LIGA 공정에 사용되는 마스크, 상기 마스크의 제조방법및, LIGA 공정을 이용한 미세 구조물 제조방법
    2.
    发明授权
    LIGA 공정에 사용되는 마스크, 상기 마스크의 제조방법및, LIGA 공정을 이용한 미세 구조물 제조방법 有权
    LIGA工艺掩模,制造掩模的方法以及使用LIGA工艺制造微结构的方法

    公开(公告)号:KR100813273B1

    公开(公告)日:2008-03-13

    申请号:KR1020070001159

    申请日:2007-01-04

    CPC classification number: G03F7/00 G03F1/22 G03F9/7053 G03F9/7076 G03F1/60

    Abstract: A mask for use in an LIGA(Lithographie Galvanofomung Abformung) process, a method for manufacturing the same, and a method for manufacturing a micro structure using the LIGA process are provided to reduce an alignment error with respect to photoresist layers by inserting an aligning pin into aligning pin holes on the entire photoresist layers. A substrate(120) for a structure, a photoresist layer(152) comprised of a plating hole(155) and an aligning pin hole(157) formed on a position corresponding to the plating hole, an aligning pin capable of being inserted into the aligning pin hole are manufactured. Processes for laminating the photoresist layer on the substrate for a structure and forming a plating layer by plating a metal in the plating hole are repeated by the number of the photoresist layers. The alignment between the laminated photoresist layer and a photoresist layer to be laminated is accomplished by inserting the aligning pin into the aligning pin hole on the entire laminated photoresist layer.

    Abstract translation: 提供了用于LIGA(Lithographie Galvanofomung Abformung)工艺的掩模,其制造方法和使用LIGA工艺制造微结构的方法,以通过将对准销插入来减少相对于光致抗蚀剂层的对准误差 在整个光致抗蚀剂层上对准针孔。 一种用于结构的衬底(120),由形成在与所述电镀孔相对应的位置上的电镀孔(155)和对准销孔(157)构成的光致抗蚀剂层(152),能够插入到所述电镀孔 制造对准销孔。 通过光致抗蚀剂层的数量重复用于层压用于结构的光致抗蚀剂层和通过在电镀孔中镀覆金属形成镀层的工艺。 层压的光致抗蚀剂层和要层压的光致抗蚀剂层之间的对准是通过将对准销插入整个层叠的光致抗蚀剂层上的对准销孔来实现的。

    이미지 센서
    4.
    发明授权
    이미지 센서 有权
    图像传感器

    公开(公告)号:KR101844952B1

    公开(公告)日:2018-04-04

    申请号:KR1020110035301

    申请日:2011-04-15

    CPC classification number: H01L51/0043 H01L51/4253

    Abstract: 제1 전극, 상기제1 전극과대향하여배치되어있는제2 전극, 그리고상기제1 전극과상기제2 전극사이에위치하는광전변환층을포함하는광 감지소자; 및상기광 감지소자의제2 전극위에위치하는색 필터를포함하고, 상기광전변환층은전자공여체블록과전자수용체블록을포함하는블록공중합체를포함하며, 상기블록공중합체에서전자공여체블록은전자공여체블록끼리적층되어상기제1 전극및 상기제2 전극에연결되어있고, 전자수용체블록은전자수용체블록끼리적층되어상기제1 전극및 상기제2 전극에연결되어있는것인이미지센서및 상기이미지센서의제조방법을제공한다.

    Abstract translation: 包括第一电极,第一电极上的光感测装置,所述第二电极设置成朝向过度,以及设置在所述第一电极和所述第二电极层之间的光电转换; 和第二光电转换层,并且包括在电极上形成的彩色滤光器包括与电子给体块和电子受体嵌段的嵌段共聚物,在光感测设备的嵌段共聚物中的电子供体块为e 供体被层压到所述第一电极的彼此块和第二被连接到所述第二电极,所述电子受体块被堆叠在电子受体块在第一电极和itneungeot连接到所述第二电极和所述图像传感器的图像传感器之间, 及其制造方法。

    이미지 센서 및 이를 포함하는 전자 장치
    6.
    发明公开
    이미지 센서 및 이를 포함하는 전자 장치 审中-实审
    图像传感器和包括它的电子设备

    公开(公告)号:KR1020170057788A

    公开(公告)日:2017-05-25

    申请号:KR1020150161397

    申请日:2015-11-17

    CPC classification number: H01L27/146 H01L27/14647 H01L27/14692

    Abstract: 제1 가시광을감지하는제1 광감지소자와제2 가시광을감지하는제2 광감지소자가집적되어있는반도체기판, 그리고상기반도체기판의일면에위치하고상기제1 가시광및 상기제2 가시광보다장파장영역인제3 가시광을선택적으로감지하는제3 광감지소자를포함하고, 상기제1 광감지소자와상기제2 광감지소자는상기반도체기판의두께방향으로중첩하게배치되어있는이미지센서에관한것이다.

    Abstract translation: 第一光敏器件和所述第二光敏器件,在半导体基板上形成为一体,并且位于具有所述第一可见光和比所述第二可见光长波长区域中的半导体基板的一个表面,以检测第二可见光来检测可见光 以及用于选择性地感测第三可见光的第三光敏器件,其中第一光敏器件和第二光敏器件在半导体衬底的厚度方向上以重叠的方式设置。

    능동형 전기변색소자 및 그 제조 방법

    公开(公告)号:KR101720586B1

    公开(公告)日:2017-03-30

    申请号:KR1020100023400

    申请日:2010-03-16

    Inventor: 정득석 진용완

    CPC classification number: G02F1/15 G02F2001/1635 H01L27/1214

    Abstract: 능동형전기변색소자제조방법이개시되어있다. 능동형전기변색소자제조방법에따르면, 게이트전극, 소스전극및 드레인전극을가지는박막트랜지스터및 이박막트랜지스터의드레인전극에전기적으로접속된픽셀전극을형성한제1기판을준비한다. 전기영동공정을위해, 제1기판과메쉬를전기변색반도체층형성용용액에서로이격되게담근다. 제1기판을픽셀전극이잠기도록용액에담근상태에서, 게이트전극에전압이인가되도록하여박막트랜지스터의채널을오픈시키고, 소스전극에전기적으로연결된단자와메쉬사이에전압원을연결하여픽셀전극과메쉬사이에전위차가발생하도록하여, 용액내물질을픽셀전극상에증착시켜전기변색반도체층을형성한다.

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