公开(公告)号：KR101930727B1

公开(公告)日：2019-03-11

申请号：KR1020170046199

申请日：2017-04-10

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 한종훈 ,  김곤호 ,  장윤창 ,  노현준 ,  유상원 ,  하대근 ,  박담대 ,  구준모

IPC: H01J37/32

公开(公告)号：KR101892036B1

公开(公告)日：2018-08-27

申请号：KR1020170009779

申请日：2017-01-20

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김곤호 ,  노현준 ,  장윤창 ,  유상원 ,  박설혜

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/00

Abstract: 본발명은플라즈마의전자에너지분포함수진단방법및 모니터링방법으로서, 본발명의일 실시예에따른플라즈마의 EEDF 진단방법은, 플라즈마의전자에너지분포함수(EEDF)를진단하는방법으로서, (a) 대상플라즈마의 EEDF 함수식을선정하는단계; (b) 여기분광물성의특성을기반으로하는파장선택과빛 방출모델을설립하는단계; 및 (c) 상기설립된빛 방출모델에기초하여상기 EEDF를측정하는단계를포함하는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020180085986A

公开(公告)日：2018-07-30

申请号：KR1020170009779

申请日：2017-01-20

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김곤호 ,  노현준 ,  장윤창 ,  유상원 ,  박설혜

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/00

CPC classification number: H01J37/32926 ,  H01J37/32935 ,  H05H1/0006

Abstract: 본발명은플라즈마의전자에너지분포함수진단방법및 모니터링방법으로서, 본발명의일 실시예에따른플라즈마의 EEDF 진단방법은, 플라즈마의전자에너지분포함수(EEDF)를진단하는방법으로서, (a) 대상플라즈마의 EEDF 함수식을선정하는단계; (b) 여기분광물성의특성을기반으로하는파장선택과빛 방출모델을설립하는단계; 및 (c) 상기설립된빛 방출모델에기초하여상기 EEDF를측정하는단계를포함하는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR101939634B1

公开(公告)日：2019-01-17

申请号：KR1020170121308

申请日：2017-09-20

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김곤호 ,  노현준 ,  장윤창 ,  유상원

IPC: H01J37/32 ,  G01N21/59 ,  G01N21/31