PEOX공정을 진행하는 반도체 제조설비의 리모트 플라즈마를 이용한 세정방법
    3.
    发明授权
    PEOX공정을 진행하는 반도체 제조설비의 리모트 플라즈마를 이용한 세정방법 有权
    用于加工PEOX工艺的半导体制造装置和用于清洁的方法使用远程等离子体半导体制造装置

    公开(公告)号:KR100819096B1

    公开(公告)日:2008-04-02

    申请号:KR1020060114902

    申请日:2006-11-21

    CPC classification number: C23C16/4405 Y10S134/902 Y10S438/905 Y10S438/909

    Abstract: A method for cleaning semiconductor manufacturing equipment using a remote plasma in a PEOX process is provided to prevent particles from being generated on a wafer by cleaning a process chamber so that an N2 gas does not remain in the process chamber. After a PEOX(Plasma Enhanced Oxide) process is completed, a SiH4 outlet line is opened to supply an N2 gas, thereby purging a process chamber(10). A remote plasma generator(36) supplies an NF3 gas during a predetermined time to generate a plasma. The SiH4 supply line is opened, and the N2 gas is supplied to the process chamber. The remote plasma generator supplies an Ar gas to the process chamber to generate the plasma. After the NF3 gas is removed from the process chamber and the process chamber, a second air valve(24) and a third air valve(26) are alternatively opened/closed to supply the N2 gas, with a first air valve(18) being opened.

    Abstract translation: 提供了一种在PEOX工艺中使用远程等离子体清洗半导体制造设备的方法,以通过清洁处理室来防止在晶片上产生颗粒,使得N2气体不会残留在处理室中。 在完成PEOX(等离子体增强氧化物)处理之后,打开SiH4出口管线以提供N 2气体,从而净化处理室(10)。 远程等离子体发生器(36)在预定时间内提供NF 3气体以产生等离子体。 打开SiH4供应线,向处理室供给N 2气。 远程等离子体发生器向处理室提供Ar气体以产生等离子体。 在从处理室和处理室中除去NF 3气体之后,第二空气阀(24)和第三空气阀(26)被交替地打开/关闭以供应N 2气体,第一空气阀(18)是 打开。

    프록시 서버 관리 방법 및 시스템
    4.
    发明公开
    프록시 서버 관리 방법 및 시스템 审中-实审
    管理代理服务器的方法和系统

    公开(公告)号:KR1020160120054A

    公开(公告)日:2016-10-17

    申请号:KR1020150049068

    申请日:2015-04-07

    Inventor: 정학수 이정균

    Abstract: 일실시예에따른프록시서버관리방법에있어서, 복수의가상서버(virtual server)들을포함하는서버풀(server pool)에서적어도하나의가상서버를선택하는단계; 클라이언트에게서비스를제공하기위한서비스서버와상기선택된적어도하나의가상서버를결합하는단계; 및상기결합된적어도하나의가상서버를프록시서버로이용하여상기서비스를클라이언트에게제공하는단계를포함한다.

    작업 그룹을 이용하는 윈도우 표시 방법 및 장치
    5.
    发明公开
    작업 그룹을 이용하는 윈도우 표시 방법 및 장치 审中-实审
    使用工作组显示窗口的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020160016505A

    公开(公告)日:2016-02-15

    申请号:KR1020140180502

    申请日:2014-12-15

    Abstract: 일실시예에따른디바이스는사용자에의해선택된복수의작업을포함하는작업그룹을저장하는저장부, 상기작업그룹에포함된적어도하나의작업에대응되는윈도우를표시하는출력부및 상기표시된윈도우내에상기작업그룹에포함된다른작업을나타내는적어도하나의객체를함께표시하도록출력부를제어하는제어부를포함할수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种使用工作组显示窗口的方法和装置。 根据实施例,设备可以包括:存储单元,用于存储包括由用户选择的多个作业的工作组; 用于显示与包括在所述工作组中的至少一个任务相对应的窗口的输出单元; 以及控制单元,用于控制所述输出单元以在所显示的窗口内显示表示包括在所述工作组中的另一任务的至少一个对象。 本发明的目的是使得用户能够容易地识别包括在分类工作组中的窗口,并且更方便地执行包括在工作组中的窗口之间的屏幕改变。

    반도체 제조설비 및 그의 관리방법
    6.
    发明公开
    반도체 제조설비 및 그의 관리방법 无效
    用于蚀刻半导体器件的设备及其管理方法

    公开(公告)号:KR1020080078344A

    公开(公告)日:2008-08-27

    申请号:KR1020070018319

    申请日:2007-02-23

    CPC classification number: C23C16/45574 C23C16/4405

    Abstract: Semiconductor manufacturing equipment and a management method thereof are provided to prevent a wafer from being polluted by cleaning a lift pin with cleaning gas. A management method of semiconductor manufacturing equipment includes the steps of: removing a wafer, which is subjected to a semiconductor manufacturing process, from a process chamber(110); if the number of the wafers subjected to the semiconductor manufacturing process reaches to the predetermined number or the semiconductor manufacturing process takes a predetermined time, supplying second reaction gas in the process chamber to clean an inner wall of the process chamber; and lifting a lift pin(116) out of the top of the heater blocks(114) installed at the bottom of the process chamber to expose the lift pin to the second reaction gas.

    Abstract translation: 提供半导体制造设备及其管理方法,以通过用清洁气体清洁提升销来防止晶片被污染。 半导体制造设备的管理方法包括以下步骤:从处理室(110)去除经受半导体制造工艺的晶片; 如果经过半导体制造工艺的晶片的数量达到预定数量或半导体制造过程需要预定时间,则在处理室中提供第二反应气体以清洁处理室的内壁; 以及将提升销(116)从设置在处理室底部的加热器块(114)的顶部提起以将提升销暴露于第二反应气体。

    빔 회절 장치 및 빔의 회절 각도 선택 방법
    7.
    发明公开
    빔 회절 장치 및 빔의 회절 각도 선택 방법 无效
    光束衍射装置和选择光束衍射角的方法

    公开(公告)号:KR1020070007625A

    公开(公告)日:2007-01-16

    申请号:KR1020050062363

    申请日:2005-07-11

    Inventor: 정학수

    CPC classification number: G03F7/70158 G02B27/0037

    Abstract: A beam diffraction apparatus and a method for selecting a diffraction angle of a beam are provided to easily control the diffraction angle of the beam by using plural optical panels being vertically stacked and rotating each optical panel around the center. A plurality of optical panels(110,120,130,140,150) are vertically stacked. Each of the optical panels includes a multiplicity of a DOEs(Diffractive optical Elements). The respective DOEs have different diffraction angles. The optical panels are independently rotated around the center. The optical panels allow a diffraction angle of a beam to be controlled easily.

    Abstract translation: 提供了一种用于选择光束的衍射角的光束衍射装置和方法,通过使用垂直堆叠的多个光学板并围绕中心旋转每个光学板来容易地控制光束的衍射角。 多个光学面板(110,120,130,140,​​150)被垂直堆叠。 每个光学面板包括多个DOE(衍射光学元件)。 各自的DOE具有不同的衍射角。 光学面板独立地围绕中心旋转。 光学面板允许光束的衍射角容易控制。

    웨이퍼 척을 레이저 빔으로 세정하는 장치 및 방법
    10.
    发明公开
    웨이퍼 척을 레이저 빔으로 세정하는 장치 및 방법 无效
    用激光束清洁水晶灯的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020060063130A

    公开(公告)日:2006-06-12

    申请号:KR1020040102218

    申请日:2004-12-07

    Inventor: 정학수

    Abstract: 웨이퍼 척을 레이저 빔으로 세정하는 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명에 따르면, 노광을 위한 광원을 웨이퍼 상에 제공하는 렌즈부, 렌즈부 아래로 웨이퍼를 도입하되 웨이퍼의 레벨링을 측정하는 측정부 및 노광이 수행되는 노광부를 포함하는 웨이퍼 스테이지, 웨이퍼 스테이지 상에 올려져 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 척, 및 웨이퍼 척 상에 존재할 파티클에 레이저 빔을 조사하여 제거할 레이저 빔 조사부를 포함하는 노광 설비를 제시한다.
    노광, 웨이퍼 스테이지, 레이저 빔, 디포커스, 파티클

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