구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액
    2.
    发明公开
    구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액 有权
    后CU化学机械抛光清洗溶液

    公开(公告)号:KR1020120073838A

    公开(公告)日:2012-07-05

    申请号:KR1020100135724

    申请日:2010-12-27

    CPC classification number: C11D7/3245 C11D7/3281 C23G5/036

    Abstract: PURPOSE: A cleaning solution for cleaning process after copper chemical mechanical polishing is provided to improve manufacture yield of semiconductor device and removal strength. CONSTITUTION: A cleaning solution for cleaning process after copper chemical mechanical polishing comprises ethylenediaminetetraacetate, 5-aminotetrazole, and a pH adjusting agent consisting of a basic compound. The concentration of the ethylenediaminetetraacetate is 0.006-0.3 M. The concentration of 5- aminotetrazole is 0.001-0.15 M. The basic compound is one or more selected from potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, and sodium hydroxide. The washing solution additionally includes one or more components selected from tetramethylammonium hydroxide, RE610, and alcohol ether sulfate.

    Abstract translation: 目的:提供铜化学机械抛光后的清洗工艺清洗液,提高半导体器件的制造成本和去除强度。 构成:铜化学机械抛光后的清洗工艺的清洗液包括乙二胺四乙酸酯,5-氨基四唑和由碱性化合物组成的pH调节剂。 乙二胺四乙酸酯的浓度为0.006-0.3M。5-氨基四唑的浓度为0.001-0.15M。碱性化合物是选自氢氧化钾,四甲基氢氧化铵和氢氧化钠中的一种或多种。 洗涤液还包括一种或多种选自四甲基氢氧化铵,RE610和醇醚硫酸盐的组分。

    전해 도금을 이용한 구리-은 합금 코팅 및 전자 소자용 배선 형성 방법
    3.
    发明授权
    전해 도금을 이용한 구리-은 합금 코팅 및 전자 소자용 배선 형성 방법 有权
    Cu-Ag合金涂层的制造方法和使用电沉积的互连

    公开(公告)号:KR101403456B1

    公开(公告)日:2014-06-03

    申请号:KR1020120052272

    申请日:2012-05-17

    Abstract: 본 발명은 구리-은 합금의 전해 도금 방법 및 이를 이용한 전자 소자의 배선 형성 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 구리와 은 합금 전해도금 용액에 기판을 침지하고, 전위를 인가하여 구리와 은 합금 박막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 전해도금 용액은 탈 이온수(deionized water), 구리 이온 함유 화합물, 은 이온 함유 화합물 및 착물 형성제를 포함하는 구리와 은 합금의 전해도금 방법 및 이를 이용한 전자 소자의 배선 형성 방법에 관한 것이다.

    전해 도금을 이용한 구리-은 합금 코팅 및 전자 소자용 배선 형성 방법
    4.
    发明公开
    전해 도금을 이용한 구리-은 합금 코팅 및 전자 소자용 배선 형성 방법 有权
    铜合金涂层和电沉积互连的制备方法

    公开(公告)号:KR1020130128511A

    公开(公告)日:2013-11-27

    申请号:KR1020120052272

    申请日:2012-05-17

    CPC classification number: C25D3/56 C25D7/123 H01L21/2885

    Abstract: The present invention relates to a copper-silver alloy coating method using electroplating and a wire forming method for an electronic device using the same. More specifically, to the copper-silver alloy coating method using electroplating includes a step of dipping a substrate into copper-silver alloy electroplating solution and a step of forming a copper-silver alloy thin film by applying electric potentials to the substrate. The copper-silver alloy electroplating solution includes deionized water; a compound containing a copper ion; a compound containing a silver ion; and a complex forming agent.

    Abstract translation: 本发明涉及使用电镀的铜 - 银合金涂覆方法和使用该铜 - 银合金的电子装置的线形成方法。 更具体地说,对于使用电镀的铜 - 银合金涂覆方法,包括将基板浸入铜 - 银合金电镀溶液中的步骤和通过向基板施加电势形成铜 - 银合金薄膜的步骤。 铜 - 银合金电镀溶液包括去离子水; 含有铜离子的化合物; 含有银离子的化合物; 和复合成型剂。

    균일한 입자 형태와 좁은 크기 분포를 갖는 카본스피어 및 이의 사용방법
    5.
    发明公开
    균일한 입자 형태와 좁은 크기 분포를 갖는 카본스피어 및 이의 사용방법 有权
    碳粒子颗粒均匀性和小尺寸分布及其用途

    公开(公告)号:KR1020130080540A

    公开(公告)日:2013-07-15

    申请号:KR1020120001386

    申请日:2012-01-05

    CPC classification number: G02F1/167 G02F2001/1678

    Abstract: PURPOSE: A carbon sphere having an even particle shape and narrow distribution and a use method thereof are provided to obtain the carbon sphere having excellent dispersibility and bistability during polymeric coating and a high charge through charge adjustment as a paint article for electronic paper display. CONSTITUTION: 27g of glucose and 100ml of distilled water are stirred in a beaker. A gas injecting unit injects nitrogen into a reactor for 5 minutes after the stirred liquid is put into the reactor. The temperature of the reactor is increased to 160°C by an external heat source and the temperature is maintained for 7 hours. An outcome is dried in an oven for 24 hours after the centrifugation of the liquid. A ball grinder grinds the dried outcome.

    Abstract translation: 目的:提供具有均匀粒子形状和分布均匀的碳球及其使用方法,以获得在聚合物涂层中具有优异的分散性和双稳性的碳球,以及通过电荷调节的高电荷作为电子纸显示用涂料。 构成:将27g葡萄糖和100ml蒸馏水在烧杯中搅拌。 气体注入单元将搅拌的液体放入反应器之后,将氮气注入反应器中5分钟。 通过外部热源将反应器的温度升高至160℃,并保持7小时。 将结果在离心液体后在烘箱中干燥24小时。 球磨机研磨干燥的结果。

    구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액
    6.
    发明公开
    구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액 无效
    后CU化学机械抛光清洗溶液

    公开(公告)号:KR1020110036184A

    公开(公告)日:2011-04-07

    申请号:KR1020090093716

    申请日:2009-10-01

    CPC classification number: C11D7/26 C11D7/32

    Abstract: PURPOSE: A cleaning solution for cleaning process after copper chemical mechanical polishing is provided to improve removal power of foreign materials remaining on the surface of a substrate after chemical mechanical polishing of copper wires. CONSTITUTION: A cleaning solution for cleaning process after copper chemical mechanical polishing comprises citric acid, 5-aminotetrazole and pH modifier consisting of basic compounds. The concentration of the citric acid is 0.0005-0.01 M. The concentration of 5- aminotetrazole is 0.0005-0.03 M. The basic compound is at least one kind selected from the group consisting of potassium hydroxide, tetramethyl ammonium hydroxide, and sodium hydroxide.

    Abstract translation: 目的:提供铜化学机械抛光后的清洗工艺清洗液,以改善铜线化学机械抛光后残留在基材表面的杂质的去除能力。 构成:铜化学机械抛光后的清洗工艺的清洗液包括柠檬酸,5-氨基四唑和碱性化合物组成的pH调节剂。 柠檬酸的浓度为0.0005-0.01M。5-氨基四唑的浓度为0.0005-0.03M。碱性化合物是选自氢氧化钾,四甲基氢氧化铵和氢氧化钠中的至少一种。

    균일한 입자 형태와 좁은 크기 분포를 갖는 카본스피어 및 이의 사용방법
    7.
    发明授权
    균일한 입자 형태와 좁은 크기 분포를 갖는 카본스피어 및 이의 사용방법 有权
    碳粒子颗粒均匀性和小尺寸分布及其用途

    公开(公告)号:KR101453073B1

    公开(公告)日:2014-10-23

    申请号:KR1020120001386

    申请日:2012-01-05

    Abstract: 균일한 입자 형태와 좁은 크기 분포를 갖는 탄소 나노 입자인 카본스피어를 사용하여 전자종이용 검은색 입자의 성질과 특성을 향상시키는 방법이 제시되어 있다. 본 발명의 카본스피어는 고분자 코팅시 뛰어난 분산성과 쌍안정성을 가지며 전하 조절을 통해 높은 전하를 가지는 전기영동성 전자종이 디스플레이 장치용 안료 입자로 사용될 수 있다. 따라서, 기존 전자종이에 포함되는 검은색 입자인 카본 블랙을 대체하여 전자종이 구동시 일관된 화면을 구성할 수 있고, 반응속도의 균일성 향상과 화면의 유지에 도움을 줄 수 있다.

    전기영동성 마이크로 캡슐의 제조방법
    8.
    发明公开
    전기영동성 마이크로 캡슐의 제조방법 无效
    制造电子微胶囊的方法

    公开(公告)号:KR1020130080539A

    公开(公告)日:2013-07-15

    申请号:KR1020120001385

    申请日:2012-01-05

    CPC classification number: G02F1/167 G02F2001/1672 G02F2001/1678

    Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an electrophoretic microcapsule is provided to equally capsulize pigment particles and to implement the narrow size distribution of a capsule generated with equal shear stress by using a reactor forming the couette-taylor flow. CONSTITUTION: A reactor forms emulsion or colloid solution distributing inorganic/organic pigment particles. The reactor forms the emulsion by mixing a capsule material with an outcome. A capsule surrounds a medium distributing the inorganic/organic pigment particles as the reactor forms the capsule.

    Abstract translation: 目的:提供一种制造电泳微胶囊的方法,以均匀地包封颜料颗粒,并通过使用形成甲醛 - 泰勒流的反应器来实现用等剪切应力产生的胶囊的窄尺寸分布。 构成:反应器形成分布无机/有机颜料颗粒的乳液或胶体溶液。 反应器通过将胶囊材料与结果混合而形成乳液。 当反应器形成胶囊时,胶囊围绕分布无机/有机颜料颗粒的介质。

    코팅 입자 제조방법
    9.
    发明授权
    코팅 입자 제조방법 有权
    制造涂层颗粒的方法

    公开(公告)号:KR101148004B1

    公开(公告)日:2012-05-24

    申请号:KR1020090118204

    申请日:2009-12-02

    Abstract: 반응 시간이 단축되고 균일한 크기 분포의 코팅 입자를 얻을 수 있는 코팅 입자 제조방법에 대해 개시한다. 본 발명의 코팅 입자 제조방법은, 코팅물질을 액체에 혼합하는 제1 단계와; 상기 제1 단계의 결과물에 코팅대상 입자를 혼합하는 제2 단계와; 상기 제2 단계의 결과물에 쿠에트-테일러 흐름을 형성시켜 상기 코팅대상 입자에 상기 코팅물질을 뭉침현상 없이 균일하게 코팅하는 제3 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 제조공정 동안 강하고 일정한 혼합강도를 유지함으로써 입자 표면을 고르게 코팅하고 뭉침 현상을 막아서 좁은 크기 분포를 가질 수 있으며 반응 시간을 단축시켜 우수한 품질의 코팅 입자를 제조할 수 있다.
    코팅, 입자, 나노, 전자종이, 마이크로캡슐, 쿠에트-테일러 흐름

    코팅 입자 제조방법
    10.
    发明公开
    코팅 입자 제조방법 有权
    制备涂层颗粒的方法

    公开(公告)号:KR1020110061712A

    公开(公告)日:2011-06-10

    申请号:KR1020090118204

    申请日:2009-12-02

    Abstract: PURPOSE: A method for fabricating coated particles is provided to uniformly coat the surface of particles by maintaining strong and uniform mixing strength for a reaction time, and to ensure narrow size distribution by preventing agglomeration. CONSTITUTION: A method for fabricating coated particles comprises the steps of: mixing a coating material with liquid; mixing particles to be coated with the resultant; uniformly coating the coating material to the particles to be coated by forming Couette-Taylor flow to the resultant; additionally centrifuging the resultant; drying the resultant, and pulverizing the dried material; and dispersing particles with small size in a dispersive medium.

    Abstract translation: 目的:提供一种制造涂覆颗粒的方法,以通过在反应时间内保持强烈均匀的混合强度来均匀地涂覆颗粒表面,并通过防止聚集来确保窄尺寸分布。 构成:涂覆颗粒的制造方法包括以下步骤:将涂料与液体混合; 混合待涂覆的颗粒; 通过向所得物形成Couette-Taylor流将涂层材料均匀地涂覆到待涂覆的颗粒上; 另外离心得到的; 干燥所得物,并粉碎干燥的材料; 并将小尺寸的颗粒分散在分散介质中。

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