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公开(公告)号：KR101790522B1
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：KR1020160097700
申请日：2016-08-01
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 국부화아노다이징공정을이용한미세패턴가공시스템및 이를이용한미세패턴가공방법에서, 상기미세패턴가공시스템은전원공급부, 공구부, 공구가공부, 기판부, 펄스공급부및 스테이지부를포함한다. 상기공구부는상기전원공급부의음극(-)에전기적으로연결된다. 상기공구가공부는상기전원공급부의양극(+)에전기적으로연결되어상기공구부의형상을가공한다. 상기기판부는상기전원공급부의양극(+)에전기적으로연결되어상기공구부에의해가공된다. 상기펄스공급부는상기공구가공부및 상기기판부에공급되는전원에펄스를인가한다. 상기스테이지부는상기공구부, 상기공구가공부및 상기기판부를이송한다.
Abstract translation: 在使用局部阳极氧化处理的精细图案处理系统和使用其的精细图案处理方法中，精细图案处理系统包括电源部件，工具部件，工具架，基板部件，脉冲供应部件和台架部件。 工具单元电连接到电源单元的负电极（ - ）。 该工具电连接到电源单元的正电极（+）以处理工具的形状。 基板部分电连接到电源部分的正电极（+）并且由工具部分处理。 脉冲供应单元将脉冲施加到工具被馈送到其的电源并将其供应到基板单元。 台部分传送工具部分，工具和基板部分。
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公开(公告)号：KR1020120127051A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：KR1020110045276
申请日：2011-05-13
Applicant: (주)마이크로인피니티 , 전북대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: H03H9/24 , B81B7/02 , H01P7/02 , H03H9/2463 , H03H9/505
Abstract: PURPOSE: A micro electro mechanical system resonator is provided to minimize noises which are included in an output signal by drastically reducing a feed through electrostatic capacity. CONSTITUTION: A vibrator(330) is located on the top of a substrate. A first stator and a second stator are located on the top of the substrate. The first stator and the second stator are located in a non contact state with the vibrator on both sides of the vibrator. The first stator comprises a first driving electrode(310) and a first sensing electrode. The second stator comprises a second driving electrode(315) and a second sensing electrode. The first and second driving electrodes receive first and second driving signals, respectively. The first and second sensing electrodes output an output signal according to the first and second driving signal.
Abstract translation: 目的：提供微电子机械系统谐振器，通过大幅减少进料通过静电容量来最小化包含在输出信号中的噪声。 构成：振动器（330）位于基板的顶部。 第一定子和第二定子位于衬底的顶部。 第一定子和第二定子位于振动器两侧的振动器非接触状态。 第一定子包括第一驱动电极（310）和第一感测电极。 第二定子包括第二驱动电极（315）和第二感测电极。 第一和第二驱动电极分别接收第一和第二驱动信号。 第一和第二感测电极根据第一和第二驱动信号输出输出信号。
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公开(公告)号：KR101415935B1
公开(公告)日：2014-07-04
申请号：KR1020120155534
申请日：2012-12-27
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: An umbrella for a wheelchair includes a drive unit, a rotation shaft, a cover unit and a connection unit. The drive unit is coupled to the back of the wheelchair. The rotation shaft is fixed onto the drive unit to be rotated. The cover unit is fixed onto both ends of the rotation shaft to be folded or unfolded in accordance with the operation of the rotation shaft. The connection unit successively rotates the cover unit by connecting the rotation shaft to the cover unit.
Abstract translation: 用于轮椅的伞包括驱动单元，旋转轴，盖单元和连接单元。 驱动单元联接到轮椅的后部。 旋转轴固定在驱动单元上以旋转。 盖单元根据旋转轴的操作被固定到旋转轴的两端以进行折叠或展开。 连接单元通过将旋转轴连接到盖单元来依次旋转盖单元。
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公开(公告)号：KR101270136B1
公开(公告)日：2013-06-04
申请号：KR1020110045276
申请日：2011-05-13
Applicant: (주)마이크로인피니티 , 전북대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단
Abstract: 차분 구동의 장점을 그대로 유지하면서도 잡음의 원인이 되는 피드 쓰루 정전용량을 대폭 축소시키는 MEMS 공진기가 제공된다. 본 발명의 MEMS 공진기는 기판, 상기 기판 상부에 위치하는 진동자, 상기 기판 상부에 위치하고, 상기 진동자의 양측에, 상기 진동자와 비접촉하여 위치하는 제1고정자 및 제2고정자를 포함하되, 상기 제1 고정자는 제1 구동전극과, 제1 감지전극을 포함하고, 상기 제2 고정자는 제2 구동전극과, 제2 감지전극을 포함하고, 상기 제1 및 제2 구동전극은 각각 제1 및 제2 구동신호를 제공받고, 상기 제1 및 제2 감지전극은 상기 제1 및 제2 구동신호에 따른 출력신호를 출력할 수 있다.
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