Patent search ap:("서울대학교산학협력단") AND inv:"박담대" Page 1

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发明授权
OES 기반의 플라즈마 상태 변수 제어 장치 有权

公开(公告)号：KR101930727B1

公开(公告)日：2019-03-11

申请号：KR1020170046199

申请日：2017-04-10

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 한종훈 , 김곤호 , 장윤창 , 노현준 , 유상원 , 하대근 , 박담대 , 구준모

IPC: H01J37/32

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