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公开(公告)号：KR1020130057677A
公开(公告)日：2013-06-03
申请号：KR1020110123540
申请日：2011-11-24
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H05H1/00 , H01L21/3065 , H01L21/205 , C23C16/52
CPC classification number: H01J37/32926 , H01J37/32935 , H05H1/0006
Abstract: PURPOSE: A variation monitoring method of an electronic energy distribution property and an apparatus including the same are provided to shorten a calculation time by calculating an EEDF[Electron Energy Distribution Function] in a simple method by utilizing an OES[Optical Emission Spectroscopy] signal. CONSTITUTION: A mathematical modeling about a light intensity is established(S110). An EEDF is measured based on the established mathematical modeling(S120). A monitoring about a process plasma state is performed based on the variation of the measured EEDF(S130). [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S110) Establish mathematical modeling about light intensity; (S120) Measure an EEDF based on the mathematical modeling; (S130) Perform a monitoring about a process plasma state based on the variation of the EEDF
Abstract translation: 目的：提供电子能量分布特性的变化监测方法及包括该变化监测方法的装置，以通过利用OES [发射光谱]信号以简单方法计算EEDF [电子能量分布函数]来缩短计算时间。 构成：建立关于光强度的数学建模（S110）。 基于已建立的数学建模来测量EEDF（S120）。 基于测量的EEDF的变化进行关于过程等离子体状态的监视（S130）。 （附图标记）（AA）开始; （BB）结束; （S110）建立关于光强度的数学建模; （S120）基于数学建模测量EEDF; （S130）基于EEDF的变化进行对等离子体状态的监视
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公开(公告)号：KR101371615B1
公开(公告)日：2014-03-07
申请号：KR1020120014992
申请日：2012-02-14
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 수핵의 경화 및 탄화를 방지하고, 환자에게도 안전하며 시술자의 편의성을 획기적으로 높인 플라즈마 전극 냉각장치를 갖는 미세침습성 플라즈마 치료장치를 위하여, 내부로 플라즈마 전극이 삽입 가능하며, 상기 플라즈마 전극이 삽입되는 경우 상기 플라즈마 전극과의 사이에 냉각 매질이 유동할 수 있는 냉각 유로부가 형성되는, 유도관; 및 상기 유도관의 일측에 설치되어 상기 냉각 매질을 상기 유도관으로 주입할 수 있는 냉각 매질 주입구;를 포함하는, 플라즈마 전극 냉각장치를 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020130093407A
公开(公告)日：2013-08-22
申请号：KR1020120014992
申请日：2012-02-14
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A plasma electrode cooling device and a minimally invasive plasma treating apparatus are provided to prevent the carbonization and hardening of nucleus pulposus, thereby significantly improving the convenience of a surgical operator. CONSTITUTION: An induction pipe (110) forms a cooling channel part. Through the cooling channel part, a cooling medium flows. A cooling medium inlet (140) is installed in one side of the induction pipe. Through the cooling medium inlet, the cooling medium is injected into the induction pipe.
Abstract translation: 目的：提供等离子体电极冷却装置和微创等离子体处理装置，以防止髓核的碳化和硬化，从而显着提高手术操作者的便利性。 构成：感应管（110）形成冷却通道部。 通过冷却通道部分，流动冷却介质。 冷却介质入口（140）安装在感应管的一侧。 通过冷却介质入口将冷却介质注入到进气管中。
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公开(公告)号：KR101248105B1
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：KR1020110001927
申请日：2011-01-07
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 최소침습성 플라즈마 생성전극에 관한 것으로서 종래의 전극의 크기가 커서 섬유륜의 파손을 일으키는 문제점을 가지고 있었으나 본 발명에 따른 전극은 굵기를 2.5mm 이하로 줄였을뿐 아니라 전극간의 방전을 통하여 전극간의 거리를 감소시켜 전기장을 증가시켜 플라즈마 생성을 증가시키도록 하였다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101626897B1
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：KR1020140137351
申请日：2014-10-13
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명은인체조직의경화및 탄화를방지하고, 환자에게도안전한미세침습성플라즈마발생장치및 이를이용한인체조직제거방법을위하여, 유도관, 상기유도관내에삽입된플라즈마전극, 상기유도관의일측에설치되어상기냉각매질을상기유도관으로주입할수 있는냉각매질주입구, 상기유도관내에구비되며냉각매질이유동하는냉각유로부및 상기냉각유로부를통하여상기유도관의외부로배출된상기냉각매질을, 상기유도관내로다시회수하는냉각매질회수부를포함하는인체조직의경화및 탄화를방지하고, 환자에게도안전한미세침습성플라즈마발생장치및 이를이용한인체조직제거방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR101354343B1
公开(公告)日：2014-01-27
申请号：KR1020110123540
申请日：2011-11-24
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H05H1/00 , H01L21/3065 , H01L21/205 , C23C16/52
Abstract: 플라즈마의 전자 에너지 분포 특성 변동 모니터링 방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마의 전자 에너지 분포 특성 변동 모니터링 방법은, 빛의 세기(line intensity)에 대한 수학적 모델링을 설립하는 단계; 및 설립된 상기 수학적 모델링에 기초하여 EEDF(Electron Energy Distribution Function)를 측정하는 단계를 포함하며, 측정된 상기 EEDF의 변동에 기초하여 공정 플라즈마 상태에 관한 모니터링을 수행하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020120080450A
公开(公告)日：2012-07-17
申请号：KR1020110001927
申请日：2011-01-07
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A minimum invasive plasma-generating electrode structure for extrication nucleus pulposus decomposition is provided to increase an electric field by reducing distance between electrodes through discharge. CONSTITUTION: A plasma electrode is formed into a rod shape. One or more electrode combination units are formed on a dielectric. A back electrode combination unit is formed on the rear side of the dielectric. A back electrode(15) comprises an electrode penetration unit(16). Both ends of the back electrode are projected and one end is inserted into the back electrode combination unit. A back electrode protrusion is formed on the back electrode. A plasma generating electrode passes through the electrode penetration unit. The plasma generating electrode is composed of tungsten.
Abstract translation: 目的：提供用于提取髓核分解的最小侵入性等离子体产生电极结构，以通过放电来减小电极之间的距离来增加电场。 构成：将等离子体电极形成为棒状。 在电介质上形成一个或多个电极组合单元。 背面电极组合单元形成在电介质的后侧。 背电极（15）包括电极穿透单元（16）。 背面电极的两端被突出，并且一端插入到背面电极组合单元中。 背面电极形成在背面电极上。 等离子体产生电极穿过电极穿透单元。 等离子体产生电极由钨组成。
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公开(公告)号：KR101892036B1
公开(公告)日：2018-08-27
申请号：KR1020170009779
申请日：2017-01-20
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명은플라즈마의전자에너지분포함수진단방법및 모니터링방법으로서, 본발명의일 실시예에따른플라즈마의 EEDF 진단방법은, 플라즈마의전자에너지분포함수(EEDF)를진단하는방법으로서, (a) 대상플라즈마의 EEDF 함수식을선정하는단계; (b) 여기분광물성의특성을기반으로하는파장선택과빛 방출모델을설립하는단계; 및 (c) 상기설립된빛 방출모델에기초하여상기 EEDF를측정하는단계를포함하는것을특징으로한다.
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