公开(公告)号：KR1019970018186A

公开(公告)日：1997-04-30

申请号：KR1019950033255

申请日：1995-09-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박준기 ,  이동희 ,  전재우 ,  정재덕

IPC: H01L21/306

Abstract: 본 발명은 반도체 제조장치에 있어서, 웨이퍼에 형성되는 자연 산화막을 시각하기 위해 웨이퍼를 소정의 이송경로로 이동시키는 컨베어 시스템과, 상기 컨베어 시스템에 의해서 이송되는 웨이퍼에 적정량의 시각액을 분사하여 세정하는 식각액 공급부과, 상기 식각액 공급부에 의해서 시각된 자연 산화막을 제거하도록 중수(Distalled Water)를 분사하는 디 아이(DI) 공급부와, 상기 DI 공급부를 통과해 산화막이 제거된 웨이퍼를 건조시킬 수 있는 일정량의 질소(N
2 ) 가스를 분출하는 질소(N
2 ) 공급부; 및 상기 질소(N
2 ) 공급부에서 건조된 웨이퍼를 순차적으로 탑재하는 저장부로 구성되어, 수동적인 작업부분을 줄이고, 연속 진행할 수 있는 컨베이어 시스템을 도입하여, 프로세서 자체의 많은 요소기술 사이의 세정과정을 원활히 수행함으로써, 전도도 및 결합력을 좋게하여 제품 수율 및 신뢰성을 높일 수 있는 반도체 제조 장치에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1019980021583A

公开(公告)日：1998-06-25

申请号：KR1019960040485

申请日：1996-09-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이창훈 ,  전재우 ,  박승호

IPC: H01L21/22

Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정의 관내 누설점검 장치에 관한 것으로, 반도체 제품이 제조공정을 거치는 시스템계(10)의 관내 누설점검 장치에 있어, 상기 시스템계(10)에 공급관(21)을 연결 설치하되, 상기 공급관(21)의 일측에 설치되어 관내에 압력을 발생하게 하는 압력발생기(22)와, 관내의 유체흐름을 개폐하는 제 1조절밸브(23) 및 제 2조절밸브(24)와, 상기 제 1조절밸브(23) 및 제 2조절밸브(24) 사이에 설치되어 시스템계(10)내에 적정압력을 조절하는 압력조절기(25)와, 상기 압력조절기의 압력조절에 따라 적정압력을 표시하는 압력계(26)를 포함하는 점검부(20)로 설치되어 구성된 것인바, 시스템계에 점검부를 연결 설치하여 적정압력의 변화유무에 따라 시스템계의 관내 누설여부를 용이하게 점검할 수 있어 압력변화에 따른 제품의 제조공정시 발생되는 제� �의 불량방지 및 제품의 생상성을 대폭 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980015052A

公开(公告)日：1998-05-25

申请号：KR1019960034267

申请日：1996-08-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김병태 ,  이동희 ,  박준기 ,  전재우

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 웨이퍼에 공정을 수행하기 위하여 한 운반구에서 다른 운반구로 이송할 때 웨이퍼를 안전하게 이송하기 위한 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 웨이퍼 이송장치의 몸체와, 상기 몸체를 관통하여 설치되고 일단에 모터와 연결되어 상·하 동작하는 동작바와, 상기 동작바의 타단에 연결되고 상·하 동작되어 웨이퍼가 이송되게 하는 푸셔를 갖는 웨이퍼 이송장치에 있어서, 푸셔의 길이 방향의 양단에 소정의 거리를 두고 각각 설치된 스톱퍼와, 푸셔 양단의 스톱퍼를 연결하여 일체되어 왕복운동을 하도록 하는 로드와, 푸셔 양단의 스톱퍼중, 어느 하나의 스톱퍼와 연결되도록 상기 몸체 상에 설치된 피스톤을 포함하여 상기 푸셔 상에 로딩된 보우트 또는 캐리어를 소정의 길이로 이동하게 하는 것을 포함한다. 이와 같은 장치에 의해서, 웨이퍼의 이송시 보우트 또는 캐리어의 정확한 위치를 맞추어 웨이퍼를 이송할 수 있다. 따라서, 웨이퍼의 표면에 발생하는 흠집을 방지하고, 웨이퍼의 파손을 방지하여 웨이퍼 이송장치의 수율을 높일 수 있다.

公开(公告)号：KR2020000018007U

公开(公告)日：2000-10-05

申请号：KR2019990003766

申请日：1999-03-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전재우 ,  우용진 ,  장시영 ,  이상재

IPC: H01L21/68

Abstract: 본고안에의한웨이퍼이송시스템은, 캐리어나보트에로딩또는언로딩될웨이퍼를이송받아보관하는역할을하는크래들부와, 캐리어내의웨이퍼나보트를상기크래들까지올려주거나내려주는역할을하는푸셔부를구비한웨이퍼이송시스템에있어서, 상기크래들부를이루는슬릿이일측면은수직선으로구성되고, 그타측면은임의의한 포인트가절곡되도록구성되어슬릿사이사이에만들어지는요홈부가, 그내부에서각 위치별로서로다른사이즈를가지도록설계된것을특징으로한다. 그결과, 1) 웨이퍼두께별로구분되는웨이퍼이송작업을하나의시스템내에서수행할수 있게되므로과대설치공간이필요없게될 뿐아니라투자비증대와에너지낭비및 작업혼돈에따른사고발생잠재위험을막을수 있게되므로생산성향상과작업효율개선을이룰수 있게되고, 2) 구조적인결함으로인해야기되는웨이퍼손상을막을수 있게된다.

公开(公告)号：KR100240417B1

公开(公告)日：2000-01-15

申请号：KR1019960034267

申请日：1996-08-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김병태 ,  이동희 ,  박준기 ,  전재우

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 웨이퍼에 공정을 수행하기 위하여 한 운반구에서 다른 운반구로 이송할 때 웨이퍼를 안전하게 이송하기 위한 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 웨이퍼 이송장치의 몸체와, 상기 몸체를 관통하여 설치되고 일단에 모터와 연결되어 상·하 동작하는 동작바와, 상기 동작바의 타단에 연결되고 상·하 동작되어 웨이퍼가 이송되게 하는 푸셔를 갖는 웨이퍼 이송장치에 있어서, 푸셔의 길이 방향의 양단에 소정의 거리를 두고 각각 설치된 스톱퍼와, 푸셔 양단의 스톱퍼를 연결하여 일체되어 왕복운동을 하도록 하는 로드와, 푸셔 양단의 스톱퍼중, 어느 하나의 스톱퍼와 연결되도록 상기 몸체 상에 설치된 피스톤을 포함하여 상기 푸셔 상에 로딩된 보우트 또는 캐리어를 소정의 길이로 이동하게 하는 것을 포함한다. 이와 같은 장치에 의해서, 웨이퍼의 이송시 보우트 또는 캐리어의 정확한 위치를 맞추어 웨이퍼를 이송할 수 있다. 따라서, 웨이퍼의 표면에 발생하는 흠집을 방지하고, 웨이퍼의 파손을 방지하여 웨이퍼 이송장치의 수율을 높일 수 있다.

公开(公告)号：KR100169364B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019950054644

申请日：1995-12-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전재우 ,  이동희 ,  박준기 ,  정재덕

IPC: H01L21/22

Abstract: 나선형 형태를 갖는 발열체인 코일(9)과, 가운데가 반원의 홈을 이루면서 2개가 합쳐지는 경우에 상기한 코일이 지지될 수 있는 원형의 공간이 형성됨과 동시에 좌우측이 결합홈이 형성되어 있는 세퍼레이터(11)와, 상기한 세퍼레이터의 둘레를 싸고 있는 내부 슬리브(3)와, 상기한 내부 슬리브의 외주면을 감싸고 있는 외부 슬리브(5)와, 상기한 외부 슬리브를 둘러싸고 있는 외각셀과, 상기한 외각셀과 외부 슬리브와 개스킷과 내부 슬리브를 관통하여 코일에 연결되어 있으며 상기한 코일에 전원을 공급함으로써 코일이 발열되도록 하는 터미널바(2)와, 상기한 터미널바를 지지하면서 터미널바가 외각셀과 전기적으로 단락되는 것을 방지하기 위한 터미널 페이서(1)와, 확산로의 입출구 역할을 하는 소프트 튜브(6)와, 상기한 소프트 튜브를 보호하기 위한 � ��각셀 막음(7)을 포함하여 이루어지며, 세퍼레이터의 구조를 변경함으로써 코일이 쉽게 새깅되지 못하도록 하고, 보온재의 재질 및 구조를 변경함으로써 확산로가 변경되는 것을 방지함과 동시에 단열효과도 높일 수 있는 효과를 가진 세깅현상 방지를 위한 확산로를 제공한다.

公开(公告)号：KR1019970052121A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950054644

申请日：1995-12-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전재우 ,  이동희 ,  박준기 ,  정재덕

IPC: H01L21/22

Abstract: 나선형의 형태를 갖는 발열체인 코일(9)과, 가운데가 반원의 홈을 이루면서 2개가 합쳐지는 경우에 상기한 코일이 지지될 수 있는 원형의 공간이 형성됨과 동시에 좌우측이 결합홈이 형성되어 있는 세퍼레이터(11)와, 상기한 세퍼레이터의 둘레를 싸고 있는 내부 슬리브(3)와, 상기한 내부 슬리브의 외주면을 감싸고 있는 외부 슬리브(5)와, 상기한 외부 슬리브를 둘러싸고 있는 외각셀과, 상기한 외각셀과 외부 슬리브와 개스킷과 내부 슬리브를 관통하여 코일에 연결되어 있으며 상기한 코일에 전원을 공급함으로써 코일이 발열되도록 하는 터미널바(2)와, 상기한 터미널바를 지지하면서 터미널바가 외각셀과 전기적으로 단락되는 것을 방지하기 위한 터미널 페이서(1)와, 확산로의 입출구 역할을 하는 소프트 튜브(6)와, 상기한 소프트 튜브를 보호하기 위 외각셀 막음(7)을 포함하여 이루어지며, 세퍼레이터의 구조를 변경함으로써 코일이 쉽게 새깅되지 못하도록 하고, 보온재의 재질 및 구조를 변경함으로써 확산로가 변경되는 것을 방지함과 동시에 단열효과도 높일 수 있는 효과를 가진 세깅현상 방지를 위한 확산로를 제공한다.

公开(公告)号：KR1019960015763A

公开(公告)日：1996-05-22

申请号：KR1019940025501

申请日：1994-10-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박준기 ,  이동희 ,  전재우

IPC: H01L21/304

公开(公告)号：KR1019970013173A

公开(公告)日：1997-03-29

申请号：KR1019950027215

申请日：1995-08-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김병태 ,  이동희 ,  전재우

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 반도체 제조 공정중 확산(DIFFUSION) 공정에 있어서, 반도체 공정재료인 웨이퍼(WAFER)를 보트(BOAT)와 케리어(CARRIER) 상호간에 로딩(LOADING), 언 로딩(UNLOADING)하기 위하여 제공되는 웨이퍼 트랜스퍼에 관한 것으로 특히, 다량의 웨이퍼를 로딩, 언 로딩하는 척의 구조를 개선하여 웨이퍼의 파손(BROKEN)과 긁힘(SCRATCH) 현상을 방지한 반도체 웨이퍼용 트랜스퍼 척에 관한 것으로 반도체제조의 확산공정에 적용되는 웨이퍼 이송용 트랜스퍼 척에 있어서, 상부 블럭과 피치 가이드를 갖는 중앙 블럭, 하부 가이드를 포함한 하부 블럭이 분리 조합형으로 마련됨과; 상기 조합체의 배면에 위치되어 변형 방지를 위해 감싸질 수 있도록 별도의 변형 방지판이 마련됨을 그 특징으로 하는 것이다.