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公开(公告)号：KR100532200B1
公开(公告)日：2005-11-29
申请号：KR1020030011109
申请日：2003-02-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/6715 , G01N1/02 , G01N1/4044 , G01N35/0099 , G01N2001/028 , G01N2033/0095 , G01N2035/00059 , Y10S134/902
Abstract: 반도체 기판 상에 잔류하는 불순물을 포집하기 위한 장치와 방법에 있어서, 회전척은 반도체 기판을 흡착하고 회전시킨다. 스캐닝 노즐의 하부면에 형성된 제1스캐닝 용액 방울은 반도체 기판의 상부면을 스캔하여 반도체 기판의 상부면으로부터 제1불순물을 포집한다. 구동 유닛에 의해 수직 방향으로 배치된 반도체 기판의 하부 에지 부위는 스캐닝 용기에 수용된 제2스캐닝 용액과 접촉된다. 회전척은 제2스캐닝 용액이 반도체 기판의 에지 부위로부터 제2불순물을 포집하도록 반도체 기판을 회전시킨다.
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公开(公告)号：KR1019960000151B1
公开(公告)日：1996-01-03
申请号：KR1019920020703
申请日：1992-11-05
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 정종철
IPC: H04B7/208
Abstract: The method is for constructing the optimal path with a mobile subscriber terminal by using the service history for the terminal. The method comprises the steps of; (A)registering a station, from which a call request of a subscriber is transmitted, as an optimal station; (B)renewing the optimal station when new call request from the terminal is transmitted from another station and registering the former optimal station as second optimal station; and (C)constructing a loop according to the priority of the optimal stations.
Abstract translation: 该方法是通过使用终端的服务历史来构建与移动用户终端的最佳路径。 该方法包括以下步骤： （A）将发送了用户的呼叫请求的站登记为最佳站; （B）当从另一台站发送来自终端的新呼叫请求时，更新最优站，并将前一最佳站注册为第二最佳站; 和（C）根据最优站的优先级构建循环。
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公开(公告)号：KR1020060042741A
公开(公告)日：2006-05-15
申请号：KR1020040091506
申请日：2004-11-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 공정 챔버의 미반응 가스를 분석하기 위한 가스 반응 분석 장치로상압 공정에서의 샘플 가스를 공급하는 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 샘플 가스 공급 시스템은 샘플 가스에 의해 발생되는 막힘 현상을 방지하기 위한 적정 크기의 서스 재질의 샘플 튜브와, 샘플 튜브 입력단에 하나의 오리피스 및, 가스 반응 분석 장치로 공급되는 샘플 가스의 과다 공급을 제한하기 위해, 샘플링 밸브 단에 구비되어 상압 공정에서 바이패스 라인을 통해 샘플 가스를 배출시키는 바이패스용 펌프를 포함한다. 따라서 본 발명에 의하면, 반도체 제조 설비의 공정 챔버내의 가스 반응을 분석하는 가스 반응 분석 장치를 상압 조건 하에서 안정적인 샘플링이 가능하다.
반도체 제조 설비, 공정 챔버, 샘플 가스, RGA, 샘플 튜브, 바이패스용 펌프-
公开(公告)号：KR1020050009914A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：KR1020030049310
申请日：2003-07-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04L12/28
CPC classification number: H04L29/12009 , H04L29/12018 , H04L29/12839 , H04L61/10 , H04L61/6022
Abstract: PURPOSE: A gateway system and a controlling method thereof are provided to acquire and process the data streams between a network and a target node connected to the network while operating in a state of being synchronized with the IP address of the target node connected with a network and to retransmit the processed data stream to the destination. CONSTITUTION: A gateway system(3) comprises a storage part(33), a control part(31), a MAC address conversion part(37), a router part(41), a filter(43), a filter information table(45), a data processing part(47), the first port(35), and the second port(39). The storage part(33) stores the IP address of a target node(5). The control part(31), when the gateway system(3) is initialized, reads the IP address of the target node(5) stored in the storage part(33), and sets up the IP address of the second port(39) on the basis of the IP address of the target node(5). Then the control part(31) obtains the MAC address of the target node(5) through the second port(39) using an ARP(Address Resolution Protocol). The MAC address conversion part(37) sets up the MAC address of the target node(5) as the MAC address of the first port(35). The router part(41) establishes a data transfer path. In case that the IP address of the target node(5), to which data are transferred, is identical to the IP address of the first port(35), the router part(41) transfers the data to the IP address of the target node(5) without executing local loopback processing. The data processing part(47) intercepts and processes the data streams between a network(1) and the applications of the target node(5) or makes out a new data stream and transmits it.
Abstract translation: 目的：提供网关系统及其控制方法，以在与与网络连接的目标节点的IP地址同步的状态下操作时获取和处理网络与连接到网络的目标节点之间的数据流 并将处理后的数据流重传到目的地。 构成：网关系统（3）包括存储部分（33），控制部分（31），MAC地址转换部分（37），路由器部分（41），过滤器（43），过滤器信息表 45），数据处理部分（47），第一端口（35）和第二端口（39）。 存储部（33）存储目标节点（5）的IP地址。 控制部（31）在初始化网关系统（3）时，读取存储在存储部（33）中的目标节点（5）的IP地址，并设定第二端口（39）的IP地址， 基于目标节点（5）的IP地址。 然后，控制部分31使用ARP（地址解析协议）通过第二端口（39）获得目标节点（5）的MAC地址。 MAC地址转换部（37）将目标节点（5）的MAC地址设定为第一端口（35）的MAC地址。 路由器部分（41）建立数据传输路径。 在传送数据的目标节点（5）的IP地址与第一端口（35）的IP地址相同的情况下，路由器部分（41）将数据传送到目标的IP地址 节点（5），而不执行本地环回处理。 数据处理部分（47）拦截并处理网络（1）和目标节点（5）的应用之间的数据流，或者产生一个新的数据流并发送它。
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公开(公告)号：KR1019930007154A
公开(公告)日：1993-04-22
申请号：KR1019910016419
申请日：1991-09-19
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 정종철
IPC: H04M3/22
Abstract: 교환 시스템에서 가입자회로 및 트렁크회로의 동작을 제어하는 가입자 제어부로 부터 출력되는 메세지를 수신하여, 메인제어부가 교환 시스템의 카드 상태 판정 및 갱신을 수행한다. 이를 위하여, 먼저 시스템 초기화시 가입자 제어부로 부터 전체 카드의 존재 유무 및 카드 형태 메세지를 수신하여 저장한후, 순차적으로 해당 카드들을 일치하는 메인의 포트 형태와 비교하면서 메인의 포트 형태를 갱신한다. 두번째로 가입자 제어부로 부터 카드 터미네이트 메세지 수신시 해당카드에 대해 호 블럭킹 되도록 마킹한다. 세번째로 가입자 제어부로 부터 카드 인서트메세지 수신시 해당카드의 마킹을 클러어 시켜 호블럭 상태에서 해제한다. 네번째로 가입자 제어부로부터 카드 변경 메세지 수신시 매칭되는 메인의 해당 포트 형태를 갱신한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100156824B1
公开(公告)日：1998-12-01
申请号：KR1019950043923
申请日：1995-11-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 반도체소자를 제조하는 클린룸의 구조에 관한 것으로 특히 국부적인 영역의 청정을 위한 반도체소자 제조용 클린 부스의 구조에 관한 것이다.
종래의 크린부스는 천정에 설치된 필터상부의 틈새에서의 기류의 불안정과 파티클의 리크로 인한 오염으로 공정에 치명적인 영향을 주게 되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로, 크린부스의 천정에 설치되는 필터와 필터 사이의 유격 사이로 흐르는 기류를 안정화시키기 위하여 필터의 측면에 무정전 아크릴판을 부착하거나, 하단부에 이온화 장치를 설치하여 안정된 기류의 흐름을 유도함으로써 부스내 오염을 막아 공정결함을 예방하도록 한 것이다.-
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公开(公告)号：KR1020140093511A
公开(公告)日：2014-07-28
申请号：KR1020130006003
申请日：2013-01-18
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01N1/22 , G01N33/0009 , G01N33/0011 , Y10T137/87619 , Y10T436/25875
Abstract: Provided are an apparatus and a method for supplying a sample gas. The apparatus for supplying a sample gas includes: a gas introduction unit; a first pressure gauge for measuring the pressure of the sample gas introduced through the gas introduction unit; a plurality of flow lines located between the gas introduction unit and a gas analysis unit to be opened and closed according to the pressure measured by the first pressure gauge; a plurality of control valves formed in the plurality of flow lines, respectively, to control opening/closing of the flow lines; a bypass line formed in at least one of the flow lines to discharge some of the sample gas flowing along the flow line; and a control unit for controlling the control value formed in the selected flow line by selecting one of the flow lines according to the pressure measured by the first pressure gauge.
Abstract translation: 提供了一种供应样品气体的装置和方法。 供给样品气体的装置包括：气体导入单元; 用于测量通过气体导入单元引入的样品气体的压力的第一压力计; 位于气体引入单元和气体分析单元之间的多条流线根据由第一压力表测量的压力而打开和关闭; 多个控制阀分别形成在多条流水线中，以控制流水线的打开/关闭; 在至少一个所述流动管线中形成的旁通管线，以排出沿着所述流动管线流动的一些样品气体; 以及控制单元，用于通过根据由第一压力计测量的压力选择一条流路来控制在所选择的流动管线中形成的控制值。
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公开(公告)号：KR1020020058232A
公开(公告)日：2002-07-12
申请号：KR1020000086271
申请日：2000-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N11/02
Abstract: PURPOSE: An automatic fluid analysis system is provided to monitor fluid on a plurality of points with the single analysis system. CONSTITUTION: A system includes a valve(300) connected to a plurality of analysis points on a tube or a plurality of tubes(111,211) and selectively discharging fluid to one of passages; an analyzer(303) analyzing fluid discharged from the valve to output; a sensor(308) detecting fluid analyzed by the analyzer; a display(311) displaying information output by the analyzer to a user; and a controller(309) generating a first control signal to select one of the analyzing points or the tubes connected with the valve and a second control signal to select another analyzing point or tube after completion of fluid analysis of the selected analyzing point or tube.
Abstract translation: 目的：提供一种自动流体分析系统，用于使用单个分析系统监测多个点上的流体。 构成：系统包括连接到管或多个管（111,211）上的多个分析点的阀（300），并选择性地将流体排放到通道之一; 分析器（303），分析从所述阀排出的流体输出; 检测由分析器分析的流体的传感器（308） 将由分析仪输出的信息显示给用户的显示器（311） 以及控制器（309），其生成第一控制信号以选择所述分析点中的一个或与所述阀连接的管和第二控制信号，以在完成所选分析点或管的流体分析之后选择另一分析点。
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