公开(公告)号：KR100583726B1

公开(公告)日：2006-05-25

申请号：KR1020030079859

申请日：2003-11-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김혁기 ,  이건형 ,  이옥선 ,  김기두 ,  조창민

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 상기 장치는 FOUP이 놓여지는 스테이지와 FOUP 도어를 개폐하는 도어 오프너를 가진다. 도어 오프너는 FOUP 도어와 결합되어 FOUP 도어를 FOUP으로부터 분리하는 도어 홀더를 가지며, 도어 홀더에는 FOUP 도어에 형성된 유입홀을 통해 FOUP 내로 질소가스를 분사하는 분사구와 FOUP 내의 공기가 배기되는 배기구가 형성된다.
FOUP, 도어 오프너, 도어 홀더, 분사구, 불활성 가스, 배기구, 로드포트

Abstract translation: 基板处理装置技术领域本发明涉及一种基板处理装置，其具有载置FOUP的载台和用于开闭FOUP门的开门器。 门开启器与FOUP门接合具有用于从FOUP分离FOUP门的门架，所述门架已经通过形成在FOUP门入口孔形成的排出口是在喷射口的空气和FOUP用于注入氮气到FOUP排气 。

公开(公告)号：KR1020070020898A

公开(公告)日：2007-02-22

申请号：KR1020050075263

申请日：2005-08-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김하나 ,  함동석 ,  안요한 ,  최광민 ,  조창민

IPC: B01D47/02 ,  B01D47/00

CPC classification number: B01D47/14 ,  B01D53/18

Abstract: 본 발명은 공기로부터 오염물질을 제거하는 오염 제어 시스템을 제공한다.
오염 제어 시스템은 기액 접촉에 의해 공기 중의 분자상 오염물질들을 포집하고 이를 아래 방향으로 배출하는 제거기와 제거기가 적셔진 상태로 유지되도록 제거기로 탈이온수를 공급하는 액체 공급기를 가진다. 제거기는 그 측방향으로 공기가 유입되도록 배치되고, 액체 공급기는 제거기의 상부에서 탈이온수를 제거기로 공급하도록 배치된다.
오염 제어 시스템, 분자상 오염 물질, 기액 접촉, 제거기, 액체 공급기

公开(公告)号：KR1020060002232A

公开(公告)日：2006-01-09

申请号：KR1020040051177

申请日：2004-07-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 황정성 ,  조창민 ,  양재현 ,  전상문 ,  김재봉

IPC: H01L21/02

CPC classification number: F24F13/068 ,  F24F3/161

Abstract: 본 발명은 본 발명은 청정실 환경에서 사용되는 바닥과 같은 그레이팅(Grating) 패널과, 이 그것을 사용하는 청정실 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 그레이팅(Grating) 패널은 복수개의 천공구멍들을 갖는 베이스판을 포함하되, 천공구멍은 공기가 유입되는 유입부와, 공기가 유출되는 유출부를 갖으며, 상기 유입부는 상기 유출부에 가까울수록 그 단면적이 감소되며, 상기 유출부는 상기 유입부로부터 멀어질수록 그 단면적이 증가된다.

Abstract translation: 本发明涉及在洁净室环境中使用的诸如地板之类的格栅板和使用该格栅板的洁净室系统。 本发明的格栅板包括具有多个穿孔的基板，穿孔具有空气流过的入口部分和空气流过的出口部分，入口部分越靠近出口部分 截面面积减小，并且流出部分的横截面积随着与流入部分的距离增加而增加。

公开(公告)号：KR2020000020939U

公开(公告)日：2000-12-15

申请号：KR2019990008420

申请日：1999-05-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조창민 ,  김혁기 ,  이건형 ,  이옥선

IPC: A43B7/36

CPC classification number: A43B7/36 ,  A43B13/10

Abstract: 본고안은청정실용방진화를개시한다. 이에의하면, 가피와몸판을도전성방진원단으로 2중봉제처리하고가피의내부면에카본사가벌집모양의형태를가지면서혼합된방진원단을배치하고, 깔창에카본사가벌집모양의형태를갖는방진원단을덮고, 밑창내에고 저항체와도전성유연판재를내재한다. 따라서, 몸판에서의정전기가 2중봉제처리된도전성방진원단에의해신속하게제거되고, 가피와몸판의이음매에서파티클의발진이나통과가어려워인체에서발생되는파티클의효과적인차단이가능하고, 가피와몸판의결합이견고하여제품수명의연장에따른원가절감이가능하고, 깔창과밑창의원활한정전기제거가가능하고, 방전된정전기의역류가방지된다.

公开(公告)号：KR1020070081043A

公开(公告)日：2007-08-14

申请号：KR1020060012752

申请日：2006-02-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최광민 ,  이건형 ,  조창민 ,  김하나 ,  윤소영 ,  오용운 ,  조귀영 ,  정홍희

IPC: H01L21/02

Abstract: A filter test apparatus and a method are provided to test the replacement cycle of a filter by supplying selectively a variety of gases using a gas supply unit with a plurality of gas lines. A filter test apparatus includes a housing, a filter support unit, a gas supply unit and a measurement unit. The housing(10) has an inlet and an outlet. The filter support unit is installed at a portion between the inlet and outlet of the housing. The filter support unit is used for loading a filter capable of filtering particles off a predetermined gas supplied through the inlet. The gas supply unit(30) is connected to the inlet in order to supply a variety of gases to the inlet. The measurement unit is used for measuring the concentration of the gases supplied through the filter. The gas supply unit includes a plurality of gas lines(32a to 32d).

Abstract translation: 提供了一种过滤器测试装置和方法，用于通过使用具有多个气体管线的气体供应单元选择性地供应各种气体来测试过滤器的更换周期。 过滤器测试装置包括壳体，过滤器支撑单元，气体供应单元和测量单元。 壳体（10）具有入口和出口。 过滤器支撑单元安装在壳体的入口和出口之间的部分。 过滤器支撑单元用于装载能够从通过入口供给的预定气体上的颗粒过滤的过滤器。 气体供应单元（30）连接到入口以便向入口提供各种气体。 测量单元用于测量通过过滤器供应气体的浓度。 气体供给单元包括多条气体管线（32a〜32d）。

公开(公告)号：KR100634391B1

公开(公告)日：2006-10-16

申请号：KR1020040060812

申请日：2004-08-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조창민 ,  황정성 ,  함동석 ,  김하나

IPC: B01D39/14 ,  B01D39/00

CPC classification number: B01D39/083 ,  B01D39/086 ,  B01D39/12 ,  B01D2239/0407 ,  B01D2239/0478 ,  B01D2239/083 ,  B01J20/3223 ,  Y10T156/10

Abstract: 여과 구조체를 제조하는 방법 및 이를 제작하기 위한 시스템을 제공한다. 이 방법은 망상 무늬를 갖는 여과망을 준비하여, 상기 여과망에 접착제를 분사 방식으로 균일하게 도포한 후, 상기 접착제가 도포된 여과망에 정화 물질들을 부착시키는 단계를 포함한다. 이때, 상기 접착제는 상기 망상 무늬의 간격보다 작은 크기를 갖도록 분사된다. 이 시스템은 여과망, 상기 여과망을 이송시키는 여과망 이송 장치 및 상기 여과망에 접착액을 분사 방식으로 도포하는 접착제 분사 장치를 구비한다.

公开(公告)号：KR1020060012092A

公开(公告)日：2006-02-07

申请号：KR1020040060812

申请日：2004-08-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조창민 ,  황정성 ,  함동석 ,  김하나

IPC: B01D39/14 ,  B01D39/00

CPC classification number: B01D39/083 ,  B01D39/086 ,  B01D39/12 ,  B01D2239/0407 ,  B01D2239/0478 ,  B01D2239/083 ,  B01J20/3223 ,  Y10T156/10

Abstract: 여과 구조체를 제조하는 방법 및 이를 제작하기 위한 시스템을 제공한다. 이 방법은 망상 무늬를 갖는 여과망을 준비하여, 상기 여과망에 접착제를 분사 방식으로 균일하게 도포한 후, 상기 접착제가 도포된 여과망에 정화 물질들을 부착시키는 단계를 포함한다. 이때, 상기 접착제는 상기 망상 무늬의 간격보다 작은 크기를 갖도록 분사된다. 이 시스템은 여과망, 상기 여과망을 이송시키는 여과망 이송 장치 및 상기 여과망에 접착액을 분사 방식으로 도포하는 접착제 분사 장치를 구비한다.

公开(公告)号：KR1020050045695A

公开(公告)日：2005-05-17

申请号：KR1020030079859

申请日：2003-11-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김혁기 ,  이건형 ,  이옥선 ,  김기두 ,  조창민

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 상기 장치는 FOUP이 놓여지는 스테이지와 FOUP 도어를 개폐하는 도어 오프너를 가진다. 도어 오프너는 FOUP 도어와 결합되어 FOUP 도어를 FOUP으로부터 분리하는 도어 홀더를 가지며, 도어 홀더에는 FOUP 도어에 형성된 유입홀을 통해 FOUP 내로 질소가스를 분사하는 분사구와 FOUP 내의 공기가 배기되는 배기구가 형성된다.

公开(公告)号：KR1020040108030A

公开(公告)日：2004-12-23

申请号：KR1020030038768

申请日：2003-06-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김기두 ,  김혁기 ,  조창민 ,  이옥선

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: An apparatus for storing a semiconductor substrate is provided to hold exactly and securely a side of the substrate by using an elastic member made of a urethane foam. CONSTITUTION: An apparatus includes a housing and a cover. The housing(130) includes an opening at its upper portion and a plurality of slots(131) for storing vertically semiconductor substrates(100). The cover(110) is connected with the upper portion of the housing. The cover includes an elastic member(120) for pressurizing a side of each substrate. The elastic member is replaceable and contains a urethane foam.

Abstract translation: 目的：提供一种用于存储半导体衬底的装置，通过使用由聚氨酯泡沫制成的弹性构件来准确且牢固地保持衬底的侧面。 构成：装置包括壳体和盖子。 壳体（130）在其上部包括开口，以及用于存储垂直半导体衬底（100）的多个槽（131）。 盖（110）与壳体的上部连接。 盖包括用于对每个基板的一侧加压的弹性构件（120）。 弹性构件是可替换的并且包含聚氨酯泡沫。

公开(公告)号：KR1020040100028A

公开(公告)日：2004-12-02

申请号：KR1020030032225

申请日：2003-05-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이옥선 ,  김혁기 ,  조창민 ,  김기두

IPC: A41D19/015

Abstract: PURPOSE: A vinyl glove for preventing pollution is provided to enhance a workability of a worker working in a clean room for a semiconductor manufacturing process by being adhered closely to fingers of the worker. CONSTITUTION: The vinyl glove for preventing a pollution(130) comprises a five finger part(100); a palm part(110); a wrist part(120); and a rubber coated part(140). The rubber coated part(140) is formed by coating an inner side of the finger part with a rubber, and so enhances a frictional force between the vinyl glove and worker's finger and prevents the finger part from being injured. A rubber of the rubber coated part includes a natural rubber or a synthetic rubber.

Abstract translation: 目的：提供用于防止污染的乙烯基手套，以通过紧密地粘附在工人的手指上来提高在洁净室中工作的半导体制造工艺中的工人的可操作性。 构成：用于防止污染的乙烯基手套（130）包括五指部分（100）; 一个手掌部分（110）; 腕部（120）; 和橡胶涂覆部分（140）。 橡胶涂覆部件（140）通过用橡胶涂覆手指部分的内侧而形成，从而增强了乙烯基手套与工人的手指之间的摩擦力，并且防止了手指部件受伤。 橡胶涂覆部分的橡胶包括天然橡胶或合成橡胶。