公开(公告)号：KR102012902B1

公开(公告)日：2019-08-22

申请号：KR1020130020543

申请日：2013-02-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김욱래 ,  하시모토코헤이 ,  주원돈 ,  김광수 ,  전병환 ,  조수진

IPC: H01S3/0933

公开(公告)号：KR1020150141820A

公开(公告)日：2015-12-21

申请号：KR1020140070356

申请日：2014-06-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김태중 ,  김광수 ,  김욱래 ,  박영규 ,  전병환 ,  하시모토코헤이

IPC: G02B17/08 ,  G02B3/02

CPC classification number: G02B17/0856 ,  G02B17/0808 ,  G02B21/04 ,  G02B27/0025

Abstract: 고해상도의대물렌즈조립체가제공된다. 상기대물렌즈조립체는카타디옵트릭그룹; 상기카타디옵트릭그룹의광축상에위치하는제 1 굴절렌즈; 상기카타디옵트릭그룹과상기제 1 굴절렌즈사이에위치하는포커싱렌즈를포함한다. 상기포커싱렌즈는비구면렌즈이다.

Abstract translation: 提供了一种物镜组件，更具体地说，涉及一种有效补偿色像差和单色像差的高分辨率物镜组件，包括：反射折射组; 与折反射组轴向对准的第一折射透镜; 以及在所述反射折射组和所述第一折射透镜之间轴向对准的聚焦透镜。 聚焦透镜是非球面透镜。

公开(公告)号：KR1020160071231A

公开(公告)日：2016-06-21

申请号：KR1020140178713

申请日：2014-12-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김욱래 ,  하시모토코헤이 ,  기무라노부유키 ,  전병환

IPC: H01J65/04 ,  H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H05G2/00 ,  H01L21/027 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G02B21/06 ,  G02B21/082 ,  G02B21/16 ,  G02B27/141 ,  G03F7/70616 ,  H01J61/025 ,  H01J65/04 ,  H05G2/008 ,  G01N21/88 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J2893/0063 ,  H01L21/027

Abstract: 본발명의기술적사상은아크방전램프를이용한플라즈마광원에서의문제점을해결할수 있는플라즈마광원, 및고 휘도의균일한광을제공할수 있는조명광학계및 검사장치를제공한다. 그플라즈마광원은펄스레이저를발생시키는펄스레이저발생기; 적외선연속파(Continuous Wave: CW) 레이저를발생시키는 CW 레이저발생기; 상기펄스레이저는투과하거나반사시키고, 상기적외선 CW 레이저는반사하거나투과시키는제1 다이크로익미러(dichroic mirror); 상기펄스레이저에의해플라즈마가점화(ignition)되고상기적외선 CW 레이저에의해플라즈마가유지되며, 상기플라즈마에의해생성된플라즈마광을방출하는챔버; 및상기펄스레이저와상기적외선 CW 레이저는투과시키고상기플라즈마광을반사시키는제2 다이크로익미러;를포함한다.

Abstract translation: 本发明提供一种能够通过使用电弧放电灯，能够提供高亮度的均匀光的照明光学系统和检查装置来解决等离子体光源的问题的等离子体光源。 等离子体光源包括：产生脉冲激光的脉冲激光发生器; 产生红外CW激光的连续波（CW）激光发生器; 第一分色镜，其传送或反射脉冲激光并反射或透射红外CW激光; 通过脉冲激光器点燃等离子体的腔室通过红外CW激光器维持等离子体并发射由等离子​​体产生的等离子体光; 以及第二分色镜，其传输脉冲激光和红外CW激光并反射等离子体光。

公开(公告)号：KR1020140108396A

公开(公告)日：2014-09-11

申请号：KR1020130020543

申请日：2013-02-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김욱래 ,  하시모토코헤이 ,  주원돈 ,  김광수 ,  전병환 ,  조수진

IPC: H01S3/0933

CPC classification number: H01J61/025 ,  G03F7/70016 ,  G03F7/70175 ,  H01J61/545 ,  H01J61/86 ,  H01J65/042

Abstract: Provided are a light source device and an apparatus for fabricating a semiconductor device using the same. The light source device includes a light emitting lamp; a laser generator for emitting a laser beam to the light emitting lamp; and an optical recycle member for reemitting the laser beam passing through the light emitting lamp to the light emitting lamp. The optical recycle member includes an initial recycled light modulator for changing the phase of the laser beam.

Abstract translation: 提供一种光源装置和使用其的半导体装置的制造装置。 光源装置包括发光灯; 激光发生器，用于向所述发光灯发射激光束; 以及用于将通过发光灯的激光束重新发射到发光灯的光学再循环部件。 光学循环构件包括用于改变激光束的相位的初始再循环光调制器。