公开(公告)号：KR1020150084312A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：KR1020140004205

申请日：2014-01-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김태규 ,  정태오 ,  조형철 ,  한민수

IPC: H01L23/544 ,  H01L33/48

CPC classification number: H01L33/50 ,  H01L24/97 ,  H01L27/15 ,  H01L33/24 ,  H01L33/36 ,  H01L33/44 ,  H01L33/48 ,  H01L33/502 ,  H01L33/504 ,  H01L33/507 ,  H01L33/60 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2933/0033 ,  H01L2933/0041 ,  H01L2933/0058 ,  H01L2924/00

Abstract: 본발명의일 실시예는, 제1 및제2 전극이배치된제1 면과상기제1 면에반대되는제2 면을갖는반도체발광다이오드칩과, 상기반도체발광다이오드칩의제2 면에배치된보호막부와, 상기보호막부에제공되며, 상기반도체발광다이오드칩의특정방향을나타내도록구성된마크를포함하는반도체발광소자를제공할수 있다.

Abstract translation: 根据本发明的实施例，提供了一种半导体发光器件，包括：半导体发光二极管芯片，其具有布置有第一和第二电极的第一表面和与第一表面相对的第二表面; 设置在半导体发光二极管芯片的第二表面上的保护膜单元; 以及设置在保护膜单元上的标记，并示出半导体发光二极管芯片的特定方向。

公开(公告)号：KR1020120038207A

公开(公告)日：2012-04-23

申请号：KR1020100099840

申请日：2010-10-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 홍종파 ,  조형철 ,  박희석 ,  손중곤

IPC: F21S8/10 ,  F21Y101/02 ,  F21W101/10

CPC classification number: F21S45/43 ,  F21S41/147 ,  F21S45/33 ,  F21W2102/00 ,  F21Y2101/00

Abstract: PURPOSE: A head lamp assembly and a vehicle including the same are provided to improve a heat radiation performance by sending air to opposite direction by using a ventilation fan installed in two head lamp cases. CONSTITUTION: A head lamp assembly(10) is installed to right and left sides of an engine room installed at the front of a vehicle. The head lamp assembly comprises housing(11), a transparent window(12) transmitting light in one side of the housing, and a sealed internal space part(13). The transparent window is installed in order to face the front side of the vehicle. First and second head lamp cases(20, 30) are installed in the sealed internal space part side by side. A first ventilation fan(21) is installed in the inner side of the first head lamp case. A second ventilation fan(31) is installed in the inner side of the second head lamp case.

Abstract translation: 目的：提供一种头灯组件和包括该前灯组件的车辆，以通过使用安装在两个前灯箱中的通风扇将空气发送到相反方向来改善散热性能。 构成：头灯组件（10）安装在安装在车辆前方的发动机室的左右两侧。 头灯组件包括壳体（11），在壳体的一侧透射光的透明窗口（12）和密封的内部空间部分（13）。 安装透明窗口以面对车辆的前侧。 第一和第二头灯壳体（20,30）并排安装在密封的内部空间部分中。 第一通风扇（21）安装在第一头灯壳体的内侧。 第二通风扇（31）安装在第二头灯壳体的内侧。

公开(公告)号：KR1020040110173A

公开(公告)日：2004-12-31

申请号：KR1020030039365

申请日：2003-06-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전상진 ,  최진혁 ,  한상철 ,  김명운 ,  조형철

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/321

Abstract: PURPOSE: An ICP(Inductively Coupled Plasma) antenna and a plasma generating apparatus using the same are provided to generate a uniform high-density plasma and to reduce an internal inductance of the antenna segment. CONSTITUTION: An ICP antenna includes an internal antenna segment(21) and at least one external antenna segment(25). The internal antenna segment has a ring shape. The external antenna segment is implemented substantially at a concentric circle outside the internal antenna segment and is connected in series to the internal antenna segment. At least one of the internal and external antenna segments includes a plurality of circular coils(22,26,27), each of which has a radius different from those of the others. The circular coils are connected in parallel.

Abstract translation: 目的：提供ICP（电感耦合等离子体）天线和使用其的等离子体发生装置以产生均匀的高密度等离子体并降低天线部分的内部电感。 构成：ICP天线包括内部天线段（21）和至少一个外部天线段（25）。 内部天线段具有环形。 外部天线段基本上在内部天线段外部的同心圆处实现，并且与内部天线段串联连接。 内部天线部分和外部天线部分中的至少一个包括多个圆形线圈（22,26,27），每个圆形线圈的半径与其他的不同。 圆形线圈并联连接。

公开(公告)号：KR1020120041427A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：KR1020100102874

申请日：2010-10-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 손길수 ,  김수홍 ,  김명운 ,  조형철 ,  최성철

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32917 ,  H01J37/32926 ,  H01J37/3299

Abstract: PURPOSE: A plasma diagnostic apparatus and a control method thereof are provided to measure minute plasma changes of without changing the inside structure of a chamber by diagnosing the state of the plasma by using a signal flowing in an electrode which floats within the chamber. CONSTITUTION: A top electrode(12) which is provided on the inner side of a chamber part(10) is composed of a conductive material. A radio frequency generator generates plasma in inside the chamber part by applying radio frequency power to a bottom electrode(11). A frequency signal flows to a direct current generator through the top electrode. A low pass filter(20) is installed between the top electrode and the direct current generator. A current sensor senses the current in the frequency signal flowing from the top electrode to the direct current generator.

Abstract translation: 目的：提供一种等离子体诊断装置及其控制方法，用于通过使用在室内漂浮的电极中流动的信号来诊断等离子体的状态而不改变室的内部结构来测量微小的等离子体变化。 构成：设置在室部（10）的内侧的顶部电极（12）由导电材料构成。 无线电频率发生器通过向底部电极（11）施加射频功率来在室部分内部产生等离子体。 频率信号通过顶部电极流到直流发电机。 在顶部电极和直流发电机之间安装有低通滤波器（20）。 电流传感器感测从顶部电极流向直流发电机的频率信号中的电流。

公开(公告)号：KR100808862B1

公开(公告)日：2008-03-03

申请号：KR1020060069332

申请日：2006-07-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전상진 ,  정진욱 ,  이근석 ,  사승엽 ,  조형철

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C23C16/507 ,  H01J37/321 ,  H05H1/46

Abstract: 본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 특히 본 발명은 저주파 안테나시스템 및 고주파 안테나시스템을 구비하여 다양한 압력조건에서도 플라즈마 점화에 유리한 고주파 전원을 이용하는 고주파 안테나시스템을 통해 플라즈마 점화가 효과적으로 이루어지도록 함과 함께 투자율이 높은 페라이트 코어를 갖는 저주파 안테나시스템을 통해 저주파안테나와 플라즈마 사이의 유도 결합효율을 향상시켜 플라즈마 발생효율을 향상시킨다.
이를 위해 본 발명은 처리대상기판이 위치하며 플라즈마가 발생되는 반응공간을 갖는 진공챔버와, 반응공간 외부에 마련되고 반응공간에 플라즈마를 발생시키는 저주파안테나부와, 이 저주파안테나부에 저주파 전원을 인가하는 저주파전원장치와, 반응공간 외부에 마련되고 반응공간에 플라즈마를 발생시키는 고주파안테나부와, 이 고주파안테나부에 고주파 전원을 인가하는 고주파전원장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100513163B1

公开(公告)日：2005-09-08

申请号：KR1020030039365

申请日：2003-06-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전상진 ,  최진혁 ,  한상철 ,  김명운 ,  조형철

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/321

Abstract: 본 발명은 ICP 안테나 및 이를 사용하는 플라즈마 발생장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 플라즈마 발생장치에 사용되는 ICP 안테나는, 고리 형상을 갖는 내측안테나 세그먼트와; 상기 내측안테나 세그먼트의 외측의 대략 동심원상에 배치되며, 상기 내측안테나 세그먼트와 직렬로 연결되는 적어도 하나의 외측안테나 세그먼트를 포함하며, 상기 내측안테나 세그먼트 및 상기 외측안테나 세그먼트 중 적어도 어느 하나는 상호 상이한 반경을 가지며 상호 병렬로 연결된 복수의 환형코일을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 균일성이 향상된 고밀도 플라즈마를 생성하고, 안테나 내부에 인덕턴스를 감소시키는 등 안정적인 플라즈마를 생성할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020150098019A

公开(公告)日：2015-08-27

申请号：KR1020140019029

申请日：2014-02-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조형철 ,  김태규 ,  정태오 ,  한민수

IPC: F21S2/00

CPC classification number: H01L25/0753 ,  F21K9/233 ,  F21Y2103/10 ,  F21Y2115/10 ,  H01L33/24 ,  H01L33/382 ,  H01L33/54 ,  H01L2224/14 ,  H01L2933/0016 ,  Y10T29/49144 ,  Y10T29/49146

Abstract: 본 발명의 일 실시 형태에 따른 광원 모듈의 제조방법은, 회로 배선이 구비된 기판 및 상기 기판과 접하는 바닥면에 수용홈이 형성된 렌즈를 준비하는 단계; 상기 렌즈의 수용홈의 바닥면에 완충 필름을 부착하는 단계; 상기 회로 배선과 전기적으로 접속하도록 상기 기판의 일면 상에 복수의 발광소자를 실장 및 배열하는 단계; 상기 완충 필름이 상기 복수의 발광소자와 마주한 상태에서 상기 복수의 발광소자가 상기 수용홈 내에 수용되도록 상기 렌즈를 상기 기판 상에 실장하는 단계; 및 상기 완충 필름이 상기 복수의 발광소자 상면과 상기 수용홈 내면에 각각 밀착되도록 열 압착을 통해 상기 렌즈를 상기 기판상에 부착하는 단계를 포함할 수 있다.

Abstract translation: 根据本发明的实施例的制造光源模块的方法包括制备具有电路线的基板和具有形成在接触基板的底面上的接收槽的透镜的步骤; 将缓冲膜附着到透镜的接收槽的底面的步骤; 在所述基板的一个表面上安装和布置发光器件以电接触所述电路线的步骤; 当所述缓冲膜面向所述发光器件时，将所述透镜安装在所述基板上以形成所述接收槽中的所述发光器件的步骤; 以及通过热压接将透镜附着到基板上以使缓冲膜接触发光器件的上表面和接收槽的内部的步骤。

公开(公告)号：KR1020130084143A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：KR1020120004944

申请日：2012-01-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고상열 ,  조형철 ,  김해철 ,  김명재

IPC: F21V29/00 ,  F21V17/00

CPC classification number: F21S45/47 ,  F21V29/70 ,  F21W2102/00 ,  F21Y2101/00

Abstract: PURPOSE: A lighting device is provided to reduce working hours by combining a light emitting unit with a heat discharging unit in a hook coupling method. CONSTITUTION: A light emitting unit (110) comprises a light emitting device and a circuit board. A heat discharging unit (120) discharges heat to outside. A light emitting unit coupling part is formed at the light emitting unit. A heat discharging unit coupling part is formed at a settling part. A light emitting unit connecting part (150) is electrically connected to the terminal part of the light emitting device.

Abstract translation: 目的：提供一种照明装置，通过将发光单元与散热单元结合在一起的钩式联接方式来减少工作时间。 构成：发光单元（110）包括发光装置和电路板。 放热单元（120）将热量排出到外部。 发光单元耦合部分形成在发光单元处。 在沉降部形成放热单元连接部。 发光单元连接部分（150）电连接到发光器件的端子部分。

公开(公告)号：KR1020080101968A

公开(公告)日：2008-11-24

申请号：KR1020070048173

申请日：2007-05-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이영동 ,  조형철 ,  박종록 ,  석승현 ,  안드레이우샤코프

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205

Abstract: A gas monitoring apparatus used in a semiconductor manufacturing progress is provided to reduce the size of the apparatus by cooling the monitoring chamber without the separate chiller. The plasma generating device(120) comprises the monitoring chamber(110) where the view port is installed at one side; the microwave generating unit(120a) having the antenna generating the microwave; the plasma generation part(120b) producing the plasma through the energy generated from the microwave generating unit in the monitoring chamber. A gas monitoring device comprises the spectrometer producing the electric signal about the optical spectrum by receiving the light irradiated from the vie port; the controller analyzing the data about the spectrums obtained from the spectrometer.

Abstract translation: 提供了用于半导体制造过程中的气体监测装置，通过在没有单独的冷却器的情况下冷却监测室来减小装置的尺寸。 等离子体产生装置（120）包括监测室（110），其中观察端口安装在一侧; 具有产生微波的天线的微波发生单元（120a） 等离子体产生部分（120b）通过监视室中的微波产生单元产生的能量产生等离子体。 一种气体监测装置，包括：光谱仪，通过接收从该端口照射的光产生关于光谱的电信号; 控制器分析从光谱仪获得的光谱数据。

公开(公告)号：KR1020080095503A

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：KR1020070040061

申请日：2007-04-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 바실리파쉬코프스키 ,  유리톨마체프 ,  안드레이우샤코프 ,  이영동 ,  조형철 ,  석승현

IPC: H01L21/66

Abstract: A system for measuring ion characteristics is provided to improve the reliability of measurement system by measuring an ion current and ion energy with a non-contact probe. A system for measuring ion characteristics comprises at least one electrode and a faraday cup(215); a vacuum chamber(210) for generating ion flux, including an ion collector and grid; a power supplier(220) for the vacuum chamber; a high voltage pulse power supplier(230) for the vacuum chamber; a non-contact probe(240) for measuring ion characteristics non-connected to the vacuum chamber and a host(260) for acquiring data of ion characteristics connected to the non-contact probe.

Abstract translation: 提供了一种用于测量离子特性的系统，通过用非接触探针测量离子电流和离子能量来提高测量系统的可靠性。 用于测量离子特性的系统包括至少一个电极和法拉第杯（215）; 用于产生离子通量的真空室（210），包括离子收集器和栅极; 用于真空室的电源（220）; 用于真空室的高压脉冲电源（230）; 用于测量不连接到真空室的离子特性的非接触探针（240）和用于获取连接到非接触式探头的离子特性的数据的主机（260）。