쿨링부, 상기쿨링부내로수용성가스를제공하는가스공급부, 및상기쿨링부외부로누출된수용성가스를센싱하는센싱부를포함한다.

公开(公告)号：KR1020160063627A

公开(公告)日：2016-06-07

申请号：KR1020140167105

申请日：2014-11-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김성주 ,  김진평 ,  서도현 ,  이재필 ,  이현훈 ,  황성조

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G01M3/26 ,  G01M3/202 ,  G01M3/3227 ,  G03F7/20 ,  G03F7/2002 ,  H01L21/027

Abstract: 액체누출감지장치및 방법이제공된다. 상기액체누출감지장치는, 컬렉터미러모듈(collector mirror module), 상기컬렉터미러모듈의일면으로쿨링워터(cooling water)를제공하는쿨링부, 상기쿨링부내로수용성가스를제공하는가스공급부, 및상기쿨링부외부로누출된수용성가스를센싱하는센싱부를포함한다.

Abstract translation: 提供了一种液体泄漏检测装置和光刻装置的方法，其可以防止集电镜受到供应到极紫外（EUV）光产生装置的集电镜的冷却水泄漏的污染。 液体泄漏检测装置包括：收集器反射镜模块; 冷却单元，其构造成将冷却水供给到所述集光镜模块的一个表面; 气体供给单元，其构造成将水溶性气体供给到所述冷却单元; 以及感测单元，被配置为感测泄漏到冷却单元的外部的水溶性气体。

公开(公告)号：KR1020160112360A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：KR1020150037982

申请日：2015-03-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김성주 ,  허진석 ,  서도현 ,  이다해 ,  이재필 ,  황성조

IPC: H05G2/00 ,  G03F7/20 ,  H01S3/00

CPC classification number: H05G2/006 ,  G21K2201/065 ,  H01S3/2232 ,  H05G2/005 ,  H05G2/008 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/0078

Abstract: 극자외선광 생성장치가제공된다. 상기극자외선광 생성장치는, 소스광과반응하여극자외선광을생성하는드랍릿(droplet)을제공하는드랍릿발생부, 상기드랍릿을수집하는드랍릿수집부, 및상기드랍릿수집부로제공되는상기드랍릿의도달위치를감지하는복수개의압력감지센서를포함하는드랍릿감지부를포함한다.

Abstract translation: 提供一种用于产生极紫外光的装置。 用于产生极紫外光的装置包括与源光反应并提供产生极紫外光的液滴的液滴产生部分，收集液滴的液滴收集部分和包括多个压力检测传感器的液滴检测部分， 检测提供给液滴收集部分的液滴的到达位置。 因此，可以提高液滴和CO2激光器的反应效率。